mq series - smc corporationca01.smcworld.com/.../best-5-3-jp/pdf/3-p1303-1330-mq.pdfmq-d040 mq-d050...

シリーズ

MQQT標準形

チューブ内径(mm)

101620253040

使用圧力範囲(MPa)

0.005～0.5

0.005～0.7

駆動速度(mm/s)

0.3～300

0.5～500MQQL耐横荷重形

(ボールブッシュ内蔵)

シリーズ

MQML標準形


6（標準形のみ）10162025


ø6:0.02～0.7ø10～ø25:0.005～0.7

0.01～0.7

駆動速度(mm/s)

0.5～1000

5～3000MQMLH高速・高頻度

シリーズ

MQP


ø4ø6

ø10ø16ø20


0.001～0.7（可動部質量除く）

0.01～80.03～190.08～500.20～1400.30～200

推力コントロールの目安(N)

薄形低摩擦シリンダMQQ Series

耐横荷重形低摩擦シリンダMQM Series

低摩擦シリンダ(単動)MQP Series

P.1308

P.1317

P.1328

MQ Series

低摩擦シリンダ

メタルシールタイプ

RoHS

1303

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

MQQ Series低摩擦シリンダ

MQQ Series

ロッド：炭素鋼材(クロームめっき処理)(メタルシール)

スリーブ：特殊ステンレス鋼(メタルシール)

ピストン：特殊ステンレス鋼(メタルシール)

ボールブッシュ内蔵により耐横荷重向上※MQQTタイプはフッ素樹脂となります。

フローティング機構(PAT.)により、軸ズレによるカジリがなく摺動抵抗が安定している。

MQM SeriesMQM Series摺動抵抗の小さいメタルシール構造

使用できない駆動速度域・出力

摺動抵抗が小さく、0.005MPaでの低圧駆動が可能。※真空でご使用される場合は、別途ご確認ください。

10,000kmまたは1億回往復のロングライフ。

低摩擦耐横荷重

低圧駆動

長寿命

低摩擦耐横荷重

低圧駆動

長寿命低速・等速駆動低速・等速駆動駆動速度範囲0.3mm/sからの低速域で滑かな駆動および等速駆動が可能。

摺動抵抗が低く安定しているため、0.05N単位程度の出力コントロールが可能。(シリンダの受圧面積×圧力精度による)また、長期停止後の摺動抵抗の変化がない。

軸受部にボールブッシュを内蔵で耐横荷重性を向上。(MQQL·MQML)

シリーズバリエーション

シリーズ

MQQT標準形

チューブ内径(mm)101620253040


ストローク(mm)10 20

0.005～0.5

0.005～0.7

駆動速度(mm/s)

0.3～300

0.5～500MQQL耐横荷重形

(ボールブッシュ内蔵)

MQQ Series低圧・低速・等速・低摩擦駆動に適した薄形低摩擦シリンダ

30 40 50 60 75 100

MQM Series低圧・低速・等速・低摩擦～高圧・高速・高速応答(高頻度)の全ての駆動範囲に適した耐横荷重形低摩擦シリンダ

シリーズ

MQML標準形


6(標準形のみ)10162025


ストローク(mm)15 30 45 60 75 100

ø6:0.02～0.7ø10～ø25:0.005～0.7

0.01～0.7

駆動速度(mm/s)

0.5～1000

5～3000MQMLH高速・高頻度

1304

推奨回路例

／ø10, ø16, ø20, ø25, ø30, ø40

／ø6, ø10, ø16, ø20, ø25

適用機種／MQQT·MQML

適用機種／MQQL·MQML 適用機種／MQQL·MQML

スクラバー

ウエハー

コイル

巻線一定荷重

ガラス

0.1mm程度の微少ストロークにも追従

用途例（メタルシールタイプ）

微圧作動、微圧変動に応答されるテンションコントロール用

微圧変動に応答される押圧コントロール用

常に一定出力を要求するガラス、レンズ等の切断・破壊作業用

半田装置

ベルトコンベア

精密機器

薄板

ベルトコンベア高速駆動

不適合品

高頻度駆動を必要とするパンチング作動用

低・等速駆動を必要とする精密機器等の搬送用

高速駆動を必要とする不適合品排出作業用

適用機種／MQML·MQMLH 適用機種／MQML·MQMLH適用機種／MQQT·MQML

例1）等速・低速駆動（シリンダ出力のコントロールはできません。）

例3）高速・高頻度駆動

例2）低速および出力コントロール

※電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプ(VQ·VQZ·SQ　シリーズ等)をご使用ください。

※電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプ(VQ·VQZ·SQ　シリーズ等)をご使用ください。

低摩擦仕様としてご使用される場合

採用により一般シリンダではコントロールをカバーします。

ウエハーの研磨

うねり面の切断コイルの巻線

パンチング不適合品排出精密機器搬送

高速駆動・高頻度高速駆動・高頻度

※運動エネルギーはP.1327をご参照ください。

Hタイプ(固定絞りなし)を使用することにより、3,000mm/sの高速駆動が可能。また、短ストロークの場合50往復/s程度の連続駆動が可能。(MQMLH)

※シリンダの出力コントロールを行う場合はスピードコントローラ等による絞り回路は設けないでください。シリンダ内部圧力が低下しコントロールできなくなります。必ず圧力制御によるコントロール駆動を行ってください。なお、押圧・テンションコントロール（外力駆動）として、使用した場合、シリンダ内のエアは減圧弁リリーフポートより排出します。変位（ストローク）や駆動速度等によりシリンダ内圧力が上昇する場合は、シリンダ間にエアタンクを設けてください。

1）偏荷重によって、摺動抵抗は変化します。ロッド軸芯と負荷・移動方向は必ず一致させるように連結してください。偏荷重が予測される場合はフローティングジョイント等を設置してください。

2）クリーンエア（大気圧露点温度は－10℃以下）を使用しミストセパレータAMシリーズ（ろ過度0.3μm以下）または、AM+AMDシリーズ（ろ過度0.01μm以下）の設置を推奨します。

W

精密絞り弁電磁弁

ミストセパレータ(0.3μm以下)

エアフィルタ(5μm以下)

IR(精密減圧弁)

電磁弁

エアフィルタ(5μm以下)

ミストセパレータ(0.01μm以下)　(0.3μm以下)

ITV(電空レギュレータ)

エアフィルタ(5μm以下)IR(精密減圧弁)

W

1305

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

押圧コントロール0.01N

低摩擦シリンダ

MQP SeriesMQP Series

0.01mm程度の微小ストロークにもスティックスリップは生じません。静体軸受の様に特殊なエア供給も不要です。

スティックスリップレススティックスリップレス

受圧径のバラツキ：3μm以下シリンダを交換しても推力の再調整は不要です。また、1回路上に複数のシリンダを使用しても推力のバラツキは生じません。（使用環境下による）

推力のバラツキ低減推力のバラツキ低減摺動抵抗が低く安定しているため、0.01N単位程度の出力コントロールが可能。（シリンダの受圧面積×圧力精度による）また、放置後の摺動抵抗の変化がない。

