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Bombas
turbomolecularesEXT
Bombas turbomoleculares EXTBomba turbomolecular EXT75DX 5-4
Bomba turbomolecular EXT255DX 5-5
Bomba turbomolecular EXT70 5-6
Bomba molecular compuesta EXT70H 5-7Bomba molecular compuesta EXT255H 5-8
Bomba turbomolecular EXT250M 5-9
Bomba molecular compuesta EXT555H 5-10
Gráficos de desempeño de la bomba EXT 5-11
Controladores para bombasturbomoleculares
Controladores EXC 5-12
Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 5-14
Controlador de bombas turbomoleculares TIC 5-20
Accesorios EXT 5-26
Accesorios combinados EXPT 5-28
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BOMBAS TURBOMOLECULARES EXT YCONTROLADORES EXC
Nuestra familia de bombas turbomoleculares y bombas molecularescompuestas EXT y controladores EXC utiliza tecnología de última generaciónpara brindar vacío alto y ultra alto confiable y libre de hidrocarburos.
Factores clave del desempeño
Una bomba turbomolecular (TMP) es una turbina de flujo axial de etapasmúltiples en la cual paletas de alta velocidad de rotación brindan compresiónal incrementar la probabilidad de que las moléculas de gas se muevan en ladirección de bombeo. La bomba turbomolecular está optimizada paracondiciones de flujo molecular y requiere una bomba de aleta rotativa de dosetapas de tamaño adecuado o una bomba scroll libre de aceite para evacuar ala atmósfera.Una bomba molecular compuesta (CMP) se basa en el concepto de combinaretapas turbomoleculares empaletadas con etapas moleculares de arrastre enel mismo rotor. Este diseño permite:• Presiones frontales críticas y elevadas (por lo general de hasta 10 mbar)• Opciones para utilizar bombas de refuerzo más pequeñas o bombas secas
de refuerzo de diafragma
Velocidad de bombeo (la velocidad del flujo del volumen) estádeterminada por el diámetro del rotor, el tamaño de la brida de entrada y lavelocidad de rotación. La velocidad de bombeo se reduce a altas presiones deentrada hasta un valor determinado por el tamaño de la bomba de refuerzo.
A medida que se eleva la presión de entrada, la disipación de la potencia delmotor y la temperatura de la bomba se incrementan. La presión máxima deentrada continua establece el límite de rendimiento máximo para unbombeo uniforme y depende del método de enfriamiento utilizado. Superadaesta presión, la velocidad de rotación de la bomba se reduce mientras que lossensores de temperatura limitan la potencia de la bomba. Con una bombaenfriada por agua, el rendimiento máximo real depende del tamaño de labomba de refuerzo.
La potencia eléctrica quiescente es la energía eléctrica nominal disipadapor una bomba que opera a la máxima velocidad de rotación y con un bajorendimiento de gas (presión de entrada por debajo del rango de los 10-3
mbar). Durante el tiempo de arranque, o cuando opera con un altorendimiento de gas o por encima de la presión de refuerzo crítica, la disipaciónde la potencia de la bomba se incrementará y se aproximará a la máximapotencia de salida para el controlador EXC utilizado. La presión de refuerzocrítica para bombas turbomoleculares convencionales es aproximadamente0,1 a 0,2 mbar.
La relación de compresión está determinada por la velocidad derotación, el número de etapas de la bomba y el peso molecular del gasbombeado. Es mayor para los gases más pesados, lo cual explica porqué lasupresión de la contracorriente de hidrocarburos es tan efectiva y porqué larelación del hidrógeno es tan importante en aplicaciones de vacío ultra alto.
La presión final medida de acuerdo con las normas Pneurop, es la presiónmás baja alcanzada en el sistema de prueba, 48 horas después del desecado. Elsistema está respaldado solamente por una bomba de aleta rotativa de dosetapas. Se utilizan sellos de entrada de fluoroelastómero en bombas con bridasISO y se utilizan sellos de metal en modelos de bombas con bridas CF.
Tecnologías de cojinetes y suspensiónUtilizamos dos tecnologías básicas: cojinetes magnéticos y cojinetes de bolamecánicos de cerámica.
Los cojinetes de cerámica, los cuales están lubricados de por vida con grasa oaceite, han reemplazado a los cojinetes de acero convencionales. Las bolas decerámica de nitruro de silicio son más livianas, más resistentes y más suavesque sus equivalentes de acero, lo que les otorga una mayor vida útil ycaracterísticas de baja vibración. La confiabilidad es mayor porque losmateriales de las bolas y el anillo-guía son diferentes, lo que impide lamicrocavitación.
Los cojinetes magnéticos aumentan aún más la confiabilidad. Nuestras bombasturbomoleculares EXT de hasta 540 l s-1 utilizan un conjunto híbrido de
cojinetes con un cojinete superior magnético permanente y un cojineteinferior de cerámica lubricado con aceite o grasa.
La familia EXT también incluye el EXT250M en el que el rotor estáenteramente sostenido por cojinetes magnéticos. Esto ofrece ventajasadicionales:• Libre de aceite – Sin contaminación por hidrocarburos proveniente de la
bomba turbomolecular• Bajo mantenimiento – La falta de contacto entre los cojinetes elimina el
desgaste mecánico• Bajo nivel de vibración – Por lo general, de una magnitud inferior a los
cojinetes convencionales• Bajo nivel de enfriamiento – El enfriamiento a temperatura ambiente es
suficiente para muchas aplicaciones• Cualquier orientación – La bomba puede montarse en cualquier posición
Tecnologías del rotor Utilizamos dos tecnologías básicas:• turbomolecular convencional de tipo "full stack" (por lo general de 12
etapas)• molecular compuesto (que combina etapas turbomoleculares y de
arrastre)Además, las bombas EXT de hasta 540 l s-1 utilizan rotores monobloquemaquinados a partir de una barra sólida por fresadoras de alta velocidadcontroladas por computadora. Esta tecnología produce rotores estables yrígidos y permiten una flexibilidad de diseño virtualmente ilimitada para undesempeño óptimo al vacío.
Tecnología del motor Las bombas EXT utilizan motores de c.c. sin escobillas y están disponibles envariantes de 24 y 80 voltios. Para las bombas de 24 voltios, la línea decontroladores TIC está disponible con el beneficio agregado de controladoresde instrumentos integrados. Para las bombas de 80 voltios, puede elegir de lalínea de controladores EXC para optimizar las opciones de desempeño y elcosto de su aplicación. (La bomba EXT250M debe utilizar un controladorEXC300M).Los controladores incorporan un suministro de reserva regenerativo queproporciona energía en el caso de una falla en el suministro eléctrico paramantener la válvula de ventilación cerrada por varios minutos (y, en el caso delEXC300M, para asegurar el descenso seguro del cojinete magnético de labomba EXT250M).
Cojinetes de bola de cerámica
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Aplicaciones corrosivasPara lograr la máxima vida útil y confiabilidad en las rigurosas condiciones deproceso que se encuentran en las aplicaciones de procesamiento de plaquetaspara semiconductores, le recomendamos que utilice bombasturbomoleculares de nuestras series BOC Edwards STP-C y STPH-C(consulte la página 4-5). Estas bombas Maglev tienen cojinetes magnéticos yson ideales para estas aplicaciones de trabajos pesados.
Orificio de purgaTodas las bombas EXT (con la excepción de la EXT70 y la EXT70H) cuentancon orificios de purga que pueden utilizarse para purgar el motor y la cavidadde cojinetes con un gas inerte (como el nitrógeno). Le recomendamos quepurgue la bomba cuando bombea mezclas de gases corrosivos y abrasivos oaquellos cuyo contenido de oxígeno sea superior al 20%. Puede utilizarnuestro Restrictor de purga PRX10 para fijar el flujo de purga de gas. Estoagrega, por lo general, hasta 25 sccm a la carga total de gas y la bomba derefuerzo debe tener un tamaño acorde.
VentilaciónPara mantener la limpieza de su sistema de vacío, le recomendamos que ventileuna bomba turbomolecular a una velocidad de rotación media o superior,cuando el rotor aún gira lo suficientemente rápido para eliminar cualquiercontracorriente de hidrocarburos de la línea de refuerzo.El orificio de ventilación de la bomba EXT se encuentra en la mitad del tubodel rotor para asegurar la máxima limpieza, incluso con válvulas de ventilaciónselladas con fluoroelastómero. Cada bomba se suministra con una válvula deventilación manual. Si se utiliza esta válvula manual, debe tener cuidado de noabrirla demasiado rápido, especialmente si el volumen del sistema es bajo (por
lo general, menor que el volumen aproximado de la bomba turbomolecular),porque si la velocidad del incremento en la presión es demasiado alta, la vidaútil de los cojinetes de la bomba puede reducirse.
En un sistema de bajo volumen, la velocidad del incremento en la presión serámayor que en un volumen alto para una velocidad de flujo de ventilacióndeterminada, y puede ser necesario restringir el flujo de gas de ventilación.Ofrecemos la familia VRX de restrictores de ventilación, los cuales puedeinstalar en su bomba EXT, (consulte la página 5-27).Puesto que la velocidad del incremento de la presión no puede controlarse demanera precisa por medio de la válvula de ventilación manual, lerecomendamos que, a menos que instale un restrictor VRX al orificio deventilación, espere hasta que la bomba turbomolecular haya aminorado suvelocidad al 50%, como lo indica el controlador, antes de abrir la válvula deventilación manual.
La velocidad máxima del incremento en la presión varia con cada modelo debomba, y el manual de instrucciones suministrado con la bomba EXT le darámás información acerca de esto, y el tamaño del restrictor de ventilaciónnecesario para alcanzar el más rápido incremento de presión permitido.
El control de la velocidad de ventilación es particularmente importante con lasbombas que utilizan cojinetes totalmente magnéticos, de otro modo loscojinetes de seguridad pueden dañarse.
La válvula de ventilación manual puede ser reemplazada por una válvula desolenoide TAV accionada por el controlador EXC para permitir la ventilacióntras una demora de 2 segundos durante el apagado, o demorar la ventilaciónhasta que la velocidad de rotación haya descendido al 50%. El controlador EXCtambién puede controlar la válvula de ventilación TAV en caso de una falla deenergía o de la bomba.
Puede seleccionar una de dos opciones de válvulas de ventilación de solenoide;la TAV5, que cubre la mayoría de las aplicaciones de ventilación automática, y
la TAV6 , que tiene una mayor conductancia que la TAV5 y está diseñada parausarse en cámaras más grandes (por lo general con un volumen superior a 10litros), o cuando desea utilizarla con un procedimiento de ventilación de dosetapas para obtener los tiempos de ventilación más rápidos posibles.Para ventilación en dos etapas, se necesitan dos válvulas TAV. Utilizando elflujo apropiadamente restringido para la válvula de ventilación de la primeraetapa, es posible comenzar a ventilar cuando la bomba EXT aún funciona a sumáxima velocidad de rotación. Una vez que la velocidad de rotación de labomba haya descendido a la mitad, podrá introducir velocidades de flujo másaltas desde la válvula de ventilación de la segunda etapa.
Criba de entradaSe instala una criba de entrada como equipamiento estándar a todas lasbombas EXT. La criba de entrada impide que la suciedad caiga en la entrada dela bomba. Además, la criba de entrada impide que haga contacto con las paletasde la bomba mientras está desconectada de su sistema de vacío.
EnfriamientoPara la mayoría de las aplicaciones, recomendamos que utilice enfriamientopor aire forzado con el enfriador por aire ACX apropiado conectado a subomba EXT. Si la temperatura ambiente es inferior a los 30 °C, las bombasEXT70, EXT70H y EXT250M pueden enfriarse por convección libre(dependiendo de la carga de gas y la presión de refuerzo). Nota: una alta cargade gas, alta presión de refuerzo y ciclos rápidos requieren más enfriamiento.
