シリーズ
MQQT標準形
チューブ内径(mm)
101620253040
使用圧力範囲(MPa)
0.005~0.5
0.005~0.7
駆動速度(mm/s)
0.3~300
0.5~500MQQL耐横荷重形
(ボールブッシュ内蔵)
シリーズ
MQML標準形
チューブ内径(mm)
6(標準形のみ)10162025
使用圧力範囲(MPa)
ø6:0.02~0.7ø10~ø25:0.005~0.7
0.01~0.7
駆動速度(mm/s)
0.5~1000
5~3000MQMLH高速・高頻度
シリーズ
MQP
チューブ内径(mm)
ø4ø6
ø10ø16ø20
使用圧力範囲(MPa)
0.001~0.7(可動部質量除く)
0.01~80.03~190.08~500.20~1400.30~200
推力コントロールの目安(N)
薄形低摩擦シリンダMQQ Series
耐横荷重形低摩擦シリンダMQM Series
低摩擦シリンダ(単動)MQP Series
P.1308
P.1317
P.1328
MQ Series
低摩擦シリンダ
メタルシールタイプ
RoHS
1303
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
MQQ Series低摩擦シリンダ
MQQ Series
ロッド:炭素鋼材(クロームめっき処理)(メタルシール)
スリーブ:特殊ステンレス鋼(メタルシール)
ピストン:特殊ステンレス鋼(メタルシール)
ボールブッシュ内蔵により耐横荷重向上※MQQTタイプはフッ素樹脂となります。
フローティング機構(PAT.)により、軸ズレによるカジリがなく摺動抵抗が安定している。
MQM SeriesMQM Series摺動抵抗の小さいメタルシール構造
使用できない駆動速度域・出力
摺動抵抗が小さく、0.005MPaでの低圧駆動が可能。※真空でご使用される場合は、別途ご確認ください。
10,000kmまたは1億回往復のロングライフ。
低摩擦 耐横荷重
低圧駆動
長寿命
低摩擦 耐横荷重
低圧駆動
長寿命 低速・等速駆動低速・等速駆動駆動速度範囲0.3mm/sからの低速域で滑かな駆動および等速駆動が可能。
摺動抵抗が低く安定しているため、0.05N単位程度の出力コントロールが可能。(シリンダの受圧面積×圧力精度による)また、長期停止後の摺動抵抗の変化がない。
軸受部にボールブッシュを内蔵で耐横荷重性を向上。(MQQL·MQML)
シリーズバリエーション
シリーズ
MQQT標準形
チューブ内径(mm)101620253040
使用圧力範囲(MPa)
ストローク(mm)10 20
0.005~0.5
0.005~0.7
駆動速度(mm/s)
0.3~300
0.5~500MQQL耐横荷重形
(ボールブッシュ内蔵)
MQQ Series低圧・低速・等速・低摩擦駆動に適した薄形低摩擦シリンダ
30 40 50 60 75 100
MQM Series低圧・低速・等速・低摩擦~高圧・高速・高速応答(高頻度)の全ての駆動範囲に適した耐横荷重形低摩擦シリンダ
シリーズ
MQML標準形
チューブ内径(mm)
6(標準形のみ)10162025
使用圧力範囲(MPa)
ストローク(mm)15 30 45 60 75 100
ø6:0.02~0.7ø10~ø25:0.005~0.7
0.01~0.7
駆動速度(mm/s)
0.5~1000
5~3000MQMLH高速・高頻度
1304
推奨回路例
/ø10, ø16, ø20, ø25, ø30, ø40
/ø6, ø10, ø16, ø20, ø25
適用機種/MQQT·MQML
適用機種/MQQL·MQML 適用機種/MQQL·MQML
スクラバー
ウエハー
コイル
巻線一定荷重
ガラス
0.1mm程度の微少ストロークにも追従
用途例(メタルシールタイプ)
微圧作動、微圧変動に応答されるテンションコントロール用
微圧変動に応答される押圧コントロール用
常に一定出力を要求するガラス、レンズ等の切断・破壊作業用
半田装置
ベルトコンベア
精密機器
薄板
ベルトコンベア高速駆動
不適合品
高頻度駆動を必要とするパンチング作動用
低・等速駆動を必要とする精密機器等の搬送用
高速駆動を必要とする不適合品排出作業用
適用機種/MQML·MQMLH 適用機種/MQML·MQMLH適用機種/MQQT·MQML
例1)等速・低速駆動(シリンダ出力のコントロールはできません。)
例3)高速・高頻度駆動
例2)低速および出力コントロール
※電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプ(VQ·VQZ·SQ シリーズ等)をご使用ください。
※電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプ(VQ·VQZ·SQ シリーズ等)をご使用ください。
低摩擦仕様としてご使用される場合
採用により一般シリンダではコントロールをカバーします。
ウエハーの研磨
うねり面の切断 コイルの巻線
パンチング不適合品排出精密機器搬送
高速駆動・高頻度高速駆動・高頻度
※運動エネルギーはP.1327をご参照ください。
Hタイプ(固定絞りなし)を使用することにより、3,000mm/sの高速駆動が可能。また、短ストロークの場合50往復/s程度の連続駆動が可能。(MQMLH)
※シリンダの出力コントロールを行う場合はスピードコントローラ等による絞り回路は設けないでください。シリンダ内部圧力が低下しコントロールできなくなります。必ず圧力制御によるコントロール駆動を行ってください。なお、押圧・テンションコントロール(外力駆動)として、使用した場合、シリンダ内のエアは減圧弁リリーフポートより排出します。変位(ストローク)や駆動速度等によりシリンダ内圧力が上昇する場合は、シリンダ間にエアタンクを設けてください。
1)偏荷重によって、摺動抵抗は変化します。ロッド軸芯と負荷・移動方向は必ず一致させるように連結してください。偏荷重が予測される場合はフローティングジョイント等を設置してください。
2)クリーンエア(大気圧露点温度は-10℃以下)を使用しミストセパレータAMシリーズ(ろ過度0.3μm以下)または、AM+AMDシリーズ(ろ過度0.01μm以下)の設置を推奨します。
W
精密絞り弁 電磁弁
ミストセパレータ(0.3μm以下)
エアフィルタ(5μm以下)
IR(精密減圧弁)
電磁弁
エアフィルタ(5μm以下)
ミストセパレータ(0.01μm以下) (0.3μm以下)
ITV(電空レギュレータ)
エアフィルタ(5μm以下)IR(精密減圧弁)
W
1305
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
押圧コントロール0.01N
低摩擦シリンダ
MQP SeriesMQP Series
0.01mm程度の微小ストロークにもスティックスリップは生じません。静体軸受の様に特殊なエア供給も不要です。
スティックスリップレススティックスリップレス
受圧径のバラツキ:3μm以下シリンダを交換しても推力の再調整は不要です。また、1回路上に複数のシリンダを使用しても推力のバラツキは生じません。(使用環境下による)
推力のバラツキ低減推力のバラツキ低減摺動抵抗が低く安定しているため、0.01N単位程度の出力コントロールが可能。(シリンダの受圧面積×圧力精度による)また、放置後の摺動抵抗の変化がない。
低摩擦・ソフトタッチ低摩擦・ソフトタッチ摺動抵抗が小さいため、繊細で精密なリニア制御が可能。
高精度リニア制御高精度リニア制御
ピストンとロッドを同一軸径(ピストンレス)にすることにより大幅に摺動抵抗を低減。
ピストンレスピストンレス 特殊単動/外力引込特殊単動/外力引込
MQP Series低摩擦押圧コントロールに適した低摩擦シリンダチューブ内径(受圧径)
[mm]ø 4ø 6ø10ø16ø20
可動部質量[g]482462103
推力コントロールの目安[N]
0.01~ 80.03~ 190.08~ 500.20~1400.30~200
ストローク[mm]
10
使用圧力範囲[MPa]
0.001
0.7〜
(可動部質量を除く)
押圧コントロール用
外力
ピストンロッド:特殊ステンレス鋼
球面形状のため取付精度による
偏荷重の影響を受け難い
肉逃げによる可動部重量の軽量化ピストンレス
(メタルシール)
ライナー:特殊ステンレス鋼(メタルシール)
1306
単動使用例 複動使用例
推奨回路例
/ø4, ø6, ø10, ø16, ø20