低摩擦・ソフトタッチ低摩擦・ソフトタッチ摺動抵抗が小さいため、繊細で精密なリニア制御が可能。

高精度リニア制御高精度リニア制御

ピストンとロッドを同一軸径（ピストンレス）にすることにより大幅に摺動抵抗を低減。

ピストンレスピストンレス特殊単動／外力引込特殊単動／外力引込

MQP Series低摩擦押圧コントロールに適した低摩擦シリンダチューブ内径（受圧径）

［mm］ø 4ø 6ø10ø16ø20

可動部質量［g］482462103

推力コントロールの目安［N］

0.01～ 80.03～ 190.08～ 500.20～1400.30～200

ストローク［mm］

10

使用圧力範囲［MPa］

0.001

0.7〜

（可動部質量を除く）

押圧コントロール用

外力

ピストンロッド：特殊ステンレス鋼

球面形状のため取付精度による

偏荷重の影響を受け難い

肉逃げによる可動部重量の軽量化ピストンレス

（メタルシール）

ライナー：特殊ステンレス鋼（メタルシール）

1306

単動使用例複動使用例

推奨回路例

／ø4, ø6, ø10, ø16, ø20

（メタルシールタイプ／単動）

～200N領域をフルカバー

1）電磁弁を使用される場合は主弁部の潤滑剤流出のないVQ100シリーズを推奨します。

2）スピードコントローラ等による絞り回路は設けないでください。シリンダ内部圧力が低下し高精度の推力コントロールができなくなる場合があります。必ず圧力制御によるコントロール駆動を行ってください。

用途例／微圧変動に応答される押圧コントロール用

MQPシリンダを2本使用することにより、MQQ・MQM複動メタルシリンダの推力精度を向上させることができます。また、押出・引込方向の同一推力が得られます。

固定ベース

例1）一般駆動

VQ100シリーズ（直動3ポート弁）

ミストセパレータ(0.01μm以下)　(0.3μm以下)

IR（精密減圧弁）エアフイルタ

(5μm以下)

例2）ソフトタッチ駆動

ミストセパレータ(0.3μm以下)

ITV（電空レギュレータ）

エアフイルタ(5μm以下)

電子部品の検査・マウント

高精度のリニア制御

コイルの巻線

電子部品

巻線

一定荷重コイルポピン

W W

●真空用テンションシリンダ（引込形）●単動押出形（スプリング内蔵形）●～ø40までのチューブ内径

オーダーメイド

1307

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

A

薄形低摩擦仕様

形式

取付

MQQ

標準ストロークのシリンダにスペーサを装着することにより1mm毎のストロークに対応可能です。例：MQQTB10-15D（MQQTB10-20Dに5mmのスペーサを装着してストロークを調整）

10

16

20

25

30

40

BLFG

D注)

通し穴・両側タップ共通（標準）フート形

ロッド側フランジ形ヘッド側フランジ形二山クレビス形

作動方式

注）MQQL□のみ対応。※取付支持金具は同梱出荷(未組付)となります。

注）先端ねじ変換ジョイント取付となります。※先端ねじ変換ジョイントは同梱出荷（組付）　となります。

注）MQQシリーズにオートスイッチ付はありません。

D 複動形

T B 10 10 D

T 標準形耐横荷重形

（ボールブッシュ内蔵）L

シリンダストローク

チューブ内径101620253040

10mm16mm20mm25mm30mm40mm

ボディオプション無記号

M注)標準(ロッド先端めねじ)ロッド先端おねじ

チューブ内径（mm）標準ストローク（mm）10, 20, 30, 4010, 20, 30, 40, 50, 6010, 20, 30, 40, 50, 6010, 20, 30, 40, 50, 75, 10010, 20, 30, 40, 50, 75, 10010, 20, 30, 40, 50, 75, 100

取付支持金具／部品品番

10

16

20

25

30

40

チューブ内径（mm）

CQS-L016CQS-L020CQS-L025MQ-L032MQ-L040CQ-L050

フート注1）

CQS-F016CQS-F020CQS-F025MQ-F032MQ-F040CQ-F050

フランジ

MQ10-MMQ16-MMQ20-MMQ25-M

MQ28-M

先端ねじ変換ジョイント(ナット付)

CQS-D016CQS-D020CQS-D025MQ-D032MQ-D040MQ-D050

二山クレビス

注1）フート金具をご注文の際、シリンダ1台分の場合には、数量を2ヶで手配ください。注2）各部品に付属する部品は下記の通りです。　　フート・フランジ‥‥‥‥‥‥本体取付用ボルト　　二山クレビス‥‥‥‥‥‥‥‥クレビス用ピン、軸用C形止め輪、本体取付用ボルト　

ポートねじの種類

無記号

TNTF

MねじRcNPTG

ø25～ø40

ø10～ø20

薄形低摩擦シリンダ

ø10, ø16, ø20, ø25, ø30, ø40MQQ Series

型式表示方法

メタルシール

RoHS

1308

薄形低摩擦シリンダメタルシールMQQ Series

チューブ内径（mm）シール構造作動方式使用流体保証耐圧力最高使用圧力最低使用圧力注1)

周囲温度および使用流体温度クッション給油注2)

ロッド先端ねじストローク長さの許容差使用ピストン速度注3)

総漏れ量注4)

メタルシール複動形片ロッド

空気1.05MPa0.5MPa0.005MPa－10～80℃

ラバークッション（標準装備）不要（無給油）めねじ

0.3～300mm／s(P.1326参照)

10 16 20 25 30 40

仕様／標準形：MQQT

150cm3/min800cm3/min1500cm3/min





+1.00


単位：g

シリンダストローク(mm)

101620253040

40 166 286 414 671 7431082

30142246352579655964

20118206290487567846

10 94166228395479728

質量表／標準形：MQQT

表示記号複動：片ロッド

50― 326 476 763 8311200

60―366538―――

75――― 99310521495

100―――122312721790

供給圧力0.1MPa供給圧力0.3MPa供給圧力0.5MPa


単位：g


101620253040

40 220 404 569 82811751691

30 196 364 507 73610871573

20 172 324 445 644 9991455

10 148 284 383 552 9111337

質量表／耐横荷重形：MQQL（ボールブッシュ内蔵形）

50― 444 631 92012631809

60―484693―――

75―――115014852104

100―――138017052399

注1）水平時の値。（クリーン・ドライエアを使用し凍結なきこと）ただし、ストロークが長くなる程可動部質量の影響やロッドの自重による偏荷重により0.003～0.005MPa程度上昇する場合があります。

注2）給油につきましては、P.1325注意事項をご参照ください。なお、本製品は初期潤滑油としてタービン油を使用しております。ロッド部および配管ポートから潤滑油が滲み出す場合がありますのでご注意ください。

注3）低速駆動は、差圧およびスピードコントローラなどで制御してください。(詳細は、P.1305推奨回路例をご参照ください。)

注4）値は参考値であり、保証値ではありません。

仕様／耐横荷重形：MQQL

チューブ内径（mm）シール構造作動方式使用流体保証耐圧力最高使用圧力最低使用圧力注1)


ロッド先端ねじストローク長さの許容差使用ピストン速度注3)

総漏れ量注4)


空気1.05MPa0.7MPa0.005MPa－10～80℃

ラバークッション（標準装備）不要（無給油）めねじ

0.5～500mm／s(P.1326参照)

10 16 20 25 30 40




+1.00

供給圧力0.1MPa供給圧力0.3MPa供給圧力0.5MPa


注2）給油につきましては、P.1325注意事項をご参照ください。なお、本製品は初期潤滑油としてタービン油を使用しております。ロッド部および配管ポートから潤滑油が滲み出す場合がありますのでご注意ください。