Sin embargo, si la temperatura ambiente es superior a los 35 °C (o superior alos 40 °C en el caso de la bomba EXT250M), debe enfriar la bomba EXT poragua. Los conectores con púas en el enfriador por agua son adecuados paramangueras con un diámetro interno de 6 mm.El enfriamiento por agua reduce la temperatura de funcionamiento del motor
de la bomba y los cojinetes y se recomienda particularmente cuando opera laEXT con un alto rendimiento continuo (es decir, una presión de entradasuperior a 1 10-3 mbar) o cuando calienta la bomba EXT por encima de los70 °C (medidos en la brida de entrada).
Alcance del suministroPara usuarios finales que desean controles e indicaciones en el panel frontalcuando utilizan una bomba de 80 voltios, un sistema operativo mínimorequiere que soliciten una bomba EXT, un controlador EXC y un cable de labomba al controlador. Para una bomba de 24 voltios, un sistema operativomínimo requiere que soliciten una bomba EXT, un controlador TIC y uncontrolador EXDC. (El controlador EXDC no es necesario cuando utiliza unabomba EXT75DX o una EXT255DX).
Cada bomba EXT cuenta con una criba de entrada, sello de entrada deelastómero o junta de cobre (según corresponda), válvula de ventilación
manual y enfriador por agua. La EXT75DX, EXT255DX y EXT555Mrequieren, además, un accesorio de enfriamiento por agua (si es necesario).
Cada controlador EXC/TIC se ofrece con un cable de suministro eléctrico sinterminación de 2m.
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BOMBA TURBOMOLECULAR EXT75DX
Bombas turbomoleculares EXTBombaturbomolecularEXT75DXCaracterísticas y ventajas• Compatible con el controlador de bombas turbomoleculares e
instrumentos TIC• Múltiples modos de comunicación disponibles
- El modo paralelo permite una interfaz de señal de control tradicional- El modo serial acepta las interfaces RS-232
• Numerosos parámetros configurables por el usuario por medio de lainterfaz RS-232
- Configuración de control de la válvula de ventilación- Indicación de velocidad normal- Velocidad de marcha en espera- Configuración de energía programable- Consumo de energía- Temperatura de la bomba
• Capacidad de monitoreo mejorada incluyendo la velocidad, potencia ytemperatura de la bomba
DATOS TÉCNICOS
Brida de entrada DN63ISO-K, DN63CF o DN40NWRelación de compresión
N2 >1 × 1011
He 1 x 106
H2 5 x 104
Brida de salida DN16NWOrificio entre etapas (Variantes Hi) DN25NWBomba de refuerzo recomendada1 E2M0.7Orificio de ventilación !/8 pulg. BSPOrificio de purga !/8 pulg. BSPPresión máxima de entrada continua(bombeo de gases livianos)2
enfriamiento por agua (agua a 15 °C, temp.ambiente a 40 °C) 2 × 10-2 mbarenfriado por aire forzado,temp. ambiente a 35 °C 1 × 10-2 mbar
Velocidad de rotación nominal 90000 rpmVelocidad de rotación en espera Variable de 49500 a 90000 rpm
(63000 rpm por defecto)Tiempo de arranque al 90% de velocidad3 110 s
Método de enfriamiento Aire forzado / aguaTemperatura ambiente para enfriamiento poraire forzado 5 – 35 °CVelocidad mínima del flujo de agua deenfriamiento (agua a 15 °C) 15 l h-1
Rango de temperatura del agua 10 – 20 °CTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °COrientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado Accionado por el controlador
TIC100 para bombasturbomoleculares o para bombasturbomoleculares e instrumentos
Potencia quiescente 10 W
Velocidad de bombeo entre etapas(Variantes Hi) 10
BRIDA DE ENTRADA ISO63/100 63CF DN40NW
Velocidad de bombeo (l s-1)3
N2 61 61 42
He 57 57 49H2 53 53 48
Presión final (mbar)
Con bomba de refuerzo de aletarotativa41 <5 × 10-9 <5 × 10-10 <5 × 10-9
Con bomba de refuerzo de diafragma411 <5 × 10-8 <5 × 10-9 <5 × 10-8
Peso (Kg.) 3,0 4,9 2,9
1 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento. También
puede utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presión final de <5 mbar.
2 Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación desciende por debajo de la nominal.
3 Límite de potencia fijada a 80 W.
41 Presión final 48 horas después del desecado con una bomba de refuerzo de aleta rotativa de 2 etapas.
411 Presión final 48 horas después del desecado con Pb <5 mbar (500 Pa)
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSDESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Bomba Brida de entrada
EXT75DX ISO63 DN63ISO B72241000
EXT75DX CF63 DN63CF B72242000
EXT75DX NW40 DN40NW B72243000
EXT75DX ISO100 DN100ISO B72245000
EXT75iDX ISO63(entre etapas)
DN63ISO (principal)DN25NW (entre etapas)
B72238000
ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
ACX75 - accesorio para enfriamiento por aire B58053075
WCX500 - accesorio para enfriamiento por agua B73600121
A Válvula de ventilación manual en el orificio de ventilación E Orificio de purga (suprimido)
B Pódulo F Orificio entre etapas (EXT75iDX solamente)
C Conector de interfaz lógica G Toma del conector del pódulo
D Orificio de refuerzo H Conexión a tierra
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BOMBA TURBOMOLECULAR EXT255DX
BombaturbomolecularEXT255DXCaracterísticas y ventajas• Compatible con el controlador de bombas turbomoleculares e
instrumentos TIC• Múltiples modos de comunicación disponibles
- El modo paralelo permite una interfaz de señal de control tradicional- El modo serial acepta las interfaces RS-232
• Numerosos parámetros configurables por el usuario por medio de lainterfaz RS-232
- Configuración de control de la válvula de ventilación- Indicación de velocidad normal- Velocidad de marcha en espera- Configuración de energía programable- Consumo de energía- Temperatura de la bomba
• Capacidad de monitoreo mejorada incluyendo la velocidad, potencia ytemperatura de la bomba
DATOS TÉCNICOS
Brida de entrada DN100ISO-K, DN100CFRelación de compresión
N2 >1 × 108
He 4 x 105
H2 1,6 x 104
Brida de salida DN25NWOrificio entre etapas (Variantes Hi) DN25NWBomba de refuerzo recomendada1 RV3Orificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraOrificio de purga !/8 pulg. BSP hembraPresión máxima de entrada continua(bombeo de gases livianos)2
enfriamiento por agua (agua a 15 °C,temp. ambiente a 40 °C) 5 × 10-3 mbarenfriado por aire forzado, temp. ambientea 35 °C 5 × 10-3 mbar
Velocidad de rotación nominal 60000 rpmVelocidad de rotación en espera Variable de 33000 a 60000 rpm
(42000 rpm por defecto)Tiempo de arranque al 90% de velocidad3 80 sMétodo de enfriamiento Aire forzado / aguaTemperatura ambiente para enfriamiento poraire forzado 5 – 35 °CVelocidad mínima del flujo de agua deenfriamiento (agua a 15 °C) 15 l h-1
Rango de temperatura del agua 10 – 20 °CTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °COrientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado Accionado por el controlador
TIC200 para bombasturbomoleculares o para bombasturbomoleculares e instrumentos
Potencia quiescente 25 W
Velocidad de bombeo entre etapas(Variantes Hi) 10
BRIDA DE ENTRADA DN100ISO-K DN100CF
Velocidad de bombeo (l s-1)3
N2 220 220
He 230 230H2 180 180
Presión final (mbar)
Con bomba de refuerzo de aletarotativa41
<5 × 10-9 <5 × 10-10
Con bomba de refuerzo dediafragma411
<5 × 10-8 <5 × 10-9
Peso (Kg.) 6,25 8,6
1 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento. También puede
utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presión final de <5 mbar.
2 Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación desciende por debajo de la nominal.
3 Límite de potencia fijada a 160 W.
41 Presión final 48 horas después del desecado con una bomba de refuerzo de aleta rotativa de 2 etapas.
411 Presión final 48 horas después del desecado con Pb <5 mbar (500 Pa)
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Bomba Brida de entrada
EXT2555DX ISO100 DN100ISO-K B75311000
EXT255DX CF100 DN100CF B75312000
EXT2555iDX ISO100(entre etapas)
DN100ISO-K (principal)DN25NW (entre etapas)
B75313000
ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
ACX250H - accesorio para enfriamiento por aire B58053160WCX500 - accesorio para enfriamiento por agua B73600121
A Válvula de ventilación manual en el D Orificio de refuerzo
orificio de ventilación E Toma del conector del pódulo
B Pódulo F Espacio para el conector de cable de ángulo recto
C Conector de interfaz lógica G Punto de conexión a tierra
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BOMBA TURBOMOLECULAR EXT70
BombaturbomolecularEXT70
DATOS TÉCNICOS
Brida de entrada DN40NW, DN50NW,DN63CF o DN63ISO-K
Relación de compresiónN2 >1 × 108
He 6000H2 500
Brida de salida DN16NWBomba de refuerzo recomendada1 E2M0.7Orificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraPresión máxima de entrada continua 2
enfriamiento por agua a 15 °C, temp.ambiente a 40 °C 3 × 10-2 mbarenfriamiento por aire, temp.ambiente a 35 °C 1 × 10-2 mbarconvección libre a una temp.ambiente a 30 °C 6 × 10-3 mbar
Velocidad de rotación nominal 90000 rpmVelocidad de rotación en espera 63000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad 90 s
Método de enfriamiento Convección libre o aireforzado o aguaTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °CRango de operación de temperatura ambiente
con enfriamiento por convección libre 0 – 30 °Ccon enfriamiento por aire forzado 0 – 35 °C
Rango de temperatura del agua(para enfriamiento por agua) 10 – 20 °CVelocidad mínima del flujo de agua (a 15 °C) 15 l h-1
Orientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado EXC100 o EXC120Potencia quiescente 10 W
EXT70 con brindas de entrada DN63ISO-K, DN63CF, NW40 y NW50
BRIDA DEENTRADA
DN40NW DN50NW DN63CF DN63ISO-K
Velocidad de bombeo (l s-1)3
N2 52 60 65 65He 53 56 60 60H2 46 48 50 50
Presión final(mbar)4 <5 × 10-9 <5 × 10-9 <5 × 10-10 <5 × 10-9
Peso (Kg.) 1,4 1,4 3,4 1,5
1 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento.2 Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación desciende por debajo de la nominal.
3 Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.
4 Presión final 48 horas después del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Bomba Brida de entrada
EXT70 DN40NW B72203000
EXT70 DN50NW B72204000
EXT70 DN63CF B72202000
EXT70 DN63ISO-K B72201000
1 5 7 . 0 5
5 7 . 5
F = 1 1 2
0 . 8 C
63
Ø50
106
4 x M4 x 6
Ø94
NW16A
4 5
E
A
3 2 . 6
DN63ISO-K
1 0 8
Ø113
DN63CF
Ø95
7 4
D
1 0 9 . 5 5
8 x Ø8.4
Ø92.1
1 6 4 . 0 5
Ø55
NW40
Ø75
NW50
G
A Orificio de refuerzo (brida de salida) E Conector de agua de enfriamiento
C Conector de suministro eléctrico F Espacio para el conector de cable de ángulo recto
D Válvula de ventilación G Punto de conexión a tierra
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BOMBA MOLECULAR COMPUESTA EXT70H
Bombamolecularcompuesta EXT70H
DATOS TÉCNICOS
Brida de entrada DN40NW, DN63CF o DN63ISO-KBrida de salida DN16NWBomba de refuerzo recomendada1 E2M0.7Orificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraRelación de compresión
N2 >1 × 108
He 4 × 105
H2 3 × 104
Presión máxima de entrada continua2
enfriamiento por agua a 15 °C 9 × 10-1 mbarenfriamiento por aire a 35 °C 9 × 10-2 mbarconvección libre a 30 °C 9 × 10-3 mbar
Velocidad de rotación nominal 90000 rpmVelocidad de rotación en espera 63000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad 90 s
Método de enfriamiento Convección libre o aire forzado oaguaTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °CRango de operación de temperatura ambiente
con enfriamiento por convección libre 0 – 30°Ccon enfriamiento por aire forzado 0 – 35°C
Rango de temperatura del agua(para enfriamiento por agua) 10 – 20 °CVelocidad mínima del flujo de agua (a 15 °C) 15 l h-1
Orientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado (80 V) EXC100 o EXC120
(24 V c.c.) EXDC80 y TICPotencia quiescente 10 W
Velocidad de bombeo entre etapas(Variantes Hi)N2 6 l s-1
BRIDA DE ENTRADA DN40NW DN63CF DN63ISO-K
Velocidad de bombeo (l s-1)3
N2 52 65 65He 53 60 60
H2 46 50 50Presión final (mbar)
Bomba de aleta rotativa4 <5 × 10-9 <5 × 10-10 <5 × 10-9
Bomba de diafragma5 <5 × 10-8 <5 × 10-8 <5 × 10-8
Peso (Kg.) 2,8 4,7 2,8
EXT70H con brida de entrada DN63ISO-K
1 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento. También puede
utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presión final de <5 mbar.