(メタルシールタイプ/単動)
~200N領域をフルカバー
1)電磁弁を使用される場合は主弁部の潤滑剤流出のないVQ100シリーズを推奨します。
2)スピードコントローラ等による絞り回路は設けないでください。シリンダ内部圧力が低下し高精度の推力コントロールができなくなる場合があります。必ず圧力制御によるコントロール駆動を行ってください。
用途例/微圧変動に応答される押圧コントロール用
MQPシリンダを2本使用することにより、MQQ・MQM複動メタルシリンダの推力精度を向上させることができます。また、押出・引込方向の同一推力が得られます。
固定ベース
例1)一般駆動
VQ100シリーズ(直動3ポート弁)
ミストセパレータ(0.01μm以下) (0.3μm以下)
IR(精密減圧弁) エアフイルタ
(5μm以下)
例2)ソフトタッチ駆動
ミストセパレータ(0.3μm以下)
ITV(電空レギュレータ)
エアフイルタ(5μm以下)
電子部品の検査・マウント
高精度のリニア制御
コイルの巻線
電子部品
巻線
一定荷重コイルポピン
W W
●真空用テンションシリンダ(引込形)●単動押出形(スプリング内蔵形)●~ø40までのチューブ内径
オーダーメイド
1307
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
A
薄形低摩擦仕様
形式
取付
MQQ
標準ストロークのシリンダにスペーサを装着することにより1mm毎のストロークに対応可能です。例:MQQTB10-15D(MQQTB10-20Dに5mmのスペーサを装着してストロークを調整)
10
16
20
25
30
40
BLFG
D注)
通し穴・両側タップ共通(標準)フート形
ロッド側フランジ形ヘッド側フランジ形二山クレビス形
作動方式
注)MQQL□のみ対応。※取付支持金具は同梱出荷(未組付)となります。
注)先端ねじ変換ジョイント取付となります。※先端ねじ変換ジョイントは同梱出荷(組付) となります。
注)MQQシリーズにオートスイッチ付はありません。
D 複動形
T B 10 10 D
T 標準形耐横荷重形
(ボールブッシュ内蔵)L
シリンダストローク
チューブ内径101620253040
10mm16mm20mm25mm30mm40mm
ボディオプション無記号
M注)標準(ロッド先端めねじ)ロッド先端おねじ
チューブ内径(mm) 標準ストローク(mm)10, 20, 30, 4010, 20, 30, 40, 50, 6010, 20, 30, 40, 50, 6010, 20, 30, 40, 50, 75, 10010, 20, 30, 40, 50, 75, 10010, 20, 30, 40, 50, 75, 100
取付支持金具/部品品番
10
16
20
25
30
40
チューブ内径(mm)
CQS-L016CQS-L020CQS-L025MQ-L032MQ-L040CQ-L050
フート 注1)
CQS-F016CQS-F020CQS-F025MQ-F032MQ-F040CQ-F050
フランジ
MQ10-MMQ16-MMQ20-MMQ25-M
MQ28-M
先端ねじ変換ジョイント(ナット付)
CQS-D016CQS-D020CQS-D025MQ-D032MQ-D040MQ-D050
二山クレビス
注1)フート金具をご注文の際、シリンダ1台分の場合には、数量を2ヶで手配ください。注2)各部品に付属する部品は下記の通りです。 フート・フランジ‥‥‥‥‥‥本体取付用ボルト 二山クレビス‥‥‥‥‥‥‥‥クレビス用ピン、軸用C形止め輪、本体取付用ボルト
ポートねじの種類
無記号
TNTF
MねじRcNPTG
ø25~ø40
ø10~ø20
薄形低摩擦シリンダ
ø10, ø16, ø20, ø25, ø30, ø40MQQ Series
型式表示方法
メタルシール
RoHS
1308
薄形低摩擦シリンダメタルシールMQQ Series
チューブ内径(mm)シール構造作動方式使用流体保証耐圧力最高使用圧力最低使用圧力注1)
周囲温度および使用流体温度 クッション給油注2)
ロッド先端ねじストローク長さの許容差使用ピストン速度注3)
総漏れ量注4)
メタルシール複動形片ロッド
空気1.05MPa0.5MPa0.005MPa-10~80℃
ラバークッション(標準装備)不要(無給油)めねじ
0.3~300mm/s(P.1326参照)
10 16 20 25 30 40
仕様/標準形:MQQT
150cm3/min800cm3/min1500cm3/min
200cm3/min1000cm3/min2000cm3/min
300cm3/min1200cm3/min3000cm3/min
400cm3/min1600cm3/min4000cm3/min
400cm3/min1600cm3/min4000cm3/min
+1.00
チューブ内径(mm)
単位:g
シリンダストローク(mm)
101620253040
40 166 286 414 671 7431082
30142246352579655964
20118206290487567846
10 94166228395479728
質量表/標準形:MQQT
表示記号複動:片ロッド
50― 326 476 763 8311200
60―366538―――
75――― 99310521495
100―――122312721790
供給圧力0.1MPa供給圧力0.3MPa供給圧力0.5MPa
チューブ内径(mm)
単位:g
シリンダストローク(mm)
101620253040
40 220 404 569 82811751691
30 196 364 507 73610871573
20 172 324 445 644 9991455
10 148 284 383 552 9111337
質量表/耐横荷重形:MQQL(ボールブッシュ内蔵形)
50― 444 631 92012631809
60―484693―――
75―――115014852104
100―――138017052399
注1)水平時の値。(クリーン・ドライエアを使用し凍結なきこと)ただし、ストロークが長くなる程可動部質量の影響やロッドの自重による偏荷重により0.003~0.005MPa程度上昇する場合があります。
注2)給油につきましては、P.1325注意事項をご参照ください。なお、本製品は初期潤滑油としてタービン油を使用しております。ロッド部および配管ポートから潤滑油が滲み出す場合がありますのでご注意ください。
注3)低速駆動は、差圧およびスピードコントローラなどで制御してください。(詳細は、P.1305推奨回路例をご参照ください。)
注4)値は参考値であり、保証値ではありません。
仕様/耐横荷重形:MQQL
チューブ内径(mm)シール構造作動方式使用流体保証耐圧力最高使用圧力最低使用圧力注1)
周囲温度および使用流体温度 クッション給油注2)
ロッド先端ねじストローク長さの許容差使用ピストン速度注3)
総漏れ量注4)
メタルシール複動形片ロッド
空気1.05MPa0.7MPa0.005MPa-10~80℃
ラバークッション(標準装備)不要(無給油)めねじ
0.5~500mm/s(P.1326参照)
10 16 20 25 30 40
150cm3/min800cm3/min1500cm3/min
200cm3/min1000cm3/min2000cm3/min
300cm3/min1200cm3/min3000cm3/min
+1.00
供給圧力0.1MPa供給圧力0.3MPa供給圧力0.5MPa
注1)水平時の値。(クリーン・ドライエアを使用し凍結なきこと)ただし、ストロークが長くなる程可動部質量の影響やロッドの自重による偏荷重により0.003~0.005MPa程度上昇する場合があります。
注2)給油につきましては、P.1325注意事項をご参照ください。なお、本製品は初期潤滑油としてタービン油を使用しております。ロッド部および配管ポートから潤滑油が滲み出す場合がありますのでご注意ください。
注3)低速駆動は、差圧およびスピードコントローラなどで制御してください。(詳細は、P.1305推奨回路例をご参照ください。)
注4)値は参考値であり、保証値ではありません。
チューブ内径(mm)
10
20
25
30
40
50.3 78.5145.8196.1235.6314.2377.8490.9505.8706.91055.61256.6
理論出力表(目安)
使用圧力(MPa)
