EQUIPOS, MATERIALES Y ESPECIALIZACIÓNpara la Fabricación de Semiconductores Compuestos

BOC Edwards es un proveedor mundial reconocido que posee la capacidad única de aplicar la especialización y laexperiencia obtenidas del mercado de semiconductores para brindar apoyo a la industria de los semiconductores.Proveemos una gama completa de productos, materiales y servicios a Fabricantes de Equipos Originales y usuariosfinales para todas las aplicaciones de semiconductores compuestos incluyendo, pero sin limitarse al Gravado de ionesreactivos (RIE), Deposición de vapores químicos organometálicos (MOCVD), Epitaxia de haz molecular (MBE),Deposición física de vapores (PVD), Implante, Grabado Seco y Húmedo.

Los productos que utilizan semiconductores compuestos

incluidos en este catálogo son los siguientes:

Bombas de Vacío Secas (sección 4, pág. 50)

iK500, EPX, Mag-Lev Turbo

Gestión de gases de escape (sección 4, pág. 82)

ZenithIII-V, Helios, TPU, GaNcat, Depurador por vía húmeda Tempest

Deposición de película delgada (sección 14, pág. 2)

Auto306, Auto500BOC Edwards ofrece una completa gama de sistemas Temescal® para aplicaciones de metalización de semiconductores compuestos.

Además de los productos enumerados anteriormente

BOC Edwards también ofrece muchos otros productos,

materiales y servicios en las siguientes áreas:

Gestión de sustancias químicas – BOC Edwards ofrece soluciones confiables y económicas para aplicaciones de mezcla y distribución de sustancias químicas y lechada.

Servicios – Servicios completos de diseño de sistemas, instalación y administración de proyectos, limpieza de componentes, mantenimiento de equipos, soporte de aplicaciones y operaciones y mantenimiento en las instalaciones.

Materiales Electrónicos – Gases de procesos para todas las aplicaciones de semiconductores, con mecanismos de descarga y niveles de pureza que cumplen con una amplia gama de especificaciones.

• Amoníaco (NH3) • Tricloruro de Boro (BCl3) • Nitrógeno (N2) • Argón (Ar) • Cloruro de Hidrógeno (HCl)• Fosfina (PH3) • Arsina (AsH3) • Hidrógeno (H2) • Silano (SiH4)

Gases a Granel – Diseño e instalación en el establecimiento o fábrica incluyendo, pero sin limitarse a la provisión de tanques, purificadores, filtración, tuberías y gas.

• Argón (Ar) • Hidrógeno (H2) • Helio (He) • Nitrógeno (N2)

Si desea obtener información sobre nuestra oferta completa de aplicaciones de semiconductores compuestos, sírvasevisitar www.bocedwards.com para descargar una copia de nuestro folleto o sírvase llamarnos al 800-848-9800 (sólopara Estados Unidos) o al +44 (0) 1293 528844 y solicite que su llamada se transfiera a un especialista ensemiconductores compuestos de su zona.

Mercados Aplicaciones

Bom

bas secas/húmedas pequeñas

Secció

n 1

Bom

bas de difusión pequeñasS

ección 1

Bom

bas de aleta selladas al aceite (pequeñas)S

ección 1

Bom

bas secas grandesS

ección 2

Bom

bas selladas al aceite grandesS

ección 2

Bom

bas preliminares (E

VC

)S

ección 2

Bom

bas mecánicas R

oots

Secció

n 2

Bom

bas secas para sustancias químicas

Secció

n 3

Bom

bas para la fabricación de sem

iconductores,

Gestión de gases de escape,

Bom

bas semisecas

Secció

n 4

Bom

bas turbom

oleculares

Secció

n 5

Sistem

as turbo integrado

s e instrumento

sS

ección 5

Bom

bas de anillo líquido

Secció

n 6

Expulso

res de vaporS

ección 7

Sopladores im

pelentesS

ección 8

Soplado

res centrífugos

Secció

n 8

Com

presores de to

rnilloS

ección 8

Máquinas de pre-entrada (C

ompresores de aire)

Secció

n 8

Truckstar

Secció

n 8

Bom

bas de difusión grandesS

ección 10

Medició

n y control

Secció

n 11

Válvulas

Secció

n 12

Com

ponentes del sistema de vacío

Secció

n 13

Detección de fugas

Secció

n 15

Instrumentos científicos Instrumentos analíticosPreparación de muestrasVacío para viviendasPruebasFísica del vacío