2 Con una presión de refuerzo de <0,1 mbar. Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación
desciende por debajo de la nominal.
3 Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.
4 Presión final 48 horas después del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
5 Utilizando una bomba de diafragma con una presión final de <5 mbar.
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Bomba Brida de entrada
EXT70H DN40NW B72223000
EXT70H DN63CF B72222000
EXT70H DN63ISO-K B72221000
EXT70Hi DN63CF B72228000
EXT70Hi DN63ISO-K B72229000
Unidades compatibles con TIC* (24 V c.c.)
EXT70H DN63-ISOK B72221991EXT70H DN63CF B72222991
EXT70H DN40NW B72223991
* También se requiere el módulo de control EXDC-80 (P/N D39645000). Consulte el a rtículo acerca delcontrolador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC al final de esta sección para obtener másinformación.
Ø92.1
F = 1 1 2
1 . 5
C
4 5
63
Ø50
106
4 x M4 x 6
Ø94
NW16A
E 3 3 . 5
DN63ISO-K
1 7 6
1 2 7
7 4
Ø113Ø95
7 6
A
G
D
1 2 8 . 5
DN63CF
8 x Ø8.4
3 3 . 5
E
D
A
1 7 6
Ø55
NW40
1 3 5 . 5
G
8 1
1 8 3
A Orificio de refuerzo (brida de salida)
C Conector de suministro eléctrico
D Válvula de ventilaciónE Conector de agua de enfriamiento
F Espacio para el conector de cable de
ángulo recto
G Punto de conexión a tierra
7/21/2019 Bombas turbomoleculares
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BOMBA MOLECULAR COMPUESTA EXT255H
Bombamolecularcompuesta EXT255H
DATOS TÉCNICOS
Brida de entrada DN100ISO-K o DN100CFBrida de salida DN25NWOrificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraOrificio de purga !/8 pulg. BSP hembraVelocidad de bombeo1
N2 220 l s-1
He 230 l s-1
H2 180 l s-1
Relación de compresiónN2 >1 × 108
He 4 × 105
H2 1,6 × 104
Bomba de refuerzo recomendada2 RV3Presión máxima de entrada continua3
enfriamiento por agua a 15 °C, temp.ambiente a 40 °C 5 × 10-3 mbarenfriamiento por aire a temp.ambiente a 35 °C 5 × 10-3 mbarconvección libre a temp.ambiente a 40 °C 4 × 10-4 mbar
Velocidad de rotación nominal 60000 rpmVelocidad de rotación en espera 42000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad
EXC100E 190 sEXC120 130 sEXC300 100 s
Método de enfriamiento Aire forzado o aguaTemperatura máxima de la brida de entrada 100 °CRango de operación de temperatura ambientecon enfriamiento por aire forzado 0 – 35 °CRango de temperatura del agua(para enfriamiento por agua) 10 – 20 °CVelocidad mínima del flujo de agua (a 15 °C) 15 l h-1
Orientación de operación Vertical y recta, hasta horizontalNivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador recomendado (80 V) EXC100, EXC120 o EXC300 (24 V c.c.) EXDC80 y EXDC160Otro controlador compatible EXC300Potencia quiescente 25 WVelocidad de bombeo entre etapas (Variante Hi)
N2 10 l s-1
H2 10 l s-1
EXT255H con bridas de entrada DN100ISO-K
BRIDA DE ENTRADA DN100ISO-K DN100CF
Presión final (mbar)Bomba de aleta rotativa4 <5 × 10-9 <5 × 10-10
Bomba de diafragma5 <5 × 10-8 <5 × 10-9
Peso (Kg.) 5,6 8,2
1 Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.
2 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento. También puede
utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presión final de <5 mbar.
3 Con una presión de refuerzo de <0,1 mbar. Superada esta presión de entrada, la velocidad de rotación
desciende por debajo de la nominal.
4 Presión final 48 horas después del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
5 Utilizando una bomba de diafragma con una presión final de <5 mbar.
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Bomba Brida de entrada
EXT255H DN100ISO-K B75301000
EXT255H DN100CF B75302000
EXT255Hi DN100ISO-K B75303000
Unidades compatibles con TIC* (24 V c.c.)
EXT255H DN100ISO-K B75301991
EXT255H DN100CF B75302991
EXT255Hi DN100ISO-K B75303991
* También se requiere el módulo de control EXDC-160 (P/N D39646000). Consulte el artículo acerca delcontrolador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC al final de esta sección para obtener másinformación.
91
DN100ISO-K
1 9 0 . 8
NW25
1 4 1
F
1 . 5
A
45
C
A
1 3 1
1 9 0 . 8
4 x M5 x 20
E
5 8 . 5
17
Ø152
NW10
B
2 8
6 8
B
D
Ø130.2
Ø152Ø130
9 4
16 x Ø8.4
DN100CF
17
Ø 8 6
G
A Orificio de refuerzo (brida de salida) D Válvula de ventilación
B Orificio de purga E Conector de agua de enfriamiento
(se muestra con adaptador instalado) F Espacio para el conector de cable de ángulo recto
C Conector de suministro eléctrico G Punto de conexión a tierra
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P
BOMBA TURBOMOLECULAR EXT250M
BombaturbomolecularEXT250M
DATOS TÉCNICOS
A Orificio de refuerzo (brida de salida) D Válvula de ventilación
B Orificio de purga E Conector de agua de enfriamiento
(se muestra con adaptador instalado) F Espacio para el conector de cable de ángulo recto
C Conector de suministro eléctrico
El EXT250M se suministra en un conjunto, junto con un controladorEXC300M y un cable de la bomba al controlador.
Brida de entrada DN100ISO-K o DN100CFBrida de salida DN25NWOrificio de ventilación !/8 pulg. BSP hembraOrificio de purga !/8 pulg. BSP hembra
Velocidad de bombeo1
N2 240 l s-1
He 250 l s-1
H2 190 l s-1
Relación de compresiónN2 >1 × 108
He 2 × 104
H2 1500Presión final (mbar)2 <5 × 10-9 (ISO-K) o <5 × 10-10 (CF)Bomba de refuerzo recomendada‡ RV5Presión máxima de entrada continua4
EXC300M, enfriamiento poragua a 15 °C 3 × 10-1 mbarenfriamiento por aire a 35 °C 3 × 10-2 mbar
Velocidad de rotación nominal 60000 rpm
Velocidad de rotación en espera 42000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad 90 sTiempo de frenado
con ventilación 1 min.sin ventilación5 11 min.
Método de enfriamiento Convección libre o aireforzado o agua
Temperatura máxima de la brida de entrada 100 °CRango de operación de temperatura ambiente
con enfriamiento por convección libre 0 – 35 °Ccon enfriamiento por aire forzado 0 – 40 °C
Rango de temperatura del agua(para enfriamiento por agua) 5 – 30 °CVelocidad mínima del flujo de agua (a 15 °C) 15 l h-1
Orientación de operación Cualquier orientación
Peso de la entrada DN100ISO-K 8,5 Kg.Peso de la entrada DN100CF 11 Kg.Nivel de ruido a 1 metro <50 dB(A)Campo magnético máximo 5 mTControlador EXC300MPotencia quiescente 15 W
1 Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.
2 Presión final 48 horas después del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
3 Una bomba de refuerzo más grande puede ser necesaria para el máximo rendimiento.
4 Superada esta presión, la velocidad de rotación cae por debajo de la nominal.
5 El tiempo de frenado sin ventilación se reducirá si el controlador EXC300M brinda el suministro
eléctrico para un enfriador por aire o válvula de ventilación.
EXT250M con bridas de entrada DN100F y DN100ISO-K
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Bomba EXT250M, controlador EXC300M y cable
DN100ISO-K - brida, cable de 1 m B73521010
DN100ISO-K - brida, cable de 3 m B73521030
DN100ISO-K - brida, cable de 5 m B73521050
DN100CF - brida, cable de 1 m B73522010
DN100CF - brida, cable de 3 m B73522030
DN100CF - brida, cable de 5 m B73522050
DN100ISO-K
91
Ø 1 1 7
B
NW25
NW10
A
0 . 8
45
B
A
.
1 2 5
Ø130
F = 141
20
4 x M6 x 7
Ø152
30
E
7
3 7 . 5
Ø130.2
Ø152
C
D
1 4 5
9 4
16 x Ø8.4
DN100CF
30
2 1 2 . 8
˚
˚ ˚
˚
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BOMBA MOLECULAR COMPUESTA EXT555H
Bombamolecularcompuesta EXT555H
DATOS TÉCNICOSBrida de entrada principal DN160ISO-K /
DN160CFBrida de salida DN25NWOrificio entre etapas (Variantes Hi) DN25NWOrificio de ventilación 1/8 pulg. BSPOrificio de purga 1/8 pulg. BSPVelocidad de bombeo de entrada*
N2 540 l s-1
He 580 l s-1
H2 500 l s-1
Ar 510 l s-1
Velocidad de bombeo entre etapas (Variantes Hi)N2 8 l s-1
He 6 l s-1
H2 8 l s-1Relación de compresión
N2 >1010
He 108
H2 106
Ar >1010
Presión final (variante CF) <10-10 mbarBomba de refuerzo recomendada RV12Presión máxima de entrada continua (N2, He, H2)**
enfriado por aire forzado, temp. ambiente a 30 °C 1x10-3 mbarenfriado por aire forzado, temp. ambiente a 35 °C 5x10-4 mbarenfriamiento por agua a 15 °C 2x10-3 mbar
Velocidad de rotación nominal 50000 rpmTiempo de arranque al 90% de velocidad
EXC250 5 min.EXC300 6,5 min.EXDC160 8 min.
Método de enfriamiento aire forzado / aguaTemperatura ambiente para enfriamientopor aire forzado
0 °C – 35 °C
Velocidad del flujo de agua de enfriamientorecomendada (agua a 15 °C) 15 l h-1
Temperatura del agua 10 – 20 °CTemperatura máxima de la brida de entrada 80 °CNivel de ruido a 1m <60 dBACampo magnético máximo (camisas estándar)
Axial < 7 mTRadial < 3 mT
Campo magnético máximo (camisas martensíticas)Axial < 50 mTRadial < 50 mT
EXT255H con brida de entrada DN160ISO-K
Controladores recomendados EXC250, EXC300Consumo de potencia quiescente 35 W
* Medido sin criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran instaladas y reducen la velocidad
hasta un 20%
** Con una presión de refuerzo de < 0,3 mbar. Superada esta presión de entrada, la velocidad de
rotación desciende.