0.1ロッド径(mm)
6
8
10
12
16
作動方向
INOUTINOUTINOUTINOUTINOUTINOUT
受圧面積(mm2)
5.0 7.914.919.623.631.437.849.150.670.7105.6125.7
0.2 10.1 15.7 29.2 39.2 47.1 62.8 75.6 98.2101.2141.4211.2251.4
0.3 15.1 23.6 43.7 58.9 70.7 94.3113.3147.3151.8212.1316.8377.1
0.4 20.1 31.4 58.3 78.4 94.2125.7151.1196.4202.4282.8422.4502.8
0.5 25.2 39.3 72.9 98.1117.8157.1188.9245.5253.0353.5528.0628.5
0.6 30.2 47.1 87.5117.7141.4188.5226.7294.5303.6424.2633.6754.2
0.7 35.2 55.0102.1137.3164.9219.9262.5343.6354.2494.9739.2879.9
単位:N
16(15.8)
INOUT
1309
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
A
MQQ Series
構造図
番号12345678910111213141516
部品名ロッドピストンライナースリーブスリーブリティナプレートガイドシリンダチューブダンパAダンパBブッシュ底板O-リング止め輪ボルトボールブッシュ
炭素鋼特殊ステンレス鋼特殊ステンレス鋼特殊ステンレス鋼アルミニウム合金アルミニウム合金フッ素樹脂
アルミニウム合金ポリウレタンポリウレタンアルミニウム合金アルミニウム合金
NBR炭素工具鋼炭素工具鋼
材質 備考
構成部品
硬質クロムめっき
硬質アルマイト
硬質アルマイト
硬質アルマイト
燐酸塩被膜クロメート
標準形/MQQT
耐横荷重形/MQQL(ボールブッシュ内蔵形)
q
!1 !6 !2
u !4 y r t !3 e i o w !0 !5
1310
薄形低摩擦シリンダメタルシールMQQ Series
取付方法
取付ボルトa)取付Aタイプ(取付板のねじを使用する場合)
b)取付Bタイプ(シリンダチューブのねじを使用する場合)
型 式取付Aタイプ 取付Bタイプ
取付ボルトサイズ
M3×0.5
M5×0.8
M6×1
M3×0.5
M5×0.8
M6×1
取付ボルトサイズ
M6×1
M8×1.25
E(mm)
8~11
16~22
8~11
13~17
13~17
16~22
C(mm)
7
7
8.5
9
7.5
6
7
5.5
8
6.5
7
7
D:ねじ長さ(mm)
35+ストローク
35+ストローク
40+ストローク
45+ストローク
50+ストローク
50+ストローク
65+ストローク
70+ストローク
80+ストローク
85+ストローク
105+ストローク
105+ストローク
MQQTB10-DMQQTB16-DMQQTB20-DMQQTB25-DMQQTB30-DMQQTB40-DMQQLB10-DMQQLB16-DMQQLB20-DMQQLB25-DMQQLB30-DMQQLB40-D
標準形MQQT
耐横荷重形MQQL
(ボールブッシュ内蔵形)
適合取付ボルト寸法表
D D
EtE t
C C
注)取付Aタイプの場合は平座金を必ずご使用ください。
:ストローク
M4×0.7
M6×1
M8×1.25
M4×0.7
1311
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
外形寸法図
標準形(通し穴・両端タップ共通)/MQQTB
M
ø10・ø16・ø20
ø25・ø30・ø40
2×4×øOB座ぐり深RB
Hねじ有効深さC
2×4×OA有効深さRA
E±0.2
M
E
±0.2
QY
2×M5×0.8
F
A+ストローク
L B+ストロークK
øI
øD
(mm)
4×
øN通し
ロッド先端おねじの場合/MQQ DM
※ロッド先端ナット
※先端ねじ変換ジョイント
※先端ねじ変換ジョイントおよびロッド先端ナットの詳細は、 P.1316をご参照ください。
X
H1
C1
L1
チューブ内径(mm)
(mm)
10
16
20
25
30
40
23.5
26.5
28.5
34.5
40.5
40.5
L1
10.5
11.5
13.5
16.5
22.5
22.5
C1
M5×0.8
M6×1.0
M8×1.25
M10×1.25
M14×1.5
M14×1.5
H1
15.5
16.5
18.5
22.5
28.5
28.5
X
注)( )寸法は先端部の寸法を示す。
―
―
―
Rc1/8
Rc1/8
Rc1/4
P
―
―
―
―
NPT1/8
NPT1/8
NPT1/4
TN
―
―
―
G1/8
G1/8
G1/4
TFチューブ内径(mm)
ストローク範囲(mm)
10
16
20
25
30
40
10~40
10~60
10~60
10~50, 75, 100
10~50, 75, 100
10~50, 75, 100
39.5
44
47.5
54
60.5
62
A
31.5
34
37.5
42
48.5
50
B
6
8
10
12
13
13
C
6( 5.8)
8( 7.8)
10( 9.8)
12(11.8)
16(15.8)
16(15.8)
D
29
36
40
45
52
64
E
5.5
5.5
5.5
8.5
8.5
12
F
M3×0.5
M4×0.7
M5×0.8
M6×1.0
M8×1.25
M8×1.25
H
38
47
52
60
69
86
I
―
―
―
4.5
5
7
J
5
7
8
10
14
14
K
8
10
10
12
12
12
L
20
25.5
28
34
40
50
M
3.5
5.4
5.4
5.5
5.5
6.6
N
6.5
9
9
9
9
11
OB
14.5
18
19.5
23
26
26
Q
7
10
10
10
10
14
RA
―
―
―
49.5
57
71
W
5
5
6
7
10
10
Y
M4×0.7
M6×1.0
M6×1.0
M6×1.0
M6×1.0
M8×1.25
OA
4
7
7
7
7
8
RB注)
MQQ Series
øI
2×4×øOB座ぐり深RB
Hねじ有効深さC
2×4×OA有効深さRA
WEJ
M±0.2
M ±0.2
E
K
øD
Y Q
2×P
F
4×
øN通し
A+ストローク
B+ストロークL
1312
薄形低摩擦シリンダメタルシールMQQ Series
フート形/MQQTLø10・ø16・ø20
ロッド側フランジ形/MQQTFø10・ø16・ø20
ヘッド側フランジ形/MQQTGø10・ø16・ø20 ø25・ø30・ø40
ø25・ø30・ø40
ø25・ø30・ø40
特殊キャップボルトB+ストローク
A+ストローク
4×øLD X X LGLS+ストロークY Y
L
LXLZ
LT
LH L
Y
FTL B+ストローク
A+ストローク2×øFD
FX
FZ
FV
L FT FXFZ
B+ストローク
A+ストローク
2×øFD
FV
チューブ内径(mm)
ストローク範囲(mm)
(mm)
10
16
20
25
30
40
10~40
10~60
10~60
10~50,75,100
10~50,75,100
10~50,75,100
44.3
51.2
54.7
61.2
67.7
70.2
A
31.5
34
37.5
42
48.5
50
B
8
10
10
12
12
12
L
4.5
6.6
6.6
6.6
6.6
9
LD
2.8
4
4
4
4
5
LG
19
24
26
30
33
39
LH
チューブ内径(mm)
10
16
20
25
30
40
19.5
22
22.5
26
32.5
27
LS
2
3.2
3.2
3.2
3.2
3.2
LT
38
48
52
57
64
79
LX
33.5
42
46
57
64
78
LY
48
62
66
71
78
95
LZ
8
9.2
10.7
11.2
11.2
14.7
X
5
5.8
5.8
5.8
7
8
Y
チューブ内径(mm)
ストローク範囲(mm)
(mm)
10
16
20
25
30
40
10~40
10~60
10~60
10~50,75,100
10~50,75,100
10~50,75,100
49.5
54
57.5
64
