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• Filtros en INA
• Filtros en SRON (¿problema resuelto?)
• Nanolab en el INA
• SQUIDS PTB
J. Sesé, Reunión XeusSantander 15 Enero 2007
Filtros en INA
• Para depositar Nb superconductor:– Ritmo rápido
– Sputtering
– Distancia target-sustrato de unos pocos cm
– > EQUIPO DEDICADO
Filtros en SRON
Presentación M. Bruijn
Nova 200 Nanolab, FEI Co.
• Equipo dual beam: FIB + SEM
• Inyectores de gases para depositar Pt, W, SiO2, Co y Yodo para atacar
• STEM
• Análisis EDX
• Omniprobe
• Litografia haz de electrones– Raith pattern generator
Si
Si3N4
Mo
Au
MuestraMoAu25/25
MuestraMoAu25/75Membrana
MuestraMoAu25/75
•Cableado en dilución•evitar carga térmica
SQUIDs PTB
•Preparar chip carrier
•PCB con microfresas
Propuesta de planes
• Filtros:– Seguir colaborando SRON, estudiando proceso fabricación con el
NANOLAB
– Proponer Triming de los filtros con FIB
• SQUIDs:– Preparar PCB
– Cableado dilución
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