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Bomba Brida de entrada
EXT555H DN160ISO-K B77701000EXT555H DN160CF B77702000
EXT555Hi DN160ISO-K (exhibido) B77705000
Camisa martensítica
EXT555HF DN160ISO-K B77707000
EXT555HF DN160CF B77708000
ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO
Para una operación segura y confiable, el EXT555H requiere uno de los siguientes accesoriosexternos de enfriamiento.
ACX555 Accesorio para enfriamiento por aire B58053561
WCX555 Accesorio para enfriamiento por agua B58067003
8
22.5
Ø 1 6 8
45
G
Ø210
20 x Ø8.4
2 5 4 . 1
18
Ø202.4
E
DN160CF
Ø180
4 x M8 x 25
45
2 9
C
3 9
1 2 7 . 6
Ø180
D
A
B
DN160ISO-K
2 4 8 . 1
A Orificio de escape E Punto de conexión a tierra
B Orificio entre etapas F Espacio para el conector de cable de ángulo recto
C Conector de suministro eléctrico G Punto de purga
D Orificio de ventilación
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P
GRÁFICOS DE DESEMPEÑO DE LABOMBA EXT
Gráficos de desempeñode labombaEXT
Velocidad de bombeo (velocidad de bombeo vs. presión de entrada) Rendimiento (rendimiento vs. presión de entrada)
l s - 1
EXT70/70H/75DX
-610
200
100
0
400
300
-4-510 10
600
500
10-3
10
EXT250M/255H/255DX
-210
0-110
HeEXT555H
10-4
10-3
10 10-2 -1
10100 1
102
mbar
Pa
EXT250M/255H/255DX
- 1
l s
400
-60
100
10
200
300
EXT70/70H/75DX
-5
10 10
-4
500
600
1010
-3
10
-2 -1
10
0
2HEXT555H
10 -3-4
10 -2
10 10-1 0
10 1
10 2
10
mbar
Pa
EXT250M/255H/255DX
- 1
l s
EXT70/70H/75DX
0-6
10
100
200
300
400
-510 10
-4
500
600
1010-3
10-2 -1
100
2NEXT555H
10-4
10-3
10-2
1010-1 0
101
102
mbar
Pa
Nitrógeno
Helio
Hidrógeno
1010
10
10
10
- 1
m b a r l s
10-4 -3
10
10
10
EXT555H
EXT70/70H/75DX
1010-2 -1 0
EXT250M/255H/255DX
-3
-2
-1
0
1
2
He
1010-2
10-1 0
101
102
mbar
Pa
Helio
1010
-4
m b a r l s - 1
10
-3
EXT555H
EXT70/70H/75DX
-2
10
-1 0
10
EXT250M/255H/255DX
10
10
10
10
10
10
-3
-2
-1
0
1
2
2N
10-2
10-1
100
101
102
mbar
Pa
Nitrógeno
10
1010
100
EXT70
10-3 -2
10
110
102
10
3
C R
4
H2
2H
EXT70H
10-1 0
101
He
7
6
5
10
10
108
109
He
N2
N2
10 10-1 0
10101 2
103
mbar
Pa
C R
10
0
EXT555H
10
100
-310
-1-210 10
10
101
102
10
3
4
110
7
610
5
10
108
109
H2
He
N2 Compression >10* 12
10-1 0
10 1
10 102
103
mbar
Pa
10He
EXT250M
10-3
10
0
10
10
101
2
10 C R
3H
4
-210
-110
EXT255H/EXT255DX
010
110
2 2H
710
106
5
10
108
9
N2
N2
He
10-1 0
10 101
102
103
mbar
Pa
EXT75DX
N Compression >102
12*
10
1010
100
10-3 -2
10
110
102
10
3
C R
4
10-1 0
101
7
6
5
10
10
108
109
10 10-1 0
10101 2
103
mbar
Pa
H2
He
Relación de compresión (relación de compresión vs. presión de refuerzo)
7/21/2019 Bombas turbomoleculares
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CONTROLADORES EXC
Controladores parabombas turbomolecularesControladores EXC
Controladores EXC100E, EXC100L, EXC120, EXC300M y EXC300
Familia de controladores EXCNuestros controladores de accionamiento electrónicos EXC brindan potenciay control para las bombas y accesorios EXT. Existen siete controladoresEXC100E, EXC100L, EXC250E, EXC250L, EXC120, EXC300 y EXC300M.Todos estos controladores, con excepción del EXC300M, son compatiblescon nuestras bombas turbomoleculares EXT de 80 V c.c. con motores de c.c.
sin escobillas. El EXC300M es compatible con nuestra bomba de cojinetesmagnéticos, la EXT250M.
El EXC120, con una potencia de salida máxima de 120W, cubre la mayoría delas aplicaciones de bombeo. El EXC300 es una versión de gran potencia delEXC120 y hará funcionar las bombas EXT a la máxima velocidad y mantendráel desempeño del bombeo a mayores presiones de entrada.
Las familias de controladores EXC100 y EXC250 no tienen controles en elpanel frontal y están diseñados para usarse sólo con control remoto. ElEXC100E y EXC250E tienen un conector externo para usar con los cables dela bomba al controlador de 1M, 3M y 5M mencionados en la lista de accesoriosEXT. El EXC100L y EXC250L están equipados con un cable integral de labomba al controlador de 1M.
Controles e indicadores en el panel frontalCon la excepción de las familias EXC100 y EXC250, todos los controladores
tienen los siguientes controles e indicadores en sus paneles frontales.• Start/Stop – para encender y apagar la bomba• Standby – para poner la bomba en modo de espera, al 70% de su velocidad
máxima• Heater – para encender y apagar la banda de desecado• LED indicador de fallas – se enciende cuando la bomba turbomolecular se
dispara debido a un exceso de temperatura o una sobrecarga• LED indicador de suministro eléctrico – se enciende cuando el EXC está
encendido• Gráfico de barras indicador de velocidad – tiene una pantalla de cuatro
segmentos para mostrar cuando la bomba turbomolecular ha alcanzado el25%, 50% y 75% de la velocidad nominal
Conexiones en el panel traseroTodos los controladores EXC cuentan con conectores en sus panelestraseros para interfaz lógica (para control remoto), enfriador por aire, válvulade ventilación e indicadores de vacío Active. Además, el EXC120, EXC300 yEXC300M tienen conectores para el suministro eléctrico de la banda dedesecado y la conmutación del suministro eléctrico de la bomba rotativa.Las características de la interfaz lógica son:• Control remoto del encendido, apagado y espera• Interruptores de enclavamiento del sistema de vacío para impedir la
operación incorrecta de la bomba turbomolecular• Reportes de condiciones normales y de falla• 0-5 V c.c. de salida analógica proporcional a la velocidad de la bomba
turbomolecular (0 – 10 V c.c. para las familias EXC100 y EXC250)
Los suministros eléctricos del enfriador por aire y la válvula de ventilaciónmanual son salidas de 24 V c.c. las cuales son adecuadas para utilizar con losaccesorios EXT de BOC Edwards. El conector del indicador Active esadecuado para utilizar con los cabezales indicadores de vacío Active deBOC Edwards, lo que permite enclavar el funcionamiento del cabezal delindicador y de la bomba turbomolecular.
Características y ventajas• Los controladores pueden accionar bombas diferentes (con excepción del
EXC300M, el cual está dedicado a la bomba EXT250M).• Suministros eléctricos de modalidad computada que se ajustan
automáticamente a cualquier suministro eléctrico.• Compatibilidad electromagnética que excede los requerimientos de las
normas europeas genéricas de inmunidad y emisiones.• Suministro de energía regenerativo el cual brinda opciones de control
para la válvula de ventilación.• Tomas en el panel trasero para la válvula de ventilación, el enfriador por
aire y el indicador de vacío Active.• Control remoto total.• Espera y control de la banda de desecado desde el panel frontal (con
excepción del EXC100E, EXC100L, EXC250E y EXC250L).• Configuración de la velocidad "normal" y el intervalo de retardo
configurable por el usuario.• 0 – 5 V c.c. de salida analógica proporcional a la velocidad de rotación de
la bomba turbomolecular (0 – 10 V c.c. para el EXC100E y EXC100L).
CARACTERÍSTICA EXC100E/L EXC250E/L EXC120 EXC300 EXC300M
Funciones de control disponibles:Control manual ● ● ●
Control remoto ● ● ● ● ●
Espera ● ● ● ● ●
Interruptor de la banda dedesecado en el panel frontal
● ● ●
Relé de conmutación de la
bomba rotativa
● ● ●
Contador de horas ●
Funciones de visualización disponibles:Suministro eléctrico ● ● ●
Velocidad (gráfico de barrasde 4 segmentos)
● ● ●
Bomba encendida ● ● ●
Bomba esperandoenclavamiento
● ● ●
Falla de la bomba ● ●
Emergencia axial de la bomba ●
Espera encendida ● ● ●
Banda de desecado encendida(bombeo normal)
● ● ●
Bombas turbomoleculares compatibles:EXT70, EXT70H ● ●
EXT255H ● ● ● ●
EXT250M ●
Serie EXT555H ● ●
Conexión directa posible para:Enfriador por aire ACX ● ● ● ● ●
Válvula de ventilación TAV ● ● ● ● ●
Banda de desecado BX ● ● ●
Conmutación de la bombarotativa
● ● ●
Indicador Active ● ● ● ● ●
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSEl controlador EXC300M se suministra en conjunto con una bomba EXT250M y un cable dela bomba al controlador: para información sobre pedidos, consulte la página 5-9.
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
EXC100E D39620000
EXC100L D39622000
EXC250E D39635000
EXC250L D39636000
EXC120 D39616000
EXC300 D39614000
Cables de suministro eléctrico
Sin enchufe, 2 m D40013020
Enchufe RU, 2 m D40013025
Enchufe EE.UU., 2 m D40013120Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030
7/21/2019 Bombas turbomoleculares
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P
DATOS TÉCNICOS
EXC100E/L EXC250E/L EXC120 EXC300 EXC300M
Tensión del suministro eléctrico (V) 90 – 264 90 – 264 90 – 264 90 – 132 90 – 132y 180 – 264 y 180 – 264
Frecuencia del suministro eléctrico (Hz) 47 – 63 47 – 63 47 – 63 47 – 63 47 – 63Máxima potencia de entrada (VA)
Incluyendo la banda de desecado – – 410 700 700Sin la banda de desecado 260 440 260 550 550
Máxima potencia de salida (W) 1003 250 110 290 290Rango de temperatura ambiente (°C) 0 – 40 0 – 40 0 – 40 0 – 40 0 – 40Capacidad de protección del alojamiento IP20 IP20 IP20 IP20 IP20Emisiones electromagnéticas EN61326 clase B EN61326 clase B EN61326 clase B EN61326 clase B EN61326 clase BInmunidad electromagnética EN61326 EN61326 EN61326 EN61326 EN61326Capacidad de contacto de la bomba rotativa1
Corriente máxima (A) – – 15 15 15Tensión máxima (V c.a.) – – 250 250 250
Peso (Kg.) 0,9 2,0 2,0 4,6 4,6Puntos de control
Rango del intervalo de retardo al <50% de velocidad (min.) 1 – 30 1 – 30 1 – 30 1 – 30 1 – 30Intervalo de retardo fijado en la fábrica(incremento de velocidad) (min.)