70.5
72
A
31.5
34
37.5
42
48.5
50
B
4.5
6.6
6.6
5.5
5.5
6.6
FD
5.5
8
8
8
8
9
FT
30
39
42
48
54
67
FV
45
48
52
56
62
76
FX
チューブ内径(mm)
ストローク範囲(mm)
(mm)
10
16
20
25
30
40
10~40
10~60
10~60
10~50,75,100
10~50,75,100
10~50,75,100
45
52
55.5
62
68.5
70
A
8
10
10
12
12
12
L
チューブ内径(mm)
10
16
20
25
30
40
55
60
64
65
72
89
FZ
18
20
20
22
22
22
L
―
―
―
34
40
50
M
(A,L寸法以外はロッド側フランジ形と同寸法です。)
LZLX
4×øLD
LY
LH
B+ストロークL
A+ストロークLS+ストローク
LTYX LGXY
FZ
FX
4×øFD
FVM
A+ストローク
B+ストロークL
FT
FVM
FZ
FX
4×øFD
1313
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
外形寸法図
耐横荷重形(通し穴・両端タップ共通)/MQQLBø10・ø16・ø20
ø25・ø30・ø40
2×4×øOB座ぐり深RB
2×4×OA有効深さRA
B+ストローク
A+ストローク
Y Q
L
F
2×M5×0.8
4×
øN通し
Hねじ有効深さC
K
E
E øD
M±0.2
M±0.2
øI
(mm)
※先端ねじ変換ジョイントおよびロッド先端ナットの詳細は、 P.1316をご参照ください。
ロッド先端おねじの場合/MQQ DM
注)( )寸法は先端部の寸法を示す。
※ロッド先端ナット
※先端ねじ変換ジョイント X
H1
C1
L1
チューブ内径(mm)
(mm)
10
16
20
25
30
40
23.5
26.5
28.5
34.5
40.5
40.5
L1
10.5
11.5
13.5
16.5
22.5
22.5
C1
M5×0.8
M6×1.0
M8×1.25
M10×1.25
M14×1.5
M14×1.5
H1
15.5
16.5
18.5
22.5
28.5
28.5
X
―
―
―
Rc1/8
Rc1/8
Rc1/4
P
―
―
―
―
NPT1/8
NPT1/8
NPT1/4
TN
―
―
―
G1/8
G1/8
G1/4
TFチューブ内径(mm)
ストローク範囲(mm)
10
16
20
25
30
40
10~40
10~60
10~60
10~50, 75, 100
10~50, 75, 100
10~50, 75, 100
69.5
80.5
89
96.5
116
116
A
61.5
70.5
79
84.5
104
104
B
6
8
10
12
13
13
C
6( 5.8)
8( 7.8)
10( 9.8)
12(11.8)
16(15.8)
16(15.8)
D
29
36
40
45
52
64
E
9
11
11.5
13.5
17.5
17.5
F
M3×0.5
M4×0.7
M5×0.8
M6×1.0
M8×1.25
M8×1.25
H
38
47
52
60
69
86
I
―
―
―
4.5
5
7
J
5
7
8
10
14
14
K
8
10
10
12
12
12
L
20
25.5
28
34
40
50
M
3.5
5.4
5.4
5.5
5.5
6.6
N
6.5
9
9
9
9
11
OB
39.5
48.5
55
58
71
71
Q
7
10
10
10
10
14
RA
―
―
―
49.5
57
71
W
5
5
6
7
10
10
Y
M4×0.7
M6×1.0
M6×1.0
M6×1.0
M6×1.0
M8×1.25
OA
4
7
7
7
7
8
RB注)
MQQ Series
øI
2×4×øOB座ぐり深RB
Hねじ有効深さC
2×4×OA有効深さRA
WEJ
M±0.2
M ±0.2
E
K
øD
Y Q
2×P
F
4×
øN通し
A+ストローク
B+ストロークL
1314
薄形低摩擦シリンダメタルシールMQQ Series
フート形/MQQLLø10・ø16・ø20
ロッド側フランジ形/MQQLFø10・ø16・ø20
ヘッド側フランジ形/MQQLGø10・ø16・ø20 ø25・ø30・ø40
ø25・ø30・ø40
ø25・ø30・ø40
特殊キャップボルトB+ストローク
A+ストローク
4×øLD X X LGLS+ストローク
Y Y
L
LXLZ
LT
LH L
Y
FT
L B+ストローク
A+ストローク2×øFD
FX
FZ
FV
L FT FX
FZ
B+ストローク
A+ストローク
2×øFD
FV
チューブ内径(mm)
ストローク範囲(mm)
(mm)
10
16
20
25
30
40
10~40
10~60
10~60
10~50,75,100
10~50,75,100
10~50,75,100
74.3
87.7
96.2
103.7
123.2
124.2
A
61.5
70.5
79
84.5
104
104
B
8
10
10
12
12
12
L
4.5
6.6
6.6
6.6
6.6
9
LD
2.8
4
4
4
4
5
LG
19
24
26
30
33
39
LH
チューブ内径(mm)
10
16
20
25
30
40
49.5
58.5
64
68.5
88
81
LS
2
3.2
3.2
3.2
3.2
3.2
LT
38
48
52
57
64
79
LX
33.5
42
46
57
64
78
LY
48
62
66
71
78
95
LZ
8
9.2
10.7
11.2
11.2
14.7
X
5
5.8
5.8
5.8
7
8
Y
チューブ内径(mm)
ストローク範囲(mm)
(mm)
10
16
20
25
30
40
10~40
10~60
10~60
10~50,75,100
10~50,75,100
10~50,75,100
90.5
107.5
119
126.5
148
158
A
61.5
70.5
79
84.5
104
104
B
5
8
10
10
10
14
CD
84.5
98.5
109
116.5
138
144
CL
4
5
5
5
6
7
CT
10
12
14
14
14
20
CU
チューブ内径(mm)
10
16
20
25
30
40
15
18
20
20
22
28
CW
6.5
8
10
18
18
22
CX
12
16
20
36
36
44
CZ
8
10
10
12
12
12
L
6
9
10
10
10
14
RR
二山クレビス形/MQQLD
L
CT
CW
RR
CX+0.4+0.2
CZ -0.1-0.3
CU
B+ストローク
A+ストローク
CL+ストローク
øCD穴H10軸d9
キャップボルト
チューブ内径(mm)
ストローク範囲(mm)
(mm)
10
16
20
25
30
40
10~40
10~60
10~60
10~50,75,100
10~50,75,100
10~50,75,100
75
88.5
97
104.5
124
124
A
8
10
10
12
12
12
L
(A,L寸法以外はロッド側フランジ形と同寸法です。)
チューブ内径(mm)
ストローク範囲(mm)
(mm)
10
16
20
25
30
40
10~40
10~60
10~60
10~50,75,100
10~50,75,100
10~50,75,100
79.5
90.5
99
106.5
126
126
A
61.5
70.5
79
84.5
104
104
B
4.5
6.6
6.6
5.5
5.5
6.6
FD
5.5
8
8
8
8
9
FT
30
39
42
48
54
67
FV
45
48
52
56
62
76
FX
チューブ内径(mm)
10
16
20
25
30
40
55
60
64
65
72
89
FZ
18
20
20
22
22
22
L
―
―
―
34
40
50
M
LZ
LX
4×øLD
LY
LH
B+ストロークL
A+ストローク
LS+ストローク
LTX Y Y X LG
FZ
FX
4×øFD
FVM
B+ストローク
FT
A+ストローク
L
FZ
FX
FVM
4×øFD
1315
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