Vacío de procesos DestilaciónServicio de reactoresVacío central (sustancias inflamables)Secado, evaporación, cristalizaciónRecuperación/recirculación de gasDesgasificaciónRecuperación de solventesLlenado al vacíoGeneración de energíaTransporte neumáticoProcesos de combustiónExtracción de polvoRecompresión mecánica de vaporDesagüe y filtraciónGases inflamablesPulpa y papelSustancias químicas a granel y petroquímicasMinería y mineralesSecado por congelamiento y esterilizaciónProductos farmacéuticos y químicos de precisiónBebidasProductos textilesCerámicasProcesamiento de alimentos

Industrial Tratamiento térmicoFusión/fundición/metalurgiaRecubrimientoProcesamiento y envasado de alimentosIndustria generalImpresiones y manejo del papelManejo de materialesVacío centralSecado e impregnaciónRecuperación/recirculación de gasDesgasificaciónDispositivos de visualización y tecnología informáticaDetección de fugasLlenado al vacíoTratamiento de superficies por plasmaTransporte neumáticoSistemas de limpieza central y extracción de polvoRefrigeración y aire acondicionadoRecubrimientoIndustria automotrizIluminaciónLásersIndustria eléctricaIndustria aeroespacialPlásticosCarga/descarga de camionesEnvasado

Medio ambiente Tratamiento de aguas servidasTratamiento de aguaCamiones de vacíoRecuperación de biogásDesulfuración de gases de la combustión

Vacío para semiconductores de pantalla plana

CONTENIDOS

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

1Bombas y sistemas de bombeo pequeños

Información sobre aplicaciones y accesorios 1-3

Bombas selladas al aceite y accesorios 1-6

Bombas scroll 1-28

Bombas de diafragma y accesorios 1-32

Bombas y sistemas de bombeo industriales

Bombas y accesorios GV/GVM Drystar® 2-9Bombas selladas al aceite y combinaciones 2-22

Bombas mecánicas Roots 2-69

Bombas de vapor industriales 2-90

Bombas y sistemas de bombeo para sustancias químicas

Sistemas de bombeo secos para sustancias químicas 3-2

Bombas de vacío Serie Chem-Dry™ 3-9

Gestión de gases de escape y bombas para la fabricación de semiconductores

Bombas turbomoleculares con levitación magnética STP 4-7

Bombas secas y accesorios 4-52

Gestión de gases de escape 4-84

Gestión térmica 4-102

Bombas turbomolecularesEXT

Bombas turbomoleculares EXT 5-4

Controladores para bombas turbomoleculares 5-12

Accesorios EXT 5-26

Accesorios combinados EXP 5-28

Bombas de vacío de anillo líquido

Bombas de vacío de anillo líquido 6-7

Vacío de procesos Sistemas de vacío para expulsión de vapor 7-2

Equipos para desaireación 7-4

Sopladoresimpelentes

Sopladores de desplazamiento positivo 8-3

Sopladores de vacío de pre-entrada (inyección de aire) 8-32

Sopladores impelentes y de vacío para camiones 8-37

Compresores de tornillo libres de aceite 8-50

Sopladores de proceso y unidades de proceso con diseño personalizado 8-55

Desecadores al vacío

Desecadores de estantes al vacío 9-2

Desecadores cónicos al vacío y reactores SSP 9-3

Bombas de vapor para fines científicos

Bombas de vapor para instrumentos científicos y aplicaciones de

investigación y desarrollo 10-2

Medición y control Indicadores de vacío 11-5

Pantallas y controladores de vacío 11-25

Ejemplos de instalación de indicadores y controladores 11-40

Indicadores analógicos tipo cápsula, interruptores de vacío e indicadores McLeod 11-43

Equipo de calibración 11-46

Contenidos

CONTENIDOS (continuación)

12

13

14

15

16

17

16

Resumen de datos 12-4

Válvulas de aislamiento para tuberías 12-5

Válvulas de control electroneumático 12-25

Válvulas de admisión de aire 12-26

Válvulas de aguja 12-28

Válvulas

Accesorios para bridas 13-2

Anillos "O", cables y tubos 13-38

Aceites, fluidos, selladores y grasas 13-43

Componentes del sistema de vacío

Sistemas de recubrimiento al vacío para investigación y desarrollo 14-3

Sistemas para preparación de muestras para microscopios electrónicos 14-13

Componentes para recubrimiento al vacío 14-16

Recubrimiento al vacío

Detectores de fugas 15-3 Detección de fugas

Capacitación internacional 16-2

Soporte al cliente a nivel mundial 16-3

Guía para selección de bombas e instalación de tuberías 16-9

Datos para la conversión de unidades 16-11

Hojas de datos de seguridad de los materiales 16-12

Servicio de mantenimiento y capacitación

Índice 17-1 Índice