注3）低速駆動は、差圧およびスピードコントローラなどで制御してください。(詳細は、P.1305推奨回路例をご参照ください。)



10

20

25

30

40

50.3 78.5145.8196.1235.6314.2377.8490.9505.8706.91055.61256.6

理論出力表（目安）

使用圧力（MPa）

0.1ロッド径（mm）

6

8

10

12

16

作動方向

INOUTINOUTINOUTINOUTINOUTINOUT

受圧面積（mm2）

5.0 7.914.919.623.631.437.849.150.670.7105.6125.7

0.2 10.1 15.7 29.2 39.2 47.1 62.8 75.6 98.2101.2141.4211.2251.4

0.3 15.1 23.6 43.7 58.9 70.7 94.3113.3147.3151.8212.1316.8377.1

0.4 20.1 31.4 58.3 78.4 94.2125.7151.1196.4202.4282.8422.4502.8

0.5 25.2 39.3 72.9 98.1117.8157.1188.9245.5253.0353.5528.0628.5

0.6 30.2 47.1 87.5117.7141.4188.5226.7294.5303.6424.2633.6754.2

0.7 35.2 55.0102.1137.3164.9219.9262.5343.6354.2494.9739.2879.9

単位：N

16（15.8）

INOUT

1309

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

A

MQQ Series

構造図

番号12345678910111213141516

部品名ロッドピストンライナースリーブスリーブリティナプレートガイドシリンダチューブダンパAダンパBブッシュ底板O-リング止め輪ボルトボールブッシュ

炭素鋼特殊ステンレス鋼特殊ステンレス鋼特殊ステンレス鋼アルミニウム合金アルミニウム合金フッ素樹脂

アルミニウム合金ポリウレタンポリウレタンアルミニウム合金アルミニウム合金

NBR炭素工具鋼炭素工具鋼

材質備考

構成部品

硬質クロムめっき

硬質アルマイト



燐酸塩被膜クロメート

標準形／MQQT

耐横荷重形／MQQL（ボールブッシュ内蔵形）

q

!1 !6 !2

u !4 y r t !3 e i o w !0 !5

1310


取付方法

取付ボルトa)取付Aタイプ(取付板のねじを使用する場合)

b)取付Bタイプ(シリンダチューブのねじを使用する場合)

型　式取付Aタイプ取付Bタイプ

取付ボルトサイズ

M3×0.5

M5×0.8

M6×1

M3×0.5

M5×0.8

M6×1

取付ボルトサイズ

M6×1

M8×1.25

E(mm)

8～11

16～22

8～11

13～17

13～17

16～22

C(mm)

7

7

8.5

9

7.5

6

7

5.5

8

6.5

7

7

D：ねじ長さ(mm)

35+ストローク

35+ストローク

40+ストローク

45+ストローク

50+ストローク

50+ストローク

65+ストローク

70+ストローク

80+ストローク

85+ストローク

105+ストローク

105+ストローク

MQQTB10-DMQQTB16-DMQQTB20-DMQQTB25-DMQQTB30-DMQQTB40-DMQQLB10-DMQQLB16-DMQQLB20-DMQQLB25-DMQQLB30-DMQQLB40-D

標準形MQQT

耐横荷重形MQQL

(ボールブッシュ内蔵形)