MQQ Series
付属金具寸法
先端ねじ変換ジョイント(右図ロッド先端ナット付)
クレビスピン品番
ロッド先端ナット
品番 A
MQ10-MMQ16-MMQ20-MMQ25-MMQ28-M
適用チューブ内径(mm)10
16
20
25
30,40
20.5
22.5
24.5
33.5
40.5
B
8
8
8
10
14
C
9.2
9.2
9.2
11.5
16
E
15.5
16.5
18.5
22.5
28.5
F
5
6
6
11
12
D
6
8
10
12
16
ロッド
C
B
MM
ød
øD
d9
mm l
tLt
H
E F
AB H
C
dNN
øD
品番 Dd9
IY-J015IY-G02IY-G03IY-G04IY-G05
適用チューブ内径(mm)
使用する止め輪
10
16
20
25,30
40
5
8
10
10
14
L
16.6
21
25.6
41.6
50.6
l
12.2
16.2
20.2
36.2
44.2
m
1.5
1.5
1.55
1.55
2.05
d
4.8
7.6
9.6
9.6
13.4
軸用C形5
軸用C形8
軸用C形10
軸用C形10
軸用C形14
t
0.7
0.9
1.15
1.15
1.15
品番 B
NTJ-015ANT-015A
NT-02NT-03NT-04
適用チューブ内径(mm)10
16
20
25
30,40
8
10
13
17
22
C
9.2
11.5
15
19.6
25.4
d
M5×0.8
M6×1.0
M8×1.25
M10×1.25
M14×1.5
H
4
5
5
6
8
質量
1.5g
2.5g
4.0g
8.0g
17.0g
品番 H
MQ10-MMQ16-MMQ20-MMQ25-MMQ28-M
適用チューブ内径(mm)10
16
20
25
30,40
10.5
11.5
13.5
16.5
22.5
MM
M5×0.8
M6×1.0
M8×1.25
M10×1.25
M14×1.5
NN
M3×0.5
M4×0.7
M5×0.8
M6×1.0
M8×1.25
質量注)
5.5g
7.5g
11.5g
22.5g
52.0g
-0.030-0.040-0.040-0.076-0.040-0.076-0.040-0.076-0.050-0.093
※軸用C形止め輪が付属されます。
注)ロッド先端ナットを含みます。
材質:炭素鋼材質:ステンレス鋼
材質:炭素鋼
1316A
耐横荷重形低摩擦仕様
取付
形式
MQML D
6
10
16
20
25
BLFG
C注1)
D注2)
基本形フート形
ロッド側フランジ形ヘッド側フランジ形(ø6除く)一山クレビス形(取付形)二山クレビス形
注1)チューブ内径:20,25mmのみ。※取付支持金具は同梱出荷(未組付)となります。 (クレビス形は除く。)
注2)ø6,ø10,ø16・・・・・・一体形 ø20,ø25・・・・・・・・・取付形
注)チューブ内径6mm除く。
B 10
L 耐横荷重形(ボールブッシュ内蔵)
D 複動式
チューブ内径 610162025
6mm10mm16mm20mm25mm
ファンクション
シリンダストローク
作動方式
無記号H注)
標準形高速・高頻度形(固定絞りなし)
ポートねじの種類
無記号 MねじRcNPTG
ø6~ø16
ø20, ø25
チューブ内径(mm) 標準ストローク(mm)15, 30, 45, 6015, 30, 45, 60, 75, 10015, 30, 45, 60, 75, 10015, 30, 45, 60, 75, 10015, 30, 45, 60, 75, 100
取付支持金具/部品品番
取付支持形式および付属品
取付支持形式 B:基本形
●(1コ)●――
チューブ内径(mm) 6
10
16
20
25
フート注1)
CJK-L016BMQM-L010MQM-L016CM-L020BCM-L032B
フランジ
CJK-F016B
CLJ-F016BCM-F020BCM-F032B
一山クレビス―――
CM-C020BCM-C032B
二山クレビス(ピン付)注2)
―――
CM-D020BCM-D032B
T金具注3)
CJ-T010B
CJ-T016B――
●(2コ)●――
●(1コ)●――
●(1コ)●――
―注1)
●――
―注2)
●●● ピン付
L:フート形 備考F:ロッド側 フランジ形
G:ヘッド側 フランジ形
C:一山 クレビス形
D:二山 クレビス形
標準装備取付ナット注1)
ロッド先端ナットクレビスピンT金具オプション
注1-1)チューブ内径6mmの場合フート金具1ヶとなります。フート金具をご注文の際、シリンダ1台分の場合には、数量を1ヶで手配ください。
注1-2)チューブ内径6mm以外(10, 16, 20, 25mm)の場合/CMシリーズと同要領シリンダ1台に対する使用部品は、フート金具2ヶおよび取付ナット1ヶとなります。(1セット)フート金具をご注文の際、シリンダ1台分の場合には、数量を2ヶで手配ください。(1セット分にて梱包出荷します。)
注2)クレビス用ピンと止め輪が同梱されています。注3)T金具の適用は、二山クレビス形(D)です。
注1)取付ナットは、クレビス一体形、一山クレビス形、二山クレビス形には装備されていません。注2)二山クレビス形にはピン、止め輪が同梱されています。
15
標準ストロークのシリンダにスペーサを装着することにより1mm毎のストロークに対応可能です。例:MQMLB10-20D(MQMLB10-30Dに10mmのスペーサを装着してストロークを調整)
注)MQMシリーズにオートスイッチ付はありません。
TNTF
RoHS
耐横荷重形低摩擦シリンダ
ø6, ø10, ø16, ø20, ø25MQM Series
型式表示方法
メタルシール
1317
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
MQM Series
チューブ内径(mm)シール構造作動方式使用流体保証耐圧力最高使用圧力
最低使用圧力
周囲温度および使用流体温度 クッション給油注2)
ストローク長さの許容差
使用ピストン速度
総漏れ量注4)
メタルシール複動形片ロッド
空気1.05MPa0.7MPa0.005MPa0.01MPa-10~80℃
ラバークッション(標準装備)不要(無給油)
0.5mm/s~1000mm/s(P.1327参照)
6 10 16 20 25
仕様
300cm3/min1200cm3/min3000cm3/min
150cm3/min 800cm3/min1500cm3/min
250cm3/min1000cm3/min2500cm3/min
+1.00
チューブ内径(mm)
単位:N
6
10
20
25
15.7 28.3 66.0 78.5176.4196.1263.9314.2412.3490.9
理論出力表(目安)
使用圧力(MPa)
0.1ロッド径(mm)
4
4
5
8
10
作動方向
INOUTINOUTINOUTINOUTINOUT
受圧面積(mm2)
1.6 2.8 6.6 7.917.619.626.431.441.249.1
0.2 3.2 5.713.215.735.339.252.862.882.598.2
0.3 4.7 8.5 19.8 23.6 52.9 58.9 79.2 94.3123.7147.3
0.4 6.3 11.3 26.4 31.4 70.6 78.4105.6125.7164.9196.4
0.5 7.9 14.2 33.0 39.3 88.2 98.1132.0157.1206.2245.5
0.6 9.4 17.0 39.6 47.1105.8117.8158.3188.5247.4294.5
0.7 11.0 19.8 46.2 55.0123.5137.3184.7219.9288.6343.6
標準形H(高速・高頻度形)供給圧力0.1MPa供給圧力0.3MPa供給圧力0.5MPa
標準形H(高速・高頻度形)
注1)
注3)
0.02MPa―
―
チューブ内径(mm)
単位:g
シリンダストローク(mm)
610162025
77.1123.3220.8478.2608.4
60 68.9113.0198.0435.4559.2
45 60.7102.7175.2392.6510.0
30 52.5 92.4152.4349.8460.8
15
質量表/標準形、高速・高頻度形
─133.6243.6521.0657.6
75─