8 8 8 8 8
Valor de fábrica del intervalo de retardo en caso dedescenso de la velocidad (opción S/N)
no no no no no
Rango de punto de control de velocidad normal (%)2 65 – 95 65 – 95 65 – 95 65 – 95 65 – 95Velocidad normal de fábrica (%)3 80 80 80 80 80
Opciones de ventilación, valores de fábricaVentilación en el apagado del controlador, al 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidadVentilación ante una falla del suministro eléctrico, al 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidadVentilación ante una falla de la bomba, al 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidad 50% de velocidadVentilación ante una emergencia axial – – – – 2 s
Opciones de ventilación, opciones alternativas seleccionablesVentilación en el apagado del controlador, después de 2 s 2 s 2 s 2 s 2 sVentilación ante una falla de la bomba, después de 2 s 2 s 2 s 2 s 2 sVentilación ante una emergencia axial – – – – Sin ventilación
1 Carga inductiva con factor de potencia de 0. 2 % de la velocidad de rotación nominal de la bomba. 3 Bomba de 80 W + accesorios de 20 W
5 2
1 5
115.5 F
EXC100E/L
F
A
6.85
M3
227.35
F
261.2
8 8 . 9C
75
1 3 . 4
1 5
G
E
1 . 6
1 2 2 . 5
213
198.1
A
1 3 2 . 5
Ø3.5
3 296
B
208.8
198.1
1 5
75
5.35
C
F
D
1 2 2 . 5
1 1 2 . 7
4 . 9
Ø3.5
EXC300/EXC300M
EXC250E/L
7.6 246.65
261
M3
115
75
1.6
15
100 88.9
13
15F
F
F
F
F
C
E
G
A
A Panel frontal
B Vista superior
C Espacio para el doblez del cable
D Disyuntor del panel
E Vista lateral
F Espacio para ventilación
G Placa adaptadora opcional, para instalar
el EXC100E en lugar del EXC120E
142127 Ø3.5
3 246
1 3 2 . 5
1 2 2 . 5
A
B
137.7
75
5.35127
1 5
C
F
D 1 2 2 . 5
1 1 2 . 7
Ø3.5 4 . 9
EXC120
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CONTROLADOR DE BOMBASTURBOMOLECULARES E INSTRUMENTOS TIC
Controladorde bombas turbomoleculares e instrumentos TIC
Un controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos compacto conuna pantalla para gráficos grande y clara, una interfaz del usuario intuitiva y unainterfaz de comunicaciones serial que brindan control remoto total yfunciones de inscripción de datos por medio de un nuevo programa de PCbasado en WindowsTM.
El controlador reconoce automáticamente y soporta hasta tres indicadores dela familia BOC Edwards (con excepción de IGC y Barocels), y una bombaturbomolecular de 24 V de la familia EXT. El soporte para el enfriamiento y laválvula de ventilación se brinda directamente desde el controlador. Se brindacontrol para bombas de refuerzo para una bomba de diafragma compacta de24 V (en versiones de 200 W solamente), o donde se requiera mayoresvelocidades de bombeo, las bombas de refuerzo de red principal (hastaE2M28) pueden controlarse por medio de una caja de relés opcional. La cajade relés también controla la banda calentadora de la red principal y la válvulade aislamiento de la línea de refuerzo y puede incluir tres relés de transferenciade 250 V c.c. y 3 A, los cuales son activados por las salidas de valorpredeterminado del indicador de apertura del colector.Los manómetros de alta presión pueden utilizarse para iniciar bombasturbomoleculares y manómetros de baja presión; alternativamente, losretardos de tiempo y señales normales pueden utilizarse para controlareventos como el arranque de bombas turbomoleculares e instrumentos.Existe una amplia selección de características de enclavamiento para mayorprotección y seguridad.El controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC puedemontarse en un bastidor o banco y brinda un medio útil para la operaciónflexible de una amplia variedad de configuraciones de sistemas de vacío.
Características y ventajasControlador universal de bombas turbomoleculares einstrumentos• El TIC reconoce automáticamente y controla hasta tres indicadores
Active y una bomba turbomolecular de 24 V de las familias DX o EXDC.La versión de 200 W brinda suficiente potencia para asegurar el
desempeño óptimo de las bombas turbomoleculares 255 de mayortamaño. Las bombas turbomoleculares DX tienen una comunicación totalpor puerto serial con el TIC y ambos pueden configurarse y reportar suestado por medio del TIC.
Soporte para bombas de refuerzo• Tanto las bombas de refuerzo conectadas a la red principal como las de
24 V pueden controlarse con el TIC. La versión de 200 W soporta lanueva bomba seca de diafragma XDD1. Para sistemas de vacío másgrandes, tanto la versión de 100 W como la de 200 W pueden controlarbombas de refuerzo conectadas a la red principal incluyendo la XDS10 yhasta la RV12, por medio de una caja de relés opcional.
Opciones de relé• Tres cajas de relés opcionales están disponibles para usar con el TIC.
Entre ellas se incluye una versión con tres relés de transferencia de 250 Vy 3 A, activados por las salidas de punto de control de apertura del
colector internas del TIC. Otra versión controla una bomba de refuerzoconectada a la red principal, la banda de calentador de la bomba
turbomolecular y la válvula de aislamiento de la línea de refuerzo. Laúltima caja de relés combina estas características para brindar relés detransferencia de 250 V, bomba de refuerzo y controles auxiliares.
• Todas las cajas de relés incluyen un equipo de derivación lógica para unamayor integración del sistema.
Configuración de un sistema simple• En la mayoría de las instancias, los sistemas TIC pueden configurarse de
manera sencilla y rápida mediante el uso de la gran variedad de cablesestándar en oferta, por lo tanto, no hay necesidad de que el clienteprepare conjuntos de cables o cajas de relés e interfaces especiales.
Lectura de presión directa• TIC incluye tablas de búsqueda para una variedad de gases de proceso que
se encuentran comúnmente (N2, He, Ar, CO2, Kr & Ne). La selección delgas apropiado permite una lectura directa de la presión correcta sinnecesidad de aplicar factores de conversión.
Instrumento compacto• TIC se presenta en un gabinete compacto y puede montarse en un panel
o en un bastidor (bastidor 3U de ¼ 19"). Con la adición de un marco, setransforma en un atractivo instrumento para montar en un banco.
Interfaz gráfica del usuario clara y fácil de usar • La gran pantalla LCD retroiluminada de 128 x 64 píxeles y el sistema de
menús similar al de un teléfono celular simplifica la programación y unaelección de pantallas de resumen asegura la excelente visibilidad de losparámetros en pantalla.
Suministro eléctrico universal• TIC operará con suministros de la red con una tensión que oscila entre
90 y 264 V c.a., y frecuencias entre 47 y 63 Hz. No se requiere la
intervención del usuario.Comunicaciones por puerto serial• Para permitir una integración completa a los procedimientos controlados
por PC y PLC, todas las variantes del TIC incluyen interfaces RS232 yRS485 como estándar.
WindowsTM Programa para PC• TIC se suministra con un nuevo programa para PC con WindowsTM que
permite una configuración y control totales desde una PC mediante lainterfaz RS232.
Actualizaciones de software• A medida que se lanzan nuevos productos compatibles, el software del
TIC puede actualizarse de manera sencilla mediante el utilitario especialsuministrado con el programa de PC para WindowsTM.
Las actualizaciones de software del TIC estarán disponibles por medio de
correo electrónico e Internet.
DATOS TÉCNICOS
* La velocidad de la rampa está limitada por el uso de la bomba EXDC80
** Cuando está configurada para un arranque a baja potencia
BOMBA TURBOMOLECULAR 24 V
OPCIONES DE BOMBATURBOMOLECULAR
VARIANTE TIC
100 W 200 W
EXT75DX Rápida RápidaEXT70H y EXDC80 Rápida RápidaEXT255H y EXDC80* Lenta Lenta
EXT255H y EXDC160 N/D RápidaEXT255DX Lenta** Rápida
Interfaz lógica El conector de la interfaz lógica incluye lasfunciones mencionadas a continuación.Puede utilizarse para conectarse a relés delsistema, un sistema de control de nivelsuperior o una caja de relés opcional. Alutilizar el conector pasante de la caja de relés,puede utilizarse una combinación de unsistema de control superior y una caja de relés.
Entradas de controlArranque/parada de la bombaturbomolecular*
Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
Espera de la bombaturbomolecular
Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
Activación deindicadores 1, 2, 3
Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
Arranque/parada de labomba de refuerzo* Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
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Opciones de montaje en banco o bastidor(Sub bastidor 3 U de 1/4 19")
Interfaces externas
Pantalla: LCD para gráficos retroiluminada de 128 x 64 píxeles
Las funciones de control en el teclado del panel frontal incluyen:
Botón Desplazar hacia arriba
Botón Desplazar hacia abajo
Botón Enter/Seleccionar
Botón Menú/Volver
Botón Ciclar
Interruptor de enclavamientodel sistema SYSI
Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
Salidas de controlControl de la válvula deventilación
O/C 24 V c.c. 100 mA
Control de la bandacalentadora
O/C 24 V c.c. 50 mA
Control de la bombade refuerzo
O/C 24 V c.c. 100 mA
Enfriador por aire O/C 24 V c.c. 200 mASalidas de estado
Salida analógica 0 – 10 V c.c
Punto de control A, B, C O/C 24 V c.c. 50 mAVelocidad normal de la bombaturbomolecular
O/C 24 V c.c. 50 mA
Alarma O/C 24 V c.c. 50m AInterfaz serial TIC tiene dos protocolos de comunicaciones
incorporados, RS232 y RS485.Éstos pueden utilizarse para conectarse a unaPLC o a una PC mediante el uso del paquetede software de WindowsTM PC suministradopara un monitoreo y control totales de unsistema TIC.
* Los comandos arranque/parada son del tipo "edge triggered".
INSTRUMENTOSDEL CONTROLADOR
DE BOMBASTURBOMOLECULARES
TIC 100 W RS232
INSTRUMENTOSDEL CONTROLADOR
DE BOMBASTURBOMOLECULARES
TIC 200 W RS232
Entrada de la redSuministro eléctrico 90 a 264 V c.a. 47 a 63 HzConsumo de energía(máx)
215 VA 350 VA
Máxima corriente deirrupción
10,3 A a 110 V c.a.23,0 A a 230 V c.a.
Fusible TIC cuenta con protección propia y no contienefusibles que puedan ser reemplazados por el usuario.
La unidad se recuperará cuando se elimine lasobrecarga.
Perno de tierra M4
Terminales auxiliaresVentilador de enfriamiento por aire 24 V c.c. 3 W máx, ACX70, ACX75 y
ACX250HVálvula de ventilación 24 V c.c. 2 W máx, TYAV5 y TAV6
Cables de interfaz Utilice los cables que se especifican en la"información sobre pedidos"
DimensionesAlojamiento del sistema electrónico 110 mm de alto x 105 mm de ancho x
245 mm de profundidadPanel frontal 106 mm de ancho x 128 mm de alto
PesoControlador de bombasturbomoleculares e instrumentosde 100 W RS232
2,75 kg
Controlador de bombas
turbomoleculares e instrumentosde 200 W RS232 3,5 kg
Temperatura de operación +0 ° a +40 °CTemperatura de almacenamiento -30 ° a +70 °CHumedad ambiente de operación máxima 90% RH sin condensación a 40 °CMáxima altitud operativa 3000 mDiseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 Ubicación industrial,
Emisiones clase BCapacidad del alojamiento IP20
BOC EDWARDS
BOC EDW ARDS
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1 Entradas de los indicadores FCC68 (RJ45)
2 Interfaz lógica Toma D de 25 clavijas
3 Bomba de refuerzo de 24 V Toma 'D' de 15 clavijas *
4 Bomba turbomolecular de 24 V Toma 'D' de 15 clavijas *
5 RS232/485 Toma 'D' de 9 clavijas6 Perno de tierra M4
7 Entrada de la red eléctrica Enchufe CEE/IEC 320
8 Interruptor de encendido/apagado de la red eléctrica
9 Terminales auxiliares de la válvula de ventilación y el
ventilador (suminist ro de 24 V) Terminal de 4 clavijas con tornillos
* Disponible en versiones de 200 W solamente
Interfaz de la pantalla
El software del TIC está estructurado en una serie de pantallas fácilmenteaccesibles, similares a las de un teléfono celular.
TIC reconoce automáticamente qué indicadores y bombas turbomolecularesestán conectados y muestra la información apropiada en la pantalla deresumen por defecto. Mediante desplazamientos y selecciones se accede alcontrol y a los menús de configuración para ese componente.