適合取付ボルト寸法表

D D

EtE t

C C

注）取付Aタイプの場合は平座金を必ずご使用ください。

：ストローク

M4×0.7

M6×1

M8×1.25

M4×0.7

1311

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

外形寸法図

標準形（通し穴・両端タップ共通）／MQQTB

M

ø10・ø16・ø20

ø25・ø30・ø40

2×4×øOB座ぐり深RB

Hねじ有効深さC

2×4×OA有効深さRA

E±0.2

M

E

±0.2

QY

2×M5×0.8

F

A+ストローク

L B+ストロークK

øI

øD

（mm）

4×

øN通し

ロッド先端おねじの場合／MQQ DM

※ロッド先端ナット

※先端ねじ変換ジョイント

※先端ねじ変換ジョイントおよびロッド先端ナットの詳細は、　P.1316をご参照ください。

X

H1

C1

L1


（mm）

10

16

20

25

30

40

23.5

26.5

28.5

34.5

40.5

40.5

L1

10.5

11.5

13.5

16.5

22.5

22.5

C1

M5×0.8

M6×1.0

M8×1.25

M10×1.25

M14×1.5

M14×1.5

H1

15.5

16.5

18.5

22.5

28.5

28.5

X

注）（　）寸法は先端部の寸法を示す。

―

―

―

Rc1/8

Rc1/8

Rc1/4

P

―

―

―

―

NPT1/8

NPT1/8

NPT1/4

TN

―

―

―

G1/8

G1/8

G1/4

TFチューブ内径（mm）

ストローク範囲（mm）

10

16

20

25

30

40

10～40

10～60

10～60

10～50, 75, 100

10～50, 75, 100

10～50, 75, 100

39.5

44

47.5

54

60.5

62

A

31.5

34

37.5

42

48.5

50

B

6

8

10

12

13

13

C

6（ 5.8）

8（ 7.8）

10（ 9.8）

12（11.8）

16（15.8）

16（15.8）

D

29

36

40

45

52

64

E

5.5

5.5

5.5

8.5

8.5

12

F

M3×0.5

M4×0.7

M5×0.8

M6×1.0

M8×1.25

M8×1.25

H

38

47

52

60

69

86

I

―

―

―

4.5

5

7

J

5

7

8

10

14

14

K

8

10

10

12

12

12

L

20

25.5

28

34

40

50

M

3.5

5.4

5.4

5.5

5.5

6.6

N

6.5

9

9

9

9

11

OB

14.5

18

19.5

23

26

26

Q

7

10

10

10

10

14

RA

―

―

―

49.5

57

71

W

5

5

6

7

10

10

Y

M4×0.7

M6×1.0

M6×1.0

M6×1.0

M6×1.0

M8×1.25

OA

4

7

7

7

7

8

RB注）

MQQ Series

øI




WEJ

M±0.2

M ±0.2

E

K

øD

Y Q

2×P

F

4×

øN通し

A＋ストローク

B＋ストロークL

1312


フート形／MQQTLø10・ø16・ø20

ロッド側フランジ形／MQQTFø10・ø16・ø20

ヘッド側フランジ形／MQQTGø10・ø16・ø20 ø25・ø30・ø40

ø25・ø30・ø40

ø25・ø30・ø40

特殊キャップボルトB+ストローク

A+ストローク

4×øLD X X LGLS+ストロークY Y

L

LXLZ

LT

LH L

Y

FTL B+ストローク

A+ストローク2×øFD

FX

FZ

FV

L FT FXFZ

B+ストローク

A+ストローク

2×øFD

FV



（mm）

10

16

20

25

30

40

10～40

10～60

10～60

10～50,75,100

10～50,75,100

10～50,75,100

44.3

51.2

54.7

61.2

67.7

70.2

A

31.5

34

37.5

42

48.5

50

B

8

10

10

12

12

12

L

4.5

6.6

6.6

6.6

6.6

9

LD

2.8

4

4

4

4

5

LG

19

24

26

30

33

39

LH


10

16

20

25

30

40

19.5

22

22.5

26

32.5

27

LS

2

3.2

3.2

3.2

3.2

3.2

LT

38

48

52

57

64

79

LX

33.5

42

46

57

64

78

LY

48

62

66

71

78

95

LZ

8

9.2

10.7

11.2

11.2

14.7

X

5

5.8

5.8

5.8

7

8

Y



（mm）

10

16

20

25

30

40

10～40

10～60

10～60

10～50,75,100

10～50,75,100

10～50,75,100

49.5

54

57.5

64

70.5

72

A

31.5

34

37.5

42

48.5

50

B

4.5

6.6

6.6

5.5

5.5

6.6

FD

5.5

8

8

8

8

9

FT

30

39

42

48

54

67

FV

45

48

52

56

62

76

FX



（mm）

10

16

20

25

30

40

10～40

10～60

10～60

10～50,75,100

10～50,75,100

10～50,75,100

45

52

55.5

62

68.5

70

A

8

10

10

12

12

12

L


10

16

20

25

30

40

55

60

64

65

72

89

FZ

18

20

20

22

22

22

L

―

―

―

34

40

50

M

(A,L寸法以外はロッド側フランジ形と同寸法です。)

LZLX

4×øLD

LY

LH


A＋ストロークLS＋ストローク

LTYX LGXY

FZ

FX

4×øFD

FVM

A＋ストローク


FT

FVM

FZ

FX

4×øFD

1313

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

外形寸法図

耐横荷重形（通し穴・両端タップ共通）／MQQLBø10・ø16・ø20

ø25・ø30・ø40



B+ストローク

A+ストローク

Y Q

L

F

2×M5×0.8

4×

øN通し


K

E

E øD

M±0.2

M±0.2

øI

（mm）

※先端ねじ変換ジョイントおよびロッド先端ナットの詳細は、　P.1316をご参照ください。

ロッド先端おねじの場合／MQQ DM



※先端ねじ変換ジョイント X

H1

C1

L1


（mm）

10

16

20

25

30

40

23.5

26.5

28.5

34.5

40.5

40.5

L1

10.5

11.5

13.5

16.5

22.5

22.5

C1

M5×0.8

M6×1.0

M8×1.25

M10×1.25

M14×1.5

M14×1.5

H1

15.5

16.5

18.5

22.5

28.5

28.5

X

―

―

―

Rc1/8

Rc1/8

Rc1/4

P

―

―

―

―

NPT1/8

NPT1/8

NPT1/4

TN

―

―

―

G1/8

G1/8

G1/4

TFチューブ内径（mm）


10

16

20

25

30

40

10～40

10～60

10～60

10～50, 75, 100

10～50, 75, 100

10～50, 75, 100

69.5

80.5

89

96.5

116

116

A

61.5

70.5

79

84.5

104

104

B

6

8

10

12

13

13

C

6（ 5.8）

8（ 7.8）

10（ 9.8）

12（11.8）

16（15.8）

16（15.8）

D

29

36

40

45

52

64

E

9

11

11.5

13.5

17.5

17.5

F

M3×0.5

M4×0.7

M5×0.8

M6×1.0

M8×1.25

M8×1.25

H

38

47

52

60

69

86

I

―

―

―

4.5

5

7

J

5

7

8

10

14

14

K

8

10

10

12

12

12

L

20

25.5

28

34

40

50

M

3.5

5.4

5.4

5.5

5.5

6.6

N

6.5

9

9

9

9

11

OB

39.5

48.5

55

58

71

71

Q

7

10

10

10

10

14

RA

―

―

―

49.5

57

71

W

5

5

6

7

10

10

Y

M4×0.7

M6×1.0

M6×1.0

M6×1.0

M6×1.0

M8×1.25

OA

4

7

7

7

7

8

RB注）

MQQ Series

øI




WEJ

M±0.2

M ±0.2

E

K

øD

Y Q

2×P

F

4×

øN通し

A＋ストローク


1314


フート形／MQQLLø10・ø16・ø20

ロッド側フランジ形／MQQLFø10・ø16・ø20

ヘッド側フランジ形／MQQLGø10・ø16・ø20 ø25・ø30・ø40

ø25・ø30・ø40

ø25・ø30・ø40

特殊キャップボルトB+ストローク

A+ストローク

4×øLD X X LGLS+ストローク

Y Y

L

LXLZ

LT

LH L

Y

FT

L B+ストローク

A+ストローク2×øFD

FX

FZ

FV

L FT FX

FZ

B+ストローク

A+ストローク

2×øFD

FV



（mm）

10

16

20

25

30

40

10～40

10～60

10～60

10～50,75,100

10～50,75,100

10～50,75,100

74.3

87.7

96.2

103.7

123.2

124.2

A

61.5

70.5

79

84.5

104

104

B

8

10

10

12

12

12

L

4.5

6.6

6.6

6.6

6.6

9

LD

2.8

4

4

4

4

5

LG

19

24

26

30

33

39

LH


10

16

20

25

30

40

49.5

58.5

64

68.5

88

81

LS

2

3.2

3.2

3.2

3.2

3.2

LT

38

48

52

57

64

79

LX

33.5

42

46

57

64

78

LY

48

62

66

71

78

95

LZ

8

9.2

10.7

11.2

11.2

14.7

X

5

5.8

5.8

5.8

7

8

Y



（mm）

10

16

20

25

30

40

10～40

10～60

10～60

10～50,75,100

10～50,75,100

10～50,75,100

90.5

107.5

119

126.5

148

158

A

61.5

70.5

79

84.5

104

104

B

5

8

10

10

10

14

CD

84.5

98.5

109

116.5

138

144

CL

4

5

5

5

6

7

CT

10

12

14

14

14

20

CU


10

16

20

25

30

40

15

18

20

20

22

28

CW

6.5

8

10

18

18

22

CX

12

16

20

36

36

44

CZ

8

10

10

12

12

12

L

6

9

10

10

10

14

RR

二山クレビス形／MQQLD

L

CT

CW

RR

CX+0.4+0.2

CZ -0.1-0.3

CU

B+ストローク

A+ストローク

CL+ストローク

øCD穴H10軸d9

キャップボルト



（mm）

10

16

20

25

30

40

10～40

10～60

10～60

10～50,75,100

10～50,75,100

10～50,75,100

75

88.5

97

104.5

124

124

A

8

10

10

12

12

12

L

(A,L寸法以外はロッド側フランジ形と同寸法です。)



（mm）

10

16

20

25

30

40

10～40

10～60

10～60

10～50,75,100

10～50,75,100

10～50,75,100

79.5

90.5

99

106.5

126

126

A

61.5

70.5

79

84.5

104

104

B

4.5

6.6

6.6

5.5

5.5

6.6

FD

5.5

8

8

8

8

9

FT

30

39

42

48

54

67

FV

45

48

52

56

62

76

FX


10

16

20

25

30

40

55

60

64

65

72

89

FZ

18

20

20

22

22

22

L

―

―

―

34

40

50

M

LZ

LX

4×øLD

LY

LH


A＋ストローク

LS＋ストローク

LTX Y Y X LG

FZ

FX

4×øFD

FVM

B＋ストローク

FT

A＋ストローク

L

FZ

FX

FVM

4×øFD

1315

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

MQQ Series

付属金具寸法

先端ねじ変換ジョイント（右図ロッド先端ナット付）

クレビスピン品番

ロッド先端ナット

品番 A

MQ10-MMQ16-MMQ20-MMQ25-MMQ28-M

適用チューブ内径(mm)10

16

20

25

30,40

20.5

22.5

24.5

33.5

40.5

B

8

8

8

10

14

C

9.2

9.2

9.2

11.5

16

E

15.5

16.5

18.5

22.5

28.5

F

5

6

6

11

12

D

6

8

10

12

16

ロッド

C

B

MM

ød

øD

d9

mm l

tLt

H

E F

AB H

C

dNN

øD

品番 Dd9

IY-J015IY-G02IY-G03IY-G04IY-G05

適用チューブ内径(mm)