143.9266.4563.8706.8
100
表示記号複動:片ロッド
5mm/s~3000mm/s(P.1327参照)
16(15.8)
INOUT
注1)水平時の値。(クリーン・ドライエアを使用し凍結なきこと)ただし、ストロークが長くなる程可動部質量の影響やロッドの自重による偏荷重により0.003~0.005MPa程度上昇する場合があります。
注2)給油につきましては、P.1325注意事項をご参照ください。なお、本製品は初期潤滑油として、タービン油(標準形)・リチウム石鹸系グリース(高速・高頻度形)を使用しております。ロッド部および配管ポートから潤滑油が滲み出す場合がありますのでご注意ください。
注3)低速駆動は、差圧およびスピードコントローラなどで制御してください。(詳細はP.1305推奨回路例をご参照ください。)
注4)値は参考値であり、保証値ではありません。
1318A
耐横荷重形低摩擦シリンダメタルシールMQM Series
構造図
番号12345678910111213141516
部品名ロッドピストンチューブヘッドカバーロッドカバースリーブシートクッションAクッションBクッションCナットボールブッシュO-リング止め輪ロッド先端ナット取付ナット
炭素鋼特殊ステンレス鋼特殊ステンレス鋼アルミニウム合金アルミニウム合金特殊ステンレス鋼
NBRポリウレタンポリウレタンポリウレタンアルミニウム合金
NBR炭素工具鋼炭素鋼
黄銅/炭素鋼注)
材質 備考
構成部品
硬質クロムめっき
硬質アルマイト硬質アルマイト
燐酸塩被膜クロメート
q
u
!4 !6
y
rt
!5
e
i o
!3 w
!0 !1!2
注)チューブ内径:ø6, ø10, ø16……黄銅チューブ内径:ø20, ø25……炭素鋼
1319
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
A
MQM Series
外形寸法図
標準形/MQMLBø6
ø10・ø16・ø20・ø25
※ロッド先端ナット
66+ストローク
93.5+ストローク
15
ø11
※取付ナット
M12×1
2×M5×0.8
M4×0.7
16 15 8
27.5
21 4.5 11
ø4
ø13
※ロッド先端ナット
※ロッド先端ナットおよび取付ナットの詳細は、P.1324をご参照ください。
2×P
S+ストローク
ZZ+ストローク
G1 G2 NN
øJ
※取付ナット
A F
H
N2 N1
F
NA
MM
øD
øI
チューブ内径(mm)
(mm)
10
16
20
25
15
15
18
18
A
4
5
8
10
D
8
10
13
13
F
15
15
25
30
G1
6
6
8.5
8.5
G2
18.5
22
31.5
34.5
I
28
30
40.5
44.5
H
16
22
28.5
32
J
11
12
20.5
20.5
N1
20
21
33
38
N2
16
19.5
29
32
NA
65
74
97.5
102.5
S
M12×1
M14×1
M20×1.5
M26×1.5
NN
M5×0.8
M5×0.8
Rc1/8
Rc1/8
―
―
NPT1/8
NPT1/8
―
―
G1/8
G1/8
P
TN― TF
M4×0.7
M5×0.8
M8×1.25
M10×1.25
MM
101
114
151
160
ZZ
16
1320
外形寸法図
フート形/MQMLLø6
ø10・ø16・ø20・ø25
ロッド側フランジ形/MQMLFø6
ø10・ø16・ø20・ø25
2×ø5.566+ストローク
75+ストローク93.5+ストローク
3342 18.5
6 92.3
25
14
4×øLCS+ストローク
LS+ストロークZZ+ストローク
LXLZ Z
X XY Y
LT
LY
LH
2×ø5.5 66+ストローク93.5+ストローク
3342 27.5
2.3
20
2×øFC S+ストロークZZ+ストローク
FXFZ H
FT
FY
チューブ内径(mm)
(mm)
10
16
20
25
5.5
5.5
6.8
6.8
LC
14
18
25
28
LH
83
92
137.5
142.5
LS
2.3
2.3
3.2
3.2
LT
33
42
40
40
LX
25
30
40
47
LY
6
6
8
8
X
65
74
97.5
102.5
S
42
54
55
55
LZ
9
9
20
20
Y
19
21
20.5
24.5
Z
108
119
166
175
ZZ
チューブ内径(mm)
(mm)
10
16
20
25
5.5
5.5
7
7
FC
2.3
2.3
4
4
FT
33
42
60
60
FX
20
24
34
40
FY
42
54
75
75
FZ
28
30
40.5
44.5
H
101
114
151
160
ZZ
65
74
97.5
102.5
S
その他の寸法につきましては、標準形P.1320をご参照ください。
耐横荷重形低摩擦シリンダメタルシールMQM Series
1321
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
MQM Series
外形寸法図
ヘッド側フランジ形/MQMLG(ø6除く)ø10・ø16・ø20・ø25
一山クレビス形/MQMLC(ø20、ø25のみ)ø20・ø25(取付形)
S+ストローク 2×øFC
Z+ストローク
ZZ+ストローク
H
FT FX
FZ
FY
S+ストローク
ø9 穴H10
Z+ストローク
ZZ+ストローク
H 30
14
9
10
øC
Iチューブ内径(mm)
(mm)
10
16
20
25
5.5
5.5
7
7
FC
2.3
2.3
4
4
FT
33
42
60
60
FX
20
24
34
40
FY
42
54
75
75
FZ
28
30
40.5
44.5
H
101
114
151
160
ZZ
95.3
106.3
142
151
Z
65
74
97.5
102.5
S
チューブ内径(mm)
(mm)
20
25
24
30
CI
40.5
44.5
H
97.5
102.5
S
168
177
Z
177
186
ZZ
+0.058 0
-0.1-0.2
その他の寸法につきましては、標準形P.1320をご参照ください。
1322
耐横荷重形低摩擦シリンダメタルシールMQM Series
外形寸法図
二山クレビス形/MQMLDø6・ø10・ø16(一体形)
ø20・ø25(取付形)
S+ストローク
øCDH9クレビスピン(øCDd9 )
2×øTC
BB
T金具:別手配詳細につきましてはP.1324をご参照ください。
Z+ストローク
ZZ+ストローク
H
R
U
NB
GB
TY TX
TVTW
TH
チューブ内径(mm)
(mm)
6
10
16
12
12
18
BB
3.3
3.3
5
CD
3.3
3.3
6.6
CX
17.5
19
24
GB
27.5
28
30
H
22
24
30
NB
8
8
10
U
106
101
114
Z
117
112
128
ZZ
70.5
65
74
S
5
5
8
R
適用チューブ内径(mm)
品番
T金具関連寸法 注)
注)詳細につきましては、P.1324をご参照ください。
6,10
16
4.5
5.5
TC
29
35
TH
40
48
TV
22
28
TW
32
38
TX
12
16
TY
チューブ内径(mm)
(mm)
20
25
24
30
CI
40.5
44.5
H
97.5
102.5
S
168
177
Z
177
186
ZZ
+0.030 0
CX +0.1 0
-0.030-0.060
+0.058 0
-0.040-0.076
S+ストローク
øC
I
ø9 穴H10軸d9
25
10
1930
9
14
Z+ストローク
ZZ+ストローク
H
+0.2+0.1
CJ-T010B
CJ-T016B
その他の寸法につきましては、標準形P.1320をご参照ください。
1323
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
MQM Series
付属金具寸法
取付ナット
T金具
クレビス用ピン
ロッド先端ナット
品番 材質 質量B適用チューブ内径(mm)6,10
16
20
25
17
19
26
32
C
19.6
21.9
30
37
d
M12×1
M14×1
M20×1.5
M26×1.5
H
4
5
8
8
黄銅
黄銅
炭素鋼
炭素鋼
øTD H10
□12
4×øTCTH