La velocidad de la bomba turbomolecular se muestra como una proporciónde la velocidad máxima mediante un gráfico de barras. "Norm" indica que labomba turbomolecular ha alcanzado su velocidad normal, mientras que losgalones que apuntan hacia adelante o hacia atrás indican aceleración ydesaceleración.Se muestra el estado de la bomba, el cual combinado con las salidas de losindicadores y el estado de los relés da una clara indicación de lo que estásucediendo en el sistema de vacío.Existe un número de opciones de pantalla para obtener la máxima claridad.Además, pueden aplicarse dos niveles de protección con contraseña,restringiendo o impidiendo de manera efectiva la intervención no autorizada.
En caso de que ocurra un error, el TIC mostrará un cartel de WARNING(advertencia) o uno parpadeante de ALARM (alarma). Una advertencia avisade una condición que se encuentra fuera de los parámetros normales, peroque no requiere acción, pero una alarma debe ser resuelta antes de que pueda
reanudarse el funcionamiento normal.Las unidades de la pantalla pueden estar en mbar, Torr, Pa o Voltios
Los tres relés de punto de control, que son resaltados cuando se activan,pueden estar conectados a cualquier indicador.
Entradas de los indicadoresLas variantes del TIC con soporte de instrumentos reconocen y controlan lossiguientes indicadores:
APG, APGX, ATC, ASG, AIM, WRG y AIGX*
* No más de un indicador AIGX puede estar conectado al TIC por vez.
Bomba de refuerzo de 24 V(Para obtener información sobre el soporte de la bomba de refuerzoconectada a la red eléctrica, vea a continuación.)
Las variantes del TIC que soportan bombas turbomoleculares de 200 Wreconocen y controlan las siguientes bombas de refuerzo de 24 V:
XDD1
Caja de relés (opcionales)Descripción general Una variedad de cajas de relés han sido desarrolladaspara permitir que el TIC opere tres relés de transferencia (no inductivos) de250 V c.a. y 3 A, bombas de refuerzo conectadas a la red principal y accesorios.
Los relés de transferencia son activados por las salidas de puntos de controldel TIC. El relé de la bomba de refuerzo de la red principal controla una válvulade aislamiento de la línea de refuerzo, de modo que cuando se apaga la bombade refuerzo, la válvula de aislamiento se cierra.
La caja de relés se conecta al TIC por medio de un conector de interfaz lógica,el cual se suministra con un conector de derivación para conectarse con elequipo OEM.
Opciones de caja de relés
Bombas de refuerzo de red principal y accesorios compatibles
Bombas de refuerzo pequeñas: E2M0.7 & 1.5, RV3, 5, 8 & 12, XDS5C y 10C,XDS5 & 10 y ESDP12Banda calentadora: BX70 y BX250
Válvula de aislamiento de la línea de refuerzo: LCPV16EKA y LCPV25EKA
1
2
5
8 67
3
4
9
R e l é s d e
t r a n s f e r e n c i a
( 3 d e 2 5 0 V c . a . y 3 A )
B a n d a c a l e n t a d o r a y
v á l v u l a d e a i s l a m i e n t o
d e l a l í n e a d e
r e f u e r z o .
B o m b a d e r e f u e r z o
p e q u e ñ a
Instrumentos de la caja de relés del TIC ✓
Caja de relés del TIC y bomba de refuerzopequeña
✓ ✓
Instrumentos de la caja de relés del TIC ybomba de refuerzo pequeña
✓ ✓ ✓
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1 Entrada de la red eléctrica Enchufe CEE/IEC 320 ‡
2 Válvula de aislamiento de la línea de refuerzo Toma DIN de 3 clavijas ‡
3 Relés de transferencia de 250 V y 3 A Enchufe positrónico de 12 clavijas *
4 Interfaz lógica ( del TIC) Toma 'D' de 25 clavijas *‡
5 Equipo de derivación lógica (PC, PLC, etc.) Toma 'D' de 25 clavijas *‡
6 Perno de tierra M4 *‡
7 Fusible de la banda calentadora ‡
8 Banda calentadora Toma CEE/IEC 320 ‡
9 Fusible de la bomba de refuerzo de red eléctrica‡
10 Bomba de refuerzo de red eléctrica Toma CEE/IEC 320 ‡
* Disponible en los instrumentos de la caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeña‡ Disponible en caja de relés del TIC
Nota: Se muestra la variante combinada de instrumentos y bomba de refuerzo pequeña.
Programam para PC de WindowsTM
TIC se suministra con un software para PC con WindowsTM totalmentefuncional, el cual replica y se agrega a los menús de control del TIC.
El software de PC permite que los sistemas TIC puedan ser configurados,controlados y monitoreados desde una sola PC.También se incluye una útil función de inscripción de datos, la cual guardaparámetros seleccionables por el usuario en un archivo (en formato .csv) parasu posterior análisis utilizando software adecuado..
Las configuraciones del sistema TIC pueden crearse y guardarse para su usoposterior, ahorrando de esa manera tiempo de programación.
El software de PC incluye un utilitario de actualización, el cual permite que elsoftware del TIC pueda actualizarse por medio de la conexión al puerto seriala partir de archivos suministrados electrónicamente.
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Ejemplos de configuraciones
* Al utilizarse con una bomba XDD1, la bomba turbomolecular debería estar controlada por un indicador
o estar sujeta a una demora en el arranque.
* Para uso con bombas enfriadas por agua solamente.
COMPONENTE NÚMERO DEPEDIDO
DESCRIPCIÓN
A D39722000 Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 200 W RS232*
B D40013025 Cable de red eléctrica RU, 2mC D14701000 WRG-S-NW25
D A74601991 XDD1 - Bomba de diafragma de 24 V c.c.
E B72241000 EXT75DX ISO63
F B58053075 ACX75 - Enfriador por aire
G D39700836 XDD/DX/EXDC - cable de extensión, 2 m
H D39700836 XDD/DX/EXDC - cable de extensión, 2 m (opcional)
J D40001005 Cable de indicador Active, 0,5 m
COMPONENTE NÚMERO DEPEDIDO
DESCRIPCIÓN
A D39721000 Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 100 W RS232
B D40013025 Cable de red eléctrica RU, 2m
C D39711805 Caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeña
D D02372000 APGX-M-NW25 STSTE D04850000 AIGX-S-NW25
F D14701000 WRG-S-NW25
G A65201903 Bomba RV3 monofásica
H B72241000 EXT75DX ISO63
J B58052060 BX70 - Banda calentadora 240 V 60 W*
K B58066010 Tav5 - Válvula de ventilación
L B58053075 ACX75 - Enfriador por aire
M D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m
N D39700831 Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 M/F, 2 m
P D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m
Q D39700836 XDD/DX/EXDC - cable de extensión, 2 m (opcional)
R D39700834 Cable para interfaz RS232 del TIC, 2 m (opcional)S D40001020 Cable de indicador Active, 2 m
T N/D PC con interfaz RS232 (opcional)
J
C
H
E
F
B
A
G
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Q
S
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Ejemplos de configuraciones .
COMPONENTE NÚMERO DEPEDIDO
DESCRIPCIÓN
A D39722000 Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 200 W RS232B D40013025 Cable de red eléctrica UK, 2m
C D39711805 Caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeña
D D02371000 APGX-M-NW16 AL
E D04850000 AIGX-S-NW25
F D14701000 WRG-S-NW25
G A72701903 XDS10
H D75301991 EXT255H DN100ISO-K 24 V
J D39646000 EXDC160 24 V
K B58066010 TAV 5 - Válvula de ventilación
L B58053160 ACX250H - Enfriador por aire
M D39700831 Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 M/F, 2 mN D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m
P D39700836 XDD/DX/EXDC - cable de extensión, 2 m (opcional)
Q D39700834 Cable de interfaz RS232, 2 m (opcional)
R D40001010 Cable de indicador Active, 1 m
S N/D PC con interfaz RS232 (opcional)
QS
R
F
E
R
D
H
J
L
P
B
A
C
B
N
M
G
K
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Controladores (suministrados con manuales y software)
Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 100 W RS232 D39721000
Controlador de bombas turbomoleculares einstrumentos TIC 200 W RS232 D39722000
Cajas de relés (suministradas con un conjunto deconectores adecuados)
Instrumentos de la caja de relés del TIC(3 relés de transferencia de 250 V c.a. y 3 A) D39700804
Caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeña D39711805
Instrumentos de la caja de relés del TIC y bombade refuerzo pequeña D39721806
Cables
Cables de red eléctrica(Suministro del TIC y la caja de relés)
Enchufe para RU, 2 m D40013025
Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120
Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030
Cables de red eléctrica(caja de relés para bombas tipo RV y XDS)
Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 m/f, 2 m D39700831Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 m/f, 5 m D39700832
Cables de interfaz
Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m D39700833
Cable para interfaz RS232 del TIC, 2 m D39700834
Cables de extensión para bombas de 24 V(utilícelos con bombas tipo EXDC, DX y XDD1)
XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 1 m D39700835
XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m D39700836
XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 5 m D39700837
Cables de indicador Active (incluyen conexionesFCC68 compatibles en ambos extremos)
Cable de indicador Active, 0,5 m D40001005
Cable de indicador Active, 1 m D40001010
Cable de indicador Active, 3 m D40001030
Cable de indicador Active, 5 m D40001050
Cable de indicador Active, 10 m D40001100
Cable de indicador Active, 15 m D40001150
Cable de indicador Active de 15 m (24 AWG) D40005150
Cable de indicador Active, 25 m D40001250
Cable de indicador Active de 30 m (24 AWG) D40005300
Cable de indicador Active, 50 m D40001500
Cable de indicador Active, 100 m D40001999
Otros accesorios y productos de soporte
Conjunto de marco frontal para el TIC (repuesto) D39700803
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CONTROLADOR DE BOMBASTURBOMOLECULARES TIC
Controladorde bombas turbomoleculares TIC
Un controlador de bombas turbomoleculares compacto con una pantalla paragráficos grande y clara, una interfaz del usuario intuitiva y una interfaz decomunicaciones serial que brindan control remoto total y funciones deinscripción de datos por medio de un nuevo programa de PC basado enWindowsTM.El controlador reconoce automáticamente y soporta una bombaturbomolecular de 24 V de la familia EXT. El soporte para el enfriamiento y laválvula de ventilación se brinda directamente desde el controlador. Se brindacontrol para bombas de refuerzo para una bomba de diafragma compacta de24 V (en versiones de 200 W solamente), o donde se requiera mayoresvelocidades de bombeo, las bombas de refuerzo de la red principal (hastaE2M28) pueden controlarse por medio de una caja de relés opcional. La cajade relés también puede utilizarse para controlar una banda calentadora y unaválvula de aislamiento de la línea de refuerzo.Los retardos de tiempo y señales de velocidad normal pueden utilizarse paracontrolar eventos como el arranque de la bomba turbomolecular y existe unaamplia selección de características de enclavamiento para mayor protección yseguridad.El controlador de bombas turbomoleculares TIC puede montarse en un
bastidor o banco y brinda un medio útil para la operación flexible de una ampliavariedad de configuraciones de sistemas de vacío.
Características y ventajasControlador universal de bombas turbomoleculares einstrumentos• El TIC reconoce automáticamente y controla una bomba turbomolecular
de 24 V de las familias DX o EXDC. La versión de 200 W brinda suficientepotencia para asegurar el desempeño óptimo de las bombas 255 de mayortamaño. Las bombas turbomoleculares DX tienen una comunicación totalpor puerto serial con el TIC y ambos pueden configurarse y reportar suestado por medio del TIC.
Soporte para bombas de refuerzo• Tanto las bombas de refuerzo conectadas a la red principal como las de
24 V pueden controlarse con el TIC. La versión de 200 W soporta lanueva bomba seca de diafragma XDD1. Para sistemas de vacío más
grandes, tanto la versión de 100 W como la de 200 W pueden controlarbombas de refuerzo conectadas a la red principal incluyendo la XDS10 yhasta la RV12, por medio de una caja de relés opcional.