使用する止め輪

10

16

20

25,30

40

5

8

10

10

14

L

16.6

21

25.6

41.6

50.6

l

12.2

16.2

20.2

36.2

44.2

m

1.5

1.5

1.55

1.55

2.05

d

4.8

7.6

9.6

9.6

13.4

軸用C形5

軸用C形8

軸用C形10

軸用C形10

軸用C形14

t

0.7

0.9

1.15

1.15

1.15

品番 B

NTJ-015ANT-015A

NT-02NT-03NT-04


16

20

25

30,40

8

10

13

17

22

C

9.2

11.5

15

19.6

25.4

d

M5×0.8

M6×1.0

M8×1.25

M10×1.25

M14×1.5

H

4

5

5

6

8

質量

1.5g

2.5g

4.0g

8.0g

17.0g

品番 H

MQ10-MMQ16-MMQ20-MMQ25-MMQ28-M


16

20

25

30,40

10.5

11.5

13.5

16.5

22.5

MM

M5×0.8

M6×1.0

M8×1.25

M10×1.25

M14×1.5

NN

M3×0.5

M4×0.7

M5×0.8

M6×1.0

M8×1.25

質量注）

5.5g

7.5g

11.5g

22.5g

52.0g

-0.030-0.040-0.040-0.076-0.040-0.076-0.040-0.076-0.050-0.093

※軸用C形止め輪が付属されます。

注）ロッド先端ナットを含みます。

材質：炭素鋼材質：ステンレス鋼

材質：炭素鋼

1316A

耐横荷重形低摩擦仕様

取付

形式

MQML D

6

10

16

20

25

BLFG

C注1)

D注2)

基本形フート形

ロッド側フランジ形ヘッド側フランジ形(ø6除く)一山クレビス形（取付形）二山クレビス形

注1）チューブ内径：20,25mmのみ。※取付支持金具は同梱出荷(未組付)となります。　(クレビス形は除く。)

注2）ø6,ø10,ø16・・・・・・一体形　　ø20,ø25・・・・・・・・・取付形

注）チューブ内径6mm除く。

B 10

L 耐横荷重形(ボールブッシュ内蔵)

D 複動式

チューブ内径 610162025

6mm10mm16mm20mm25mm

ファンクション

シリンダストローク

作動方式

無記号H注)

標準形高速・高頻度形(固定絞りなし)

ポートねじの種類

無記号 MねじRcNPTG

ø6～ø16

ø20, ø25

チューブ内径（mm）標準ストローク（mm）15, 30, 45, 6015, 30, 45, 60, 75, 10015, 30, 45, 60, 75, 10015, 30, 45, 60, 75, 10015, 30, 45, 60, 75, 100

取付支持金具／部品品番

取付支持形式および付属品

取付支持形式 B：基本形

　　 ●(1コ)●――

チューブ内径（mm） 6

10

16

20

25

フート注1)

CJK-L016BMQM-L010MQM-L016CM-L020BCM-L032B

フランジ

CJK-F016B

CLJ-F016BCM-F020BCM-F032B

一山クレビス―――

CM-C020BCM-C032B

二山クレビス（ピン付）注2)

―――

CM-D020BCM-D032B

T金具注3)

CJ-T010B

CJ-T016B――

　　 ●(2コ)●――

　　 ●(1コ)●――

　　 ●(1コ)●――

　―注1)

●――

　―注2)

●●● ピン付

L：フート形備考F：ロッド側　フランジ形

G：ヘッド側　フランジ形

C：一山　クレビス形

D：二山　クレビス形

標準装備取付ナット注1)

ロッド先端ナットクレビスピンT金具オプション

注1-1）チューブ内径6mmの場合フート金具1ヶとなります。フート金具をご注文の際、シリンダ1台分の場合には、数量を1ヶで手配ください。

注1-2）チューブ内径6mm以外（10, 16, 20, 25mm）の場合／CMシリーズと同要領シリンダ1台に対する使用部品は、フート金具2ヶおよび取付ナット1ヶとなります。（1セット）フート金具をご注文の際、シリンダ1台分の場合には、数量を2ヶで手配ください。（1セット分にて梱包出荷します。）

注2）クレビス用ピンと止め輪が同梱されています。注3）T金具の適用は、二山クレビス形（D）です。

注1）取付ナットは、クレビス一体形、一山クレビス形、二山クレビス形には装備されていません。注2）二山クレビス形にはピン、止め輪が同梱されています。

15

標準ストロークのシリンダにスペーサを装着することにより1mm毎のストロークに対応可能です。例：MQMLB10-20D（MQMLB10-30Dに10mmのスペーサを装着してストロークを調整）

注）MQMシリーズにオートスイッチ付はありません。

TNTF

RoHS

耐横荷重形低摩擦シリンダ

ø6, ø10, ø16, ø20, ø25MQM Series

型式表示方法

メタルシール

1317

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

MQM Series

チューブ内径（mm）シール構造作動方式使用流体保証耐圧力最高使用圧力

最低使用圧力


ストローク長さの許容差

使用ピストン速度

総漏れ量注4)


空気1.05MPa0.7MPa0.005MPa0.01MPa－10～80℃

ラバークッション（標準装備）不要（無給油）

0.5mm／s～1000mm／s(P.1327参照)

6 10 16 20 25

仕様


150cm3/min 800cm3/min1500cm3/min


+1.00


単位：N

6

10

20

25

15.7 28.3 66.0 78.5176.4196.1263.9314.2412.3490.9


使用圧力（MPa）

0.1ロッド径（mm）

4

4

5

8

10

作動方向

INOUTINOUTINOUTINOUTINOUT


1.6 2.8 6.6 7.917.619.626.431.441.249.1

0.2 3.2 5.713.215.735.339.252.862.882.598.2

0.3 4.7 8.5 19.8 23.6 52.9 58.9 79.2 94.3123.7147.3

0.4 6.3 11.3 26.4 31.4 70.6 78.4105.6125.7164.9196.4

0.5 7.9 14.2 33.0 39.3 88.2 98.1132.0157.1206.2245.5

0.6 9.4 17.0 39.6 47.1105.8117.8158.3188.5247.4294.5

0.7 11.0 19.8 46.2 55.0123.5137.3184.7219.9288.6343.6

標準形H(高速・高頻度形)供給圧力0.1MPa供給圧力0.3MPa供給圧力0.5MPa

標準形H(高速・高頻度形)

注1)

注3)

0.02MPa―

―


単位：g


610162025

77.1123.3220.8478.2608.4

60 68.9113.0198.0435.4559.2

45 60.7102.7175.2392.6510.0

30 52.5 92.4152.4349.8460.8

15

質量表／標準形、高速・高頻度形

─133.6243.6521.0657.6

75─

143.9266.4563.8706.8

100

表示記号複動：片ロッド

5mm／s～3000mm／s(P.1327参照)