TU
7
+0.2 0
TN
TK
L
l
t tm m
øD
d9
ød
TX
TV
-0.1
-0.3
TT TY
TW
B H
C
d
B H
C
d
品番 B
NTJ-010ANTJ-015A
NT-02NT-03
SNKJ-016BSNLJ-016B
SN-020BSN-032B
品番 TC適用チューブ内径(mm)6,10
16
4.5
5.5
TD
3.3
5
TH
29
35
TK
18
20
TN
3.1
6.4
TT
2
2.3
TU
9
14
TV
40
48
TW
22
28
TX
32
38
TY
12
16
CJ-T010BCJ-T016B
品番 d適用チューブ内径(mm)
材質
ステンレス
ステンレス
炭素鋼
6,10
16
20,25
3
4.8
8.6
D
3.3
5
9
l
12.2
18.3
19.2
L
15.2
22.7
25
m
1.2
1.5
1.75
t
0.3
0.7
1.15
CD-J010CD-Z015CDP-1
適用チューブ内径(mm)6,10
16
20
25
7
8
13
17
C
8.1
9.2
15
19.6
D
M4×0.7
M5×0.8
M8×1.25
M10×1.25
H
3.2
4
5
6
1.0g
1.5g
4.0g
8.0g
材質:炭素鋼
※軸用C形止め輪が付属されます。
使用する止め輪
軸用C形3.2
軸用C形5
軸用C形9
1324A
q取付時には、接続配管を十分フラッシングをして、シリンダ内部にゴミや切粉が入らないようにしてください。
w空気源はろ過度5μm以下のエアフィルタを取付けてください。なお、低速・出力コントロール制御される場合は、クリーンエア(大気圧露点温度は-10℃以下)を使用し、ミストセパレータ(ろ過度0.3μm以下)の設置を推奨します。
eシリンダの駆動用に電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプを使用してください。弾性体シールタイプの場合、主弁部のグリースの飛来により摺動抵抗が増加する場合があります。
rピストンロッドへの荷重は、常に軸方向にかかる状態でご使用ください。やむをえず横荷重が加わる場合、ロッド先端許容横荷重(P.1326、1327)の範囲を越えないようにお願いします。(使用限界外で使用されますと、ガイド部のガタ発生、精度の悪化など寿命に悪影響を及ぼす原因となります。)
tロッドの摺動部に傷や打痕をつけないようご注意ください。作動不良および寿命短縮の原因になります。
yロッド先端にワークを固定する際は、ロッドが最終端まで引込んだ状態とし、ロッド先端のスパナ掛けを利用して、ロッドに過大なトルクが掛からないように締付けてください。なお、MQMシリーズにはロッド先端にスパナ掛けがありませんので、付属のロッド先端ナットを利用してください。
uロッド軸心と負荷・移動方向は、必ず一致させるように連結してください。
特に装置側にガイド機能(ベアリング等)部にシリンダロッドを直結しますと偏荷重となり摺動抵抗が安定しなくなったり、メタルシール部にカジリが生じる場合があります。必ずフローティングジョイントや球面ジョイントを使用してください。
i押圧・テンションコントロール等外力によってロッドピストンが駆動する回路で使用した場合、変位量が0.05mm以下になるとスティックスリップ現象が生じ摺動抵抗が安定しなくなる場合があります。
o研摩装置等、常時振動が加わる場所で使用する場合は別途お問い合わせください。
使用上のご注意
注意qメタルシールシリンダの構成部品は精密な公差で製作されているため、分解できません。
分解
注意
MQQ・MQM Series/製品個別注意事項q
q無給油タイプシリンダへの給油低速・出力コントロール制御される場合は、給油は行わないでください。給油した場合、油の粘度・表面張力等により摺動抵抗が変化する場合があります。また、シリンダ駆動用に電磁弁を使用される場合、メタルシールタイプを使用してください。弾性体シールタイプの場合、主弁部のグリースの飛来により摺動抵抗が増加する場合があります。高速駆動におきましても給油は不要ですが、給油される場合はタービン油1種(無添加)ISO VG32を給油してください。(スピンドル油・マシン油は不可)
注意給油
ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましては前付39、アクチュエータ/共通注意事項、オートスイッチ/共通注意事項につきましてはP.3~12をご確認ください。
1325
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
選 定
注意
MQQ・MQM Series/製品個別注意事項w
標準形:MQQTB
負荷質量と最大速度:MQQT/MQQL
耐横荷重形:MQQLB/ボールブッシュ内蔵形
ロッド先端許容横荷重
使用速度
MQQシリーズの場合
W取付姿勢:水平、供給圧力0.5MPa時1N=0.102kgf
注1)ロッド先端許容横荷重は、ロッド先端めねじの場合を示します。注2)負荷の大きさ(負荷の重心までの距離)によって許容横荷重は変わります。詳細につきましては、別途ご相談ください。
MQQ 可動部質量表
可動部質量
チューブ内径(mm) MQQT:可動部質量(g) MQQL:可動部質量(g)101620253040
質量=8.9+{3.1×(ストローク/10)}
質量=22.9+{4.0×(ストローク/10)}
質量=34.8+{6.6×(ストローク/10)}
質量=66.9+{8.8×(ストローク/10)}
質量=115.0+{15.8×(ストローク/10)}
質量=182.2+{15.8×(ストローク/10)}
質量=16.7+{3.1×(ストローク/10)}
質量=34.9+{4.0×(ストローク/10)}
質量=57.9+{6.6×(ストローク/10)}
質量=97.7+{8.8×(ストローク/10)}
質量=190.2+{15.8×(ストローク/10)}
質量=257.4+{15.8×(ストローク/10)}
許容最大横荷重 W(N)
ストローク ST(mm)
許容最大横荷重 W(N)
ストローク ST(mm)
ø40
ø30
ø25
ø20
ø16
ø10
756030
ø40
ø30
ø25
ø20
ø16
6
5
4
3
2
ø10
50
40
30
20
10
60
100
1
7
100756030
例1)MQQ20を用いて15[N]の負荷を駆動させる場合…最大速度は167[mm/sec]
注1)ロッド先端に負荷が取付く場合には負荷質量に応じて、グラフに示す最大速度以下になるように速度を調整してください。
注2)負荷質量は、シリンダ可動部質量(右表参照)を含みます。
許容運動エネルギー 耐横荷重形:MQQチューブ内径(mm) 許容運動エネルギー (J)
101620253040
0.006
0.010
0.022
0.044
0.080
0.160
負荷質量 W[N] 注2)
最大速度 V[mm/sec]
MQQT:標準タイプ
MQQL:耐横荷重タイプ
MQQLの領域
MQQ40
MQQ30MQQ25
MQQ20
MQQ16
MQQ10
1000
500
100
(15)
(167)
50
10
5
1
0.5
500100500.3
注)ロッド側フランジ:MQQ□F時は、ストロークに10mm加算のこと。
ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましては前付39、アクチュエータ/共通注意事項、オートスイッチ/共通注意事項につきましてはP.3~12をご確認ください。
運動エネルギーE(J)=
m1:シリンダ可動部質量 kgm2:負荷質量 kg V:ピストン速度 m/s
(m1+m2)V2
2
1326
選 定
注意
MQQ・MQM Series/製品個別注意事項e
ロッド先端許容横荷重
負荷質量と最大速度:MQML/MQMLH MQM 可動部質量表
ロッド先端許容横荷重
使用速度
W
注1)負荷の大きさ(負荷の重心までの距離)によって許容横荷重は変わります。詳細につきましては、別途ご相談ください。
チューブ内径(mm) 可動部質量(g)
610162025
質量=8.2+{1.6×(ストローク/15)}
質量=12.0+{1.6×(ストローク/15)}
質量=28.6+{2.2×(ストローク/15)}
質量=72.0+{6.4×(ストローク/15)}
質量=117.6+{9.2×(ストローク/15)}