Opciones de relé• La caja de relés externa opcional permite que las bombas de refuerzo de
la red principal puedan ser controladas y también brinda interfaces parauna banda calentadora de la bomba turbomolecular, una válvula deaislamiento para la línea de refuerzo y un equipo de derivación lógica.
• Todas las cajas de relés incluyen un equipo de derivación lógica para unamayor integración del sistema.
Configuración de un sistema simple• En la mayoría de las instancias, los sistemas TIC pueden configurarse de
manera sencilla y rápida mediante el uso de la gran variedad de cablesestándar en oferta, por lo tanto, no hay necesidad de que el clienteprepare conjuntos de cables o cajas de relés e interfaces especiales.
Instrumento compacto• TIC se presenta en un gabinete compacto y puede montarse en un panel
o en un bastidor (bastidor 3U de ¼ 19"). Con la adición de un marco, setransforma en un atractivo instrumento para montar en un banco.
Interfaz gráfica del usuario clara y fácil de usar • La gran pantalla LCD retroiluminada de 128 x 64 píxeles y el sistema de
menús similar al de un teléfono celular simplifica la programación y unaelección de pantallas de resumen asegura la excelente visibilidad de losparámetros en pantalla.
Suministro eléctrico universal• TIC operará con suministros de la red con una tensión que oscila entre
90 y 264 V c.a., y frecuencias entre 47 y 63 Hz. No se requiere laintervención del usuario.
Comunicaciones por puerto serial• Para permitir una integración completa a los procedimientos controlados
por PC y PLC, todas las variantes del TIC incluyen interfaces RS232 yRS485 como estándar.
WindowsTM Programa para PC• TIC se suministra con un nuevo programa para PC con WindowsTM que
permite una configuración y control totales desde una PC mediante lainterfaz RS232.
Actualizaciones de software• A medida que se lanzan nuevos productos compatibles, el software del
TIC puede actualizarse de manera sencilla mediante el utilitario especialsuministrado con el programa de PC para WindowsTM.
• Las actualizaciones de software del TIC estarán disponibles por medio decorreo electrónico e Internet.
DATOS TÉCNICOS
* La velocidad de la rampa está limitada por el uso del EXDC80.
.
BOMBA TURBOMOLECULAR 24 V
OPCIONES DE LA BOMBATURBOMOLECULAR
VARIANTE TIC
100 W 200 W
EXT75DX Rápida Rápida
EXT70H y EXDC80 Rápida RápidaEXT255H y EXDC80* Lenta LentaEXT255H y EXDC160 N/D Rápida
Interfaz lógica El conector de la interfaz lógica incluye lasfunciones mencionadas a continuación.Puede utilizarse para conectarse a relés delsistema, un sistema de control de nivel
superior o una caja de relés opcional. Al utilizarel conector pasante de la caja de relés, puedeutilizarse una combinación de un sistema decontrol superior y una caja de relés.
Entradas de controlArranque/parada de la bombaturbomolecular*
Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
Espera de la bombaturbomolecular
Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
Arranque/parada de la bombade refuerzo*
Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
Interruptor de enclavamientodel sistema SYSI
Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
Salidas de controlControl de la válvula deventilación O/C 24 V c.c. 100 mA
Control de la banda calentadora O/C 24 V c.c. 50 mAControl de la bomba derefuerzo O/C 24 V c.c. 100 mAEnfriador por aire O/C 24 V c.c. 200 mA
Salidas de estadoSalida analógica 0 – 10 V c.cPunto de control A, B, C O/C 24 V c.c. 50 mAVelocidad normal de la bombaturbomolecular/alarma O/C 24 V c.c. 50m A
Interfaz serial TIC tiene dos protocolos de comunicacionesincorporados, RS232 y RS485.Estos pueden utilizarse para conectarse a unaPLC o a una PC mediante el uso del paquete desoftware de WindowsTM PC suministradopara un monitoreo y control totales de un
sistema TIC.* Los comandos arranque/parada son del tipo "edge triggered".
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Opciones de montaje en banco o bastidor(Sub bastidor 3 U de 1/4 19")
Interfaces externas
Pantalla: LCD para gráficos retroiluminada de 128 x 64 píxeles
Las funciones de control en el teclado del panel frontal incluyen:
Botón Desplazar hacia arriba
Botón Desplazar hacia abajo
Botón Enter/Seleccionar
Botón Menú/Volver
Botón Ciclar
INSTRUMENTOSDEL CONTROLADOR
DE BOMBASTURBOMOLECULARES
TIC 100 W RS232
INSTRUMENTOSDEL CONTROLADOR
DE BOMBASTURBOMOLECULARES
TIC 200 W RS232
Entrada de la red
Suministro eléctrico 90 a 264 V c.a. 47 a 63 HzConsumo de energía(máx)
215 VA 350 VA
Máxima corriente deirrupción
10,3 A a 110 V c.a.23,0 A a 230 V c.a.
Fusible TIC cuenta con protección propia y no contienefusibles que puedan ser reemplazados por el usuario.
La unidad se recuperará cuando se elimine lasobrecarga.
Perno de tierra M4
Terminales auxiliaresVentilador de enfriamiento por aire 24 V c.c. 3 W máx, ACX70, ACX75 y
ACX250HVálvula de ventilación 24 V c.c. 2 W máx, TYAV5 y TAV6
Cables de interfaz Utilice los cables que se especifican en la"información sobre pedidos"
DimensionesAlojamiento de electrónica 110 mm de alto x 105 mm de ancho x
245 mm de profundidadPanel frontal 106 mm de ancho x 128 mm de alto
PesoControlador de bombasturbomoleculares TIC 100 WRS232 2,75 kgControlador de bombasturbomoleculares TIC 200 WRS232 3,5 kg
Temperatura de operación +0 ° a +40 °CTemperatura de almacenamiento -30 ° a +70 °CHumedad ambiente de operaciónmáxima 90% RH sin condensación a 40 °CMáxima altitud operativa 3000 mDiseño electrónico EN 61010-1Compatibilidad electromagnética EN 61326 (Ubicación industrial,
Emisiones clase B)Capacidad del alojamiento IP20
BOC EDWARDS
BOC EDW ARDS
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1 Bomba de refuerzo de 24 V Toma 'D' de 15 clavijas *
2 Bomba turbomolecular de 24 V Toma 'D' de 15 clavijas *
3 Interfaz lógica Toma D de 25 clavijas
4 RS232/485 Toma 'D' de 9 clavijas5 Perno de tierra M4
6 Entrada de la red eléctrica Enchufe CEE/IEC 320
7 Interruptor de encendido/apagado de la red eléctrica válvula y ventilador
8 Suministro auxiliar de las terminales de ventilación (24 V) Terminal de 4 clavijas con tornillos
* Disponible en versiones de 200 W solamente
Interfaz de la pantalla
El software del TIC está estructurado en una serie de pantallas fácilmenteaccesibles, similares a las de un teléfono celular.TIC reconoce automáticamente qué bomba turbomolecular está conectada ymuestra la información apropiada en la pantalla de resumen por defecto.Mediante desplazamientos y selecciones se accede al control y a los menús deconfiguración para ese componente.La velocidad de la bomba turbomolecular se muestra como una proporciónde la velocidad máxima mediante un gráfico de barras. "Norm" indica que la
bomba turbomolecular ha alcanzado su velocidad normal, mientras que losgalones que apuntan hacia adelante o hacia atrás indican aceleración ydesaceleración.Dos niveles de protección con contraseña están disponibles, restringiendo oimpidiendo de manera efectiva la intervención no autorizada.Se muestra el estado de la bomba, lo que da una clara indicación de lo que estásucediendo en el sistema de vacío.En caso de que ocurra un error, el TIC mostrará un cartel de WARNING(advertencia) o uno parpadeante de ALARM (alarma). Una advertencia avisade una condición que se encuentra fuera de los parámetros normales, peroque no requiere acción, pero una alarma debe ser resuelta antes de que puedareanudarse la operación normal.Los tres relés de punto de control, que son resaltados cuando se activan,pueden estar conectados a la velocidad de la bomba turbomolecular.
Bomba de refuerzo de 24 V(Para obtener información sobre el soporte de la bomba de refuerzoconectada a la red eléctrica, vea a continuación.)Las variantes del TIC que soportan bombas turbomoleculares de 200 Wreconocen y controlan las siguientes bombas de refuerzo de 24 V:XDD1
Caja de relés (opcionales)Descripción general Una variedad de cajas de relé han sido desarrolladaspara permitir que el TIC opere bombas de refuerzo de red principal yaccesorios.El relé de la bomba de refuerzo de la red principal controla una válvula de
aislamiento de la línea de refuerzo, de modo que cuando se apaga la bomba derefuerzo, la válvula de aislamiento se cierra.La caja de relés se conecta al TIC por medio de un conector de interfaz lógica,el cual se suministra con un conector de derivación para conectarse con elequipo OEM.
Opciones de caja de relés
Bombas de refuerzo de red eléctrica compatibles y accesoriosBombas de refuerzo pequeñas: E2M0.7 & 1.5, RV3, 5, 8 & 12, XDSC5 y 10,XDS5 y 10, ESDP12Banda calentadora: BX70 y BX250Válvula de aislamiento de la línea de refuerzo: LCPV16EKA y LCPV25EKA
1 Entrada de la red eléctrica Enchufe CEE/IEC 320
2 Válvula de aislamiento de la línea de refuerzo Toma DIN de 3 clavijas
3 Interfaz lógica (del TIC) Toma 'D' de 25 clavijas
4 Equipo de derivación lógica (a PC, PLC etc.) Toma 'D' de 25 clavijas
5 Perno de tierra M4
6 Fusible de la banda calentadora
7 Banda calentadora Toma CEE/IEC 320
8 Fusible de la bomba de refuerzo de red eléctrica
9 Bomba de refuerzo de red eléct rica Toma CEE/IEC 320
4
3
7 6 5
8
1 2
R e l é s d e
t r a n s f e r e n c i a
( 3 d e 2 5 0 V c . a . y 3 A )
B a n d a c a l e n t a d o r a y
v á l v u l a d e a i s l a m i e n t o
d e l a l í n e a d e
r e f u e r z o .
B o m b a d e r e f u e r z o
p e q u e ñ a
Caja de relés del TIC y bomba de refuerzopequeña
✓ ✓
Instrumentos de la caja de relés del TIC ybomba de refuerzo pequeña
✓
ISOLATION
7
8
6
HEATER
BACKING PUMP
F2
F1
9
MAINS IN
1
3 0 V M A X
TICUSER
5 4
L O G I C
I N T E R F A C E
VALVE
2
3
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Programa para PC de WindowsTM
TIC se suministra con un software para PC con WindowsTM totalmentefuncional, el cual replica y se agrega a los menús de control incorporados delTIC.
El software de PC permite que los sistemas TIC puedan ser configurados,controlados y monitoreados desde una sola PC.También se incluye una útil función de inscripción de datos, la cual guardaparámetros seleccionables por el usuario en un archivo (en formato .csv) parasu posterior análisis utilizando software adecuado.
Las configuraciones del sistema TIC pueden crearse y guardarse para su usoposterior, ahorrando de esa manera tiempo de programación.El software de PC incluye un utilitario de actualización, el cual permite que elsoftware incorporado del TIC pueda actualizarse por medio de la conexión alpuerto serial a partir de archivos suministrados electrónicamente.
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Ejemplos de configuraciones
* Al utilizarse una bomba XDD1, la bomba turbomolecular debería estar sujeta a una corta demora.
* Para uso con bombas enfriadas por agua solamente.
COMPONENTE NÚMERO DEPEDIDO
DESCRIPCIÓN
A D39712000 Controlador para bombas turbomolecularesTIC 200 W RS232*
B D40013025 Cable de red eléctrica RU, 2mC A74601991 XDD1 -Bomba de diafragma de 24 V c.c.