16（15.8）

INOUT


注2）給油につきましては、P.1325注意事項をご参照ください。なお、本製品は初期潤滑油として、タービン油（標準形）・リチウム石鹸系グリース（高速・高頻度形）を使用しております。ロッド部および配管ポートから潤滑油が滲み出す場合がありますのでご注意ください。

注3）低速駆動は、差圧およびスピードコントローラなどで制御してください。（詳細はP.1305推奨回路例をご参照ください。）


1318A

耐横荷重形低摩擦シリンダメタルシールMQM Series

構造図

番号12345678910111213141516

部品名ロッドピストンチューブヘッドカバーロッドカバースリーブシートクッションAクッションBクッションCナットボールブッシュO-リング止め輪ロッド先端ナット取付ナット

炭素鋼特殊ステンレス鋼特殊ステンレス鋼アルミニウム合金アルミニウム合金特殊ステンレス鋼

NBRポリウレタンポリウレタンポリウレタンアルミニウム合金

NBR炭素工具鋼炭素鋼

黄銅／炭素鋼注）

材質備考

構成部品

硬質クロムめっき

硬質アルマイト硬質アルマイト


q

u

!4 !6

y

rt

!5

e

i o

!3 w

!0 !1!2

注）チューブ内径：ø6, ø10, ø16……黄銅チューブ内径：ø20, ø25……炭素鋼

1319

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

A

MQM Series

外形寸法図

標準形／MQMLBø6

ø10・ø16・ø20・ø25


66+ストローク

93.5+ストローク

15

ø11

※取付ナット

M12×1

2×M5×0.8

M4×0.7

16 15 8

27.5

21 4.5 11

ø4

ø13


※ロッド先端ナットおよび取付ナットの詳細は、P.1324をご参照ください。

2×P

S+ストローク

ZZ+ストローク

G1 G2 NN

øJ

※取付ナット

A F

H

N2 N1

F

NA

MM

øD

øI


（mm）

10

16

20

25

15

15

18

18

A

4

5

8

10

D

8

10

13

13

F

15

15

25

30

G1

6

6

8.5

8.5

G2

18.5

22

31.5

34.5

I

28

30

40.5

44.5

H

16

22

28.5

32

J

11

12

20.5

20.5

N1

20

21

33

38

N2

16

19.5

29

32

NA

65

74

97.5

102.5

S

M12×1

M14×1

M20×1.5

M26×1.5

NN

M5×0.8

M5×0.8

Rc1/8

Rc1/8

―

―

NPT1/8

NPT1/8

―

―

G1/8

G1/8

P

TN― TF

M4×0.7

M5×0.8

M8×1.25

M10×1.25

MM

101

114

151

160

ZZ

16

1320

外形寸法図

フート形／MQMLLø6

ø10・ø16・ø20・ø25

ロッド側フランジ形／MQMLFø6

ø10・ø16・ø20・ø25

2×ø5.566+ストローク

75+ストローク93.5+ストローク

3342 18.5

6 92.3

25

14

4×øLCS+ストローク

LS+ストロークZZ+ストローク

LXLZ Z

X XY Y

LT

LY

LH

2×ø5.5 66+ストローク93.5+ストローク

3342 27.5

2.3

20

2×øFC S+ストロークZZ+ストローク

FXFZ H

FT

FY


（mm）

10

16

20

25

5.5

5.5

6.8

6.8

LC

14

18

25

28

LH

83

92

137.5

142.5

LS

2.3

2.3

3.2

3.2

LT

33

42

40

40

LX

25

30

40

47

LY

6

6

8

8

X

65

74

97.5

102.5

S

42

54

55

55

LZ

9

9

20

20

Y

19

21

20.5

24.5

Z

108

119

166

175

ZZ


（mm）

10

16

20

25

5.5

5.5

7

7

FC

2.3

2.3

4

4

FT

33

42

60

60

FX

20

24

34

40

FY

42

54

75

75

FZ

28

30

40.5

44.5

H

101

114

151

160

ZZ

65

74

97.5

102.5

S

その他の寸法につきましては、標準形P.1320をご参照ください。


1321

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

MQM Series

外形寸法図

ヘッド側フランジ形／MQMLG(ø6除く)ø10・ø16・ø20・ø25

一山クレビス形／MQMLC(ø20、ø25のみ)ø20・ø25(取付形)

S+ストローク 2×øFC

Z+ストローク

ZZ+ストローク

H

FT FX

FZ

FY

S+ストローク

ø9 穴H10

Z+ストローク

ZZ+ストローク

H 30

14

9

10

øC

Iチューブ内径（mm）

（mm）

10

16

20

25

5.5

5.5

7

7

FC

2.3

2.3

4

4

FT

33

42

60

60

FX

20

24

34

40

FY

42

54

75

75

FZ

28

30

40.5

44.5

H

101

114

151

160

ZZ

95.3

106.3

142

151

Z

65

74

97.5

102.5

S


（mm）

20

25

24

30

CI

40.5

44.5

H

97.5

102.5

S

168

177

Z

177

186

ZZ

+0.058 0

-0.1-0.2


1322


外形寸法図

二山クレビス形／MQMLDø6・ø10・ø16(一体形)

ø20・ø25(取付形)

S+ストローク

øCDH9クレビスピン(øCDd9　　 )

2×øTC

BB

T金具：別手配詳細につきましてはP.1324をご参照ください。

Z+ストローク

ZZ+ストローク

H

R

U

NB

GB

TY TX

TVTW

TH


（mm）

6

10

16

12

12

18

BB

3.3

3.3

5

CD

3.3

3.3

6.6

CX

17.5

19

24

GB

27.5

28

30

H

22

24

30

NB

8

8

10

U

106

101

114

Z

117

112

128

ZZ

70.5

65

74

S

5

5

8

R

適用チューブ内径（mm）

品番

T金具関連寸法　注)

注）詳細につきましては、P.1324をご参照ください。

6,10

16

4.5

5.5

TC

29

35

TH

40

48

TV

22

28

TW

32

38

TX

12

16

TY


（mm）

20

25

24

30

CI

40.5

44.5

H

97.5

102.5

S

168

177

Z

177

186

ZZ

+0.030 0

CX +0.1 0

-0.030-0.060

+0.058 0

-0.040-0.076

S+ストローク

øC

I

ø9 穴H10軸d9

25

10

1930

9

14

Z+ストローク

ZZ+ストローク

H

+0.2+0.1

CJ-T010B

CJ-T016B


1323

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

MQM Series

付属金具寸法

取付ナット

T金具

クレビス用ピン

ロッド先端ナット

品番材質質量B適用チューブ内径(mm)6,10

16

20

25

17

19

26

32

C

19.6

21.9

30

37

d

M12×1

M14×1

M20×1.5

M26×1.5

H

4

5

8

8

黄銅

黄銅

炭素鋼

炭素鋼

øTD H10

□12

4×øTCTH

TU

7

+0.2 0

TN

TK

L

l

t tm m

øD

d9

ød

TX

TV

-0.1

-0.3

TT TY

TW

B H

C

d

B H

C

d

品番 B

NTJ-010ANTJ-015A

NT-02NT-03

SNKJ-016BSNLJ-016B

SN-020BSN-032B

品番 TC適用チューブ内径(mm)6,10

16

4.5

5.5

TD

3.3

5

TH

29

35

TK

18

20

TN

3.1

6.4

TT

2

2.3

TU

9

14

TV

40

48

TW

22

28

TX

32

38

TY

12

16

CJ-T010BCJ-T016B

品番 d適用チューブ内径(mm)