可動部質量
MQMシリーズの場合
許容最大横荷重 W(N)
ストローク ST(mm)
756030
ø25
ø20
ø16
ø10
ø6
10
8
6
4
2
12
100
最大速度 V[mm/sec]
MQM:標準タイプ
MQMH:高速・高頻度タイプ
負荷質量 W[N] 注2)
例1)MQM16を用いて15[N]の負荷を駆動させる場合…最大速度は460[mm/sec]
注1)ロッド先端に負荷が取付く場合には、負荷質量に応じて、グラフに示す最大速度以下になるように速度を調整してください。
注2)負荷質量は、シリンダ可動部質量(右表参照)を含みます。
許容運動エネルギー 耐横荷重形:MQML/MQML□□Hチューブ内径(mm) 許容運動エネルギー (J)
610162025
0.015
0.059
0.161
0.386
0.597
1000 3000
ø6
ø10
ø16ø20ø25
1000
500
100
(15)
(460)
50
10
5
1
0.5
500100500.3
取付姿勢:水平、供給圧力0.5MPa時1N=0.102kgf
ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましては前付39、アクチュエータ/共通注意事項、オートスイッチ/共通注意事項につきましてはP.3~12をご確認ください。
運動エネルギーE(J)=
m1:シリンダ可動部質量 kgm2:負荷質量 kg V:ピストン速度 m/s
(m1+m2)V2
2
注)可動部質量にロッド先端ナットは含まれていません。
1327
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
A
単動仕様
MQ
作動方式
注)MQPシリーズにオートスイッチ付はありません。
S
P
ストローク10 10mm
10 10 S
チューブ内径46101620
4mm 6mm10mm16mm20mm
特殊単動(外力引込形)
チューブ内径(mm)シール構造作動方式保証耐圧力最高使用圧力最低使用圧力注1)
周囲温度および使用流体温度 給油注2)
ストローク長さの許容差供給圧力0.1MPa供給圧力0.3MPa供給圧力0.5MPa
総漏れ量注3)
メタルシール特殊単動(外力引込形)
1.05MPa0.7MPa0.001MPa+5~+80℃不要(無給油)
100cm3/min500cm3/min1000cm3/min
4 6 10 16 20
仕様
+1.00
チューブ内径(mm)
受圧面積(mm2)
使用圧力(MPa)0.70.6
9.119.655.0140.8219.9
理論出力表(目安)
7.816.847.1120.7188.5
0.5
6.514.039.3100.6157.1
0.4
5.211.231.480.4125.7
0.3
3.98.423.660.394.3
0.2
2.65.615.740.262.8
0.1
1.32.87.920.131.4
12.628.378.5201.1314.2
チューブ内径(mm)
可動部質量および総質量表単位:g
46
101620
46101620
可動部質量 総質量
43 55 96161239
4 8 24 62103
単位:N
RoHS
低摩擦シリンダ(単動)
ø4, ø6, ø10, ø16, ø20MQP Series
型式表示方法
メタルシール
表示記号単動(押圧)
※ストロークエンドでの使用はできません。
注1)可動部質量除く。注2)給油につきましては、P.1330注意事項をご参照ください。なお、本製品は初期潤滑油としてタ
ービン油を使用しております。ロッド部および配管ポートから潤滑油が滲み出す場合がありますのでご注意ください。
注3)値は参考値であり、保証値ではありません。
1328A
低摩擦シリンダ(単動)メタルシールMQP Series
構造図
外形寸法図
番号12345678
部品名ピストンロッドライナーシリンダチューブボルトダンパO-リング止め輪プラグ
特殊ステンレス鋼特殊ステンレス鋼アルミニウム合金炭素工具鋼
ポリカーボネイトNBR
炭素工具鋼炭素工具鋼
材質 備考
構成部品
硬質アルマイトクロメート
燐酸塩被膜クロメート
u q w i y e t r
ø4・ø6
ø10・ø16・ø20
チューブ内径(mm)
(mm)
4
6
10
16
20
41
41
46.5
49
52.5
A
38
38
41.5
44
47.5
B
―
―
29
36
40
E
9
9
5.5
5.5
5.5
F
22
24
38
47
52
I
3
3
5
5
5
L
16
18
20
25.5
28
M
3.2
3.2
3.5
5.4
5.4
N
―
―
6.5
9
9
6
6
7
10
10
―
―
4
7
7
OB RA RB
M3×0.5
M3×0.5
M4×0.7
M6×1.0
M6×1.0
OA
SR3
SR5
SR8
SR12
SR15
C
4
6
10
16
20(19)
D注)
注)( )寸法は先端部の寸法を示す。
90°F
A
L B
øI
C
C M
øD
øI
F
A
L B
øD
E
M5×0.8ø10座ぐり深1.5
2×OA有効深さRA 2×øN通し
2×4×øOB座ぐり深RB
M±0.2
E
M±0.2
2×4×OA有効深さRA M5×0.8
4×
øN通し
1329
REA
REB
REC
CY
CX
MQ
RHC
RZQ
D-
-X
MQ
使用上のご注意 使用上のご注意
MQP Series/製品個別注意事項
q取付時には、接続配管を十分フラッシングして、シリンダ内部にゴミや切粉が入らないようにしてください。
w空気源はろ過度5μm以下のエアフィルタを取付けてください。なお、低速・出力コントロール制御される場合は、クリーンエア(大気圧露点温度は-10℃以下)を使用しミストセパレータ(ろ過度0.3μm以下)の設置を推奨します。
eシリンダの駆動用に電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプを使用してください。弾性体シールタイプの場合、主弁部のグリースの飛来により摺動抵抗が増加する場合があります。
r本シリンダはストロークエンドでは使用できません。10mmストロークの中間ストロークとしてご使用ください。
tロッド先端を装置やワークに直接連結しないでください。また、相手側を平面にして球面による点接触構造にしてください。
本シリンダのロッドは熱処理されたステンレス鋼(HRC60)で仕上げています。球面接触の相手側(装置・ワーク等)の面粗度はRz6.3・材質はHB100以上(アルミ材:2000系または7000系相当)としてください。より高精度・長寿命とする場合は熱処理材+平面研摩加工品(Rz0.8)を推奨します。なお、球面接触部にグリースを塗布することにより、より円滑に動作すると共に摩耗の低減ができますが、シリンダ摺動面に付着しないよう注意をお願いします。
yロッド軸芯と負荷・移動方向は必ず一致させるようにし、装置のシリンダ取付面許容角度は3°以下にしてください(推奨1°以下)。精度の悪い取付面は、ロッドに横荷重が加わると共に球面接触部の横滑りなどにより、推力低下が生じたりバラツキが大きくなります。また作動不良の要因ともなります。
分解
qメタルシールシリンダの構成部品は精密な公差で製作されているため、分解できません。
給油
q無給油タイプシリンダへの給油低速・出力コントロール制御される場合は、給油は行わないでください。給油した場合、油の粘度・表面張力等により摺動抵抗が変化する場合があります。また、シリンダ駆動用に電磁弁を使用される場合、メタルシールタイプを使用してください。弾性体シールタイプの場合、主弁部のグリースの飛来により摺動抵抗が増加する場合があります。高速駆動におきましても給油は不要ですが、給油される場合はタービン油1種(無添加)ISO VG32を給油してください。(スピンドル油・マシン油は不可)
点接触
装置・ワーク等
MQPシリンダ
MQPシリンダ
3°以下
(推奨1°以下)
MQPシリンダ
MQPシリンダ
装置・ワーク等装置・ワーク等
ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましては前付39、アクチュエータ/共通注意事項、オートスイッチ/共通注意事項につきましてはP.3~12をご確認ください。
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