材質

ステンレス

ステンレス

炭素鋼

6,10

16

20,25

3

4.8

8.6

D

3.3

5

9

l

12.2

18.3

19.2

L

15.2

22.7

25

m

1.2

1.5

1.75

t

0.3

0.7

1.15

CD-J010CD-Z015CDP-1

適用チューブ内径(mm)6,10

16

20

25

7

8

13

17

C

8.1

9.2

15

19.6

D

M4×0.7

M5×0.8

M8×1.25

M10×1.25

H

3.2

4

5

6

1.0g

1.5g

4.0g

8.0g

材質：炭素鋼

※軸用C形止め輪が付属されます。

使用する止め輪

軸用C形3.2

軸用C形5

軸用C形9

1324A

q取付時には、接続配管を十分フラッシングをして、シリンダ内部にゴミや切粉が入らないようにしてください。

w空気源はろ過度5μm以下のエアフィルタを取付けてください。なお、低速・出力コントロール制御される場合は、クリーンエア(大気圧露点温度は-10℃以下)を使用し、ミストセパレータ(ろ過度0.3μm以下)の設置を推奨します。

eシリンダの駆動用に電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプを使用してください。弾性体シールタイプの場合、主弁部のグリースの飛来により摺動抵抗が増加する場合があります。

rピストンロッドへの荷重は、常に軸方向にかかる状態でご使用ください。やむをえず横荷重が加わる場合、ロッド先端許容横荷重（P.1326、1327）の範囲を越えないようにお願いします。（使用限界外で使用されますと、ガイド部のガタ発生、精度の悪化など寿命に悪影響を及ぼす原因となります。）

tロッドの摺動部に傷や打痕をつけないようご注意ください。作動不良および寿命短縮の原因になります。

yロッド先端にワークを固定する際は、ロッドが最終端まで引込んだ状態とし、ロッド先端のスパナ掛けを利用して、ロッドに過大なトルクが掛からないように締付けてください。なお、MQMシリーズにはロッド先端にスパナ掛けがありませんので、付属のロッド先端ナットを利用してください。

uロッド軸心と負荷・移動方向は、必ず一致させるように連結してください。

　特に装置側にガイド機能（ベアリング等）部にシリンダロッドを直結しますと偏荷重となり摺動抵抗が安定しなくなったり、メタルシール部にカジリが生じる場合があります。必ずフローティングジョイントや球面ジョイントを使用してください。

i押圧・テンションコントロール等外力によってロッドピストンが駆動する回路で使用した場合、変位量が0.05mm以下になるとスティックスリップ現象が生じ摺動抵抗が安定しなくなる場合があります。

o研摩装置等、常時振動が加わる場所で使用する場合は別途お問い合わせください。

使用上のご注意

注意qメタルシールシリンダの構成部品は精密な公差で製作されているため、分解できません。

分解

注意

MQQ・MQM Series／製品個別注意事項q

q無給油タイプシリンダへの給油低速・出力コントロール制御される場合は、給油は行わないでください。給油した場合、油の粘度・表面張力等により摺動抵抗が変化する場合があります。また、シリンダ駆動用に電磁弁を使用される場合、メタルシールタイプを使用してください。弾性体シールタイプの場合、主弁部のグリースの飛来により摺動抵抗が増加する場合があります。高速駆動におきましても給油は不要ですが、給油される場合はタービン油1種（無添加）ISO VG32を給油してください。（スピンドル油・マシン油は不可）

注意給油

ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましては前付39、アクチュエータ／共通注意事項、オートスイッチ／共通注意事項につきましてはP.3～12をご確認ください。

1325

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

選　定

注意

MQQ・MQM Series／製品個別注意事項w

標準形：MQQTB

負荷質量と最大速度：MQQT/MQQL

耐横荷重形：MQQLB／ボールブッシュ内蔵形

ロッド先端許容横荷重

使用速度

MQQシリーズの場合

W取付姿勢：水平、供給圧力0.5MPa時1N=0.102kgf

注1）ロッド先端許容横荷重は、ロッド先端めねじの場合を示します。注2）負荷の大きさ(負荷の重心までの距離)によって許容横荷重は変わります。詳細につきましては、別途ご相談ください。

MQQ　可動部質量表

可動部質量

チューブ内径(mm) MQQT：可動部質量（g） MQQL：可動部質量（g）101620253040

質量＝8.9＋｛3.1×（ストローク/10）｝

質量＝22.9＋｛4.0×（ストローク/10）｝

質量＝34.8＋｛6.6×（ストローク/10）｝

質量＝66.9＋｛8.8×（ストローク/10）｝

質量＝115.0＋｛15.8×（ストローク/10）｝

質量＝182.2＋｛15.8×（ストローク/10）｝

質量＝16.7＋｛3.1×（ストローク/10）｝

質量＝34.9＋｛4.0×（ストローク/10）｝

質量＝57.9＋｛6.6×（ストローク/10）｝

質量＝97.7＋｛8.8×（ストローク/10）｝

質量＝190.2＋｛15.8×（ストローク/10）｝

質量＝257.4＋｛15.8×（ストローク/10）｝

許容最大横荷重　W(N)

ストローク ST(mm)



ø40

ø30

ø25

ø20

ø16

ø10

756030

ø40

ø30

ø25

ø20

ø16

6

5

4

3

2

ø10

50

40

30

20

10

60

100

1

7

100756030

例1）MQQ20を用いて15[N]の負荷を駆動させる場合…最大速度は167[mm/sec]

注1）ロッド先端に負荷が取付く場合には負荷質量に応じて、グラフに示す最大速度以下になるように速度を調整してください。

注2）負荷質量は、シリンダ可動部質量（右表参照）を含みます。

許容運動エネルギー耐横荷重形:MQQチューブ内径（mm）許容運動エネルギー (J)

101620253040

0.006

0.010

0.022

0.044

0.080

0.160

負荷質量　W[N]　注2）

最大速度　V[mm/sec]

MQQT:標準タイプ

MQQL:耐横荷重タイプ

MQQLの領域

MQQ40

MQQ30MQQ25

MQQ20

MQQ16

MQQ10

1000

500

100

(15)

(167)

50

10

5

1

0.5

500100500.3

注）ロッド側フランジ：MQQ□F時は、ストロークに10mm加算のこと。


運動エネルギーE（J）=

m1：シリンダ可動部質量 kgm2：負荷質量 kg　V：ピストン速度 m/s

（m1+m2）V2

2

1326

選　定

注意

MQQ・MQM Series／製品個別注意事項e


負荷質量と最大速度：MQML/MQMLH MQM　可動部質量表


使用速度

W

注1）負荷の大きさ(負荷の重心までの距離)によって許容横荷重は変わります。詳細につきましては、別途ご相談ください。

チューブ内径(mm) 可動部質量（g）

610162025

質量＝8.2＋｛1.6×（ストローク/15）｝

質量＝12.0＋｛1.6×（ストローク/15）｝

質量＝28.6＋｛2.2×（ストローク/15）｝

質量＝72.0＋｛6.4×（ストローク/15）｝

質量＝117.6＋｛9.2×（ストローク/15）｝

可動部質量

MQMシリーズの場合



756030

ø25

ø20

ø16

ø10

ø6

10

8

6

4

2

12

100

最大速度　V[mm/sec]

MQM:標準タイプ

MQMH:高速・高頻度タイプ

負荷質量　W[N]　注2）

例1）MQM16を用いて15[N]の負荷を駆動させる場合…最大速度は460[mm/sec]

注1）ロッド先端に負荷が取付く場合には、負荷質量に応じて、グラフに示す最大速度以下になるように速度を調整してください。

注2）負荷質量は、シリンダ可動部質量（右表参照）を含みます。

許容運動エネルギー耐横荷重形:MQML/MQML□□Hチューブ内径（mm）許容運動エネルギー (J)

610162025

0.015

0.059

0.161

0.386

0.597

1000 3000

ø6

ø10

ø16ø20ø25

1000

500

100

(15)

(460)

50

10

5

1

0.5

500100500.3

取付姿勢：水平、供給圧力0.5MPa時1N=0.102kgf


運動エネルギーE（J）=

m1：シリンダ可動部質量 kgm2：負荷質量 kg　V：ピストン速度 m/s

（m1+m2）V2

2

注）可動部質量にロッド先端ナットは含まれていません。

1327

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

A

単動仕様

MQ

作動方式

注）MQPシリーズにオートスイッチ付はありません。

S

P

ストローク10 10mm

10 10 S

チューブ内径46101620

4mm 6mm10mm16mm20mm

特殊単動（外力引込形）

チューブ内径（mm）シール構造作動方式保証耐圧力最高使用圧力最低使用圧力注1)

周囲温度および使用流体温度給油注2)

ストローク長さの許容差供給圧力0.1MPa供給圧力0.3MPa供給圧力0.5MPa

総漏れ量注3)

メタルシール特殊単動（外力引込形）

1.05MPa0.7MPa0.001MPa＋5～＋80℃不要（無給油）


4 6 10 16 20

仕様

+1.00



使用圧力（MPa）0.70.6

9.119.655.0140.8219.9


7.816.847.1120.7188.5

0.5

6.514.039.3100.6157.1

0.4

5.211.231.480.4125.7

0.3

3.98.423.660.394.3

0.2

2.65.615.740.262.8

0.1

1.32.87.920.131.4

12.628.378.5201.1314.2


可動部質量および総質量表単位：g

46

101620

46101620

可動部質量総質量

43 55 96161239

4 8 24 62103

単位：N

RoHS

低摩擦シリンダ（単動）

ø4, ø6, ø10, ø16, ø20MQP Series

型式表示方法

メタルシール

表示記号単動（押圧）

※ストロークエンドでの使用はできません。

注1）可動部質量除く。注2）給油につきましては、P.1330注意事項をご参照ください。なお、本製品は初期潤滑油としてタ

ービン油を使用しております。ロッド部および配管ポートから潤滑油が滲み出す場合がありますのでご注意ください。


1328A

低摩擦シリンダ（単動）メタルシールMQP Series

構造図

外形寸法図

番号12345678

部品名ピストンロッドライナーシリンダチューブボルトダンパO-リング止め輪プラグ

特殊ステンレス鋼特殊ステンレス鋼アルミニウム合金炭素工具鋼

ポリカーボネイトNBR

炭素工具鋼炭素工具鋼

材質備考

構成部品

硬質アルマイトクロメート


u q w i y e t r

ø4・ø6

ø10・ø16・ø20


（mm）

4

6

10

16

20

41

41

46.5

49

52.5

A

38

38

41.5

44

47.5

B

―

―

29

36

40

E

9

9

5.5

5.5

5.5

F

22

24

38

47

52

I

3

3

5

5

5

L

16

18

20

25.5

28

M

3.2

3.2

3.5

5.4

5.4

N

―

―

6.5

9

9

6

6

7

10

10

―

―

4

7

7

OB RA RB

M3×0.5

M3×0.5

M4×0.7

M6×1.0

M6×1.0

OA

SR3

SR5

SR8

SR12

SR15

C

4

6

10

16

20（19）

D注）


90°F

A

L B

øI

C

C M

øD

øI

F

A

L B

øD

E

M5×0.8ø10座ぐり深1.5

2×OA有効深さRA 2×øN通し


M±0.2

E

M±0.2

2×4×OA有効深さRA M5×0.8

4×

øN通し

1329

REA

REB

REC

CY

CX

MQ

RHC

RZQ

D-

-X

MQ

使用上のご注意使用上のご注意

MQP Series／製品個別注意事項

q取付時には、接続配管を十分フラッシングして、シリンダ内部にゴミや切粉が入らないようにしてください。

w空気源はろ過度5μm以下のエアフィルタを取付けてください。なお、低速・出力コントロール制御される場合は、クリーンエア（大気圧露点温度は－10℃以下）を使用しミストセパレータ（ろ過度0.3μm以下）の設置を推奨します。

eシリンダの駆動用に電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプを使用してください。弾性体シールタイプの場合、主弁部のグリースの飛来により摺動抵抗が増加する場合があります。

r本シリンダはストロークエンドでは使用できません。10mmストロークの中間ストロークとしてご使用ください。

tロッド先端を装置やワークに直接連結しないでください。また、相手側を平面にして球面による点接触構造にしてください。

本シリンダのロッドは熱処理されたステンレス鋼（HRC60）で仕上げています。球面接触の相手側（装置・ワーク等）の面粗度はRz6.3・材質はHB100以上（アルミ材：2000系または7000系相当）としてください。より高精度・長寿命とする場合は熱処理材＋平面研摩加工品（Rz0.8）を推奨します。なお、球面接触部にグリースを塗布することにより、より円滑に動作すると共に摩耗の低減ができますが、シリンダ摺動面に付着しないよう注意をお願いします。

yロッド軸芯と負荷・移動方向は必ず一致させるようにし、装置のシリンダ取付面許容角度は3°以下にしてください（推奨1°以下）。精度の悪い取付面は、ロッドに横荷重が加わると共に球面接触部の横滑りなどにより、推力低下が生じたりバラツキが大きくなります。また作動不良の要因ともなります。

分解

qメタルシールシリンダの構成部品は精密な公差で製作されているため、分解できません。

給油

q無給油タイプシリンダへの給油低速・出力コントロール制御される場合は、給油は行わないでください。給油した場合、油の粘度・表面張力等により摺動抵抗が変化する場合があります。また、シリンダ駆動用に電磁弁を使用される場合、メタルシールタイプを使用してください。弾性体シールタイプの場合、主弁部のグリースの飛来により摺動抵抗が増加する場合があります。高速駆動におきましても給油は不要ですが、給油される場合はタービン油1種（無添加）ISO VG32を給油してください。（スピンドル油・マシン油は不可）

点接触

装置・ワーク等

MQPシリンダ

MQPシリンダ

3°以下

（推奨1°以下）

MQPシリンダ

MQPシリンダ

装置・ワーク等装置・ワーク等


1330

mq series - smc corporationca01.smcworld.com/.../best-5-3-jp/pdf/3-p1303-1330-mq.pdfmq-d040 mq-d050...

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