D B72241000 EXT75DX ISO63
E B58053075 ACX75 Enfriador por aire
F D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m
G D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m (opcional)
COMPONENTE NÚMERO DEPEDIDO
DESCRIPCIÓN
A D39712000 Controlador para bombas turbomolecularesTIC 200 W RS232
B D40013025 Cable de red eléctrica RU, 2m
C D39711805 Caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeñaD A74601991 XDD1 -Bomba de diafragma de 24 V c.c.
E B72241000 EXT75DX ISO63
F B58052060 BX70 -Banda calentadora 240 V 60 W*
G B58066010 TAV5 - Válvula de ventilación
H B58053075 ACX75 - Enfriador por aire
J D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m
K D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m
L D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m (opcional)
M D39700834 Cable de interfaz RS232 para el TIC, 2 m (opcional)
N N/D PC con interfaz RS232 (opcional)
G
D
E
A
B
F
C
L
N M
E
H
G
F
B
A
C
J
B
K
D
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Ejemplos de configuraciones .
COMPONENTE NÚMERO DEPEDIDO
DESCRIPCIÓN
A D39711000 Controlador para bombas turbomolecularesTIC 100 W RS232
B D40013025 Cable de red eléctrica RU, 2m
C D39711805 Caja de relés del TIC y bomba de refuerzo pequeña
D A37122919 Bomba E2M1.5 monofásica
E B72221991 EXT70H DN63ISO-K 24 V
F D39645000 EXDC80 24 V
G B58066010 TAV5 - Válvula de ventilación
H B58053075 ACX75 Enfriador por aire
J D39700833 Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m
K D39700836 XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m (opcional)
L D39700834 Cable de interfaz RS232 para el TIC, 2 m (opcional)
M N/D PC con interfaz RS232 (opcional)
J
ML
B
B
A
C
K
H
FE
D
G
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Controladores (suministrados con manuales y software)
Controlador de bombas turbomolecu lares TIC 100 W RS232 D39711000
Controlador de bombas turbomolecu lares TIC 200 W RS232 D39712000
Cajas de relés (suministradas con un conjunto de conectoresadecuados)
Bomba de refuerzo pequeña de la caja de relés del TIC D39711805
Cables
Cables de red eléctrica (Suministro del TIC y la caja de relés)
Enchufe para RU, 2 m D40013025
Enchufe para EE.UU., 2 m D40013120
Enchufe para Europa del Norte, 2 m D40013030
Cables de red eléctrica (caja de relés para bombas tipo RV y XDS)
Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 m/f, 2 m D39700831
Cable de red eléctrica para el TIC IEC320 m/f, 5 m D39700832
Cables de interfaz
Cable para interfaz lógica del TIC, 2 m D39700833
Cable para interfaz RS232 del TIC, 2 m D39700834
Cables de extensión para bombas de 24 V (utilíceloscon bombas tipo EXDC, DX y XDD1)
XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 1 m D39700835XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 2 m D39700836
XDD/DX/EXDC -cable de extensión, 5 m D39700837
Otros accesorios y productos de soporte
Conjunto de marco frontal para el TIC (repuesto) D39700803
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ACCESORIOS EXTAccesorios EXT
Ofrecemos una familia completa de accesorios y repuestos para las bombasEXT. A continuación encontrará una breve descripción de cada uno de estoscomponentes.
1 Aislador de vibración 7 Restrictor de purga PRX10
2 Banda de desecado BX 8 Enfriador por agua (suministrado con la bomba)
3 Sello de la brida de entrada 9 Enfriador por aire ACX (el diseño varía con la bomba)
(suministrado con la bomba) 10 Adaptador del orificio de ventilación NW10
4 Criba de entrada 11 Válvula de ventilación TAV
(suministrada con la bomba) 12 Orificio de ventilación
5 Bomba EXT (bomba suministrada con válvula de6 Orificio de purga ventilación manual)
(Adaptador NW10 instalado) 13 Posición de la banda de desecado
CABLE DE LA BOMBA AL CONTROLADOR
Un cable de la bomba al controlador debe ser solicitado por separado para lasbombas EXC100E y EXC250E y está disponible en longitudes de 1, 3 y 5 m,para ajustarse a su instalación, (otras longitudes están disponibles a solicitud).
ENFRIADOR POR AIRE ACX
Un enfriador por aire ACX se utiliza para enfriar una bomba EXT cuando unsuministro de agua para enfriamiento adecuado no está disponible o para unabomba EXT en un sistema de bombeo móvil. El enfriador por aire ACX es unconjunto de ventilador eléctrico encerrado y ménsula de sujeción que seinstala fácilmente en los orificios para pernos en la base de la bomba.
El enfriador por aire ACX tiene un motor de 24 V c.c. que puede seralimentado y controlado desde una toma en el panel trasero en el controladorEXC/TIC o bomba DX. Se suministra con 3 m de cable eléctrico.
BANDA DE DESECADO BX
Utilice una banda de desecado BX para incrementar la velocidad dedesgasificación del cuerpo de la bomba para lograr una evacuación más rápiday una menor presión final. Las bandas de desecado sólo se instalan en bombas
con bridas CF y/o diseñadas para utilizarse en sistemas de vacíoultra alto.
Las bandas de desecado están disponibles para su uso con suministroeléctricos de 110-120 o 220-240 V c.a. y pueden ser alimentadas desde unatoma en el panel trasero en el controlador EXC/TIC o la bomba DX. Sesuministra con un cable de 3 m y un conector CE22 adecuado.
RESTRICTOR DE PURGA PRX10
El restrictor de purga PRX10 se utiliza para configurar la velocidad de flujo depurga de gas a la bomba EXT. Todas las bombas EXT (excepto la EXT70 y laEXT70H) cuentan con un orifico de fuga que le permite purgar el motor y lacavidad de los cojinetes con nitrógeno seco u otro gas inerte. Instale unadaptador de orificio de ventilación a las bombas EXT255H o EXT250M paraconvertirla de !/8 pulg BSP a DN10NW, antes de utilizar el PRX10.
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Cable de 1 m D39618010
Cable de 3 m D39618030Cable de 5 m D39618050
9
10
11
13
12
8
7
6
5
4
3
2
1
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSDESCRIPCIÓN DELPRODUCTO
PARA INSTALARSE EN LASBOMBAS
NÚMERO DE PEDIDO
ACX75 EXT70, EXT70H, EXT75DX B58053075
ACX250 EXT250M B58053150
ACX250H EXT255H, EXT255DX B58053160
ACX555H EXT555H B58053561
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DELPRODUCTO
PARA INSTALARSE EN LASBOMBAS
NÚMERO DE PEDIDO
BX70, 110 V, 30 W EXT70, EXT70H, EXT75DX B58052040
BX70, 240 V, 30 W EXT70, EXT70H, EXT75DX B58052060
BX250, 110 V, 60 W EXT255H, EXT255DX,EXT250M
B58052041
BX250, 240 V, 60 W EXT255H, EXT255DX,EXT250M
B58052061
BX501, 110 V, 100 W EXT555H B58052044
BX501, 240 V, 100 W EXT555H B58052064
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Restrictor de purga PRX10 B58065001
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VÁLVULA DE VENTILACIÓN TAV
Las válvulas de ventilación TAV son válvulas controladas por solenoide de 24V c.c. las cuales puede utilizar para ventilar su sistema de vacío con aireatmosférico o nitrógeno seco cuando apaga la bomba EXT Las válvulas sesuministran con un filtro de entrada de bronce sinterizado, un conector demanguera ranurado, 3 m de cable eléctrico y un adaptador DN10NW. Lasválvulas de ventilación pueden ser alimentadas y controladas desde una tomaen el panel trasero del controlador EXC. Puede utilizar su válvula deventilación TAV para reemplazar la válvula de ventilación manual suministradacon la bomba EXT, o adaptarla para instalarla en cualquier otro orificioadecuado de la línea ascendente del sistema de vacío de la bombaturbomolecular. Para obtener más información acerca de la elección de unaválvula de ventilación TAV, consulte la página 5-3.
ADAPTADOR DEL ORIFICIO DEVENTILACIÓN
Este adaptador macho BSP a DN10NW de !/8 pulg puede utilizarse parareemplazar la válvula de ventilación TAV5 o la válvula manual instalada en lasbombas EXT. Permite que el orificio de ventilación roscado de la bomba (y el
orificio de purga roscado en la EXT255H, EXT555H y la EXT250M) puedaconvertirse en una brida DN10NW.El adaptador del orificio de ventilación se suministra con un restrictor de flujoremovible y un anillo "O" para sellar el adaptador a la bomba.
AISLADOR DE VIBRACIÓN
Un aislador de vibración puede instalarse en una brida de entrada de la bombaEXT para reducir la transmisión de la pequeña cantidad de vibración generada
por la bomba en su sistema de vacío. El aislador de vibración tiene dos bridasseparadas por un fuelle flexible de acero inoxidable y un collar exterior degoma antivibración.
El aislador de vibración está diseñado para utilizarse sólo con bombasmontadas verticalmente.
RESTRICTOR DE VENTILACIÓN VRX
Instale un restrictor de ventilación VRX a su bomba EXT si piensa ventilar labomba cuando la velocidad de la misma esté por encima del 50% de lavelocidad de rotación máxima. El restrictor de ventilación restringe lavelocidad del flujo del gas de ventilación que ingresan a la bomba EXT.También puede utilizar el VRX para remplazar el restrictor estándarsuministrado con el restrictor de purga PRX10 para obtener una velocidad depurga diferente. Tome en cuenta que la bomba EXT250M se suministra conun restrictor de ventilación VRX10 instalado en los orificios de ventilación ypurga.Puede instalar el restrictor de ventilación en una válvula de ventilación TAV,en el adaptador del puerto de ventilación o directamente en el orificio deventilación o de purga de las bombas EXT255H y EXT250M.
REPUESTOS EXTCada bomba EXT se suministra con un sello de entrada, criba de entrada yenfriador por agua (con excepción de las bombas DX). Estos componentestambién pueden solicitarse como repuestos.
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Válvula de ventilación TAV5 B58066010
Válvula de ventilación TAV6 B58066020
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO
Adaptador del orificio de ventilación B58066011
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
PARA INSTALARSE EN LA BRIDA DE ENTRADA DE LABOMBA
NÚMERO DE PEDIDO
DN63CF B58101000
DN63ISO-K B58115000
DN100ISO-K B58120000
DN160ISO-K B58125000
DN100CF B58105000DN160CF B58110000
44
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
RESTRICTOR DEVENTILACIÓN VRX
DIÁMETRO DEL ORIFICIO(MM)
NÚMERO DE PEDIDO
VRX10 0,1 B58066021
VRX20 0,2 B58066022
VRX30 0,3 B58066023
VRX50 0,5 B58066024
VRX70 0,7 B58066025
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIÓN DELPRODUCTO TIPO DE BOMBA
PARA INSTALARSE ENESTE TAMAÑO DEBRIDA DE ENTRADA NÚMERO DE PEDIDO
Sellos de brida de entrada
DN40NW Co-Seal, fluoroelastómero B27158453
DN50NW Co-Seal, fluoroelastómero B27158466
ISO63 Anillo "O", fluoroelastómero B27158170
ISO100 Anillo "O", fluoroelastómero B27158171
ISO160 Co-Seal, fluoroelastómero B27158074
63CF junta de compresión de cobre (paquete de 10) C10007490
100CF junta de compresión de cobre (paquete de 10) C10009290
160CF junta de compresión de cobre (paquete de 5) C10011290
ISX criba de entrada
ISX63/4 EXT70, EXT70H DN63ISO-K, DN63CF B58051005
ISX100/6 EXT70, EXT70H,EXT255H, EXT255DX,EXT250M
DN100ISO-K,DN100CF
B58051001
ISDX63/4 EXT75DX DN63ISO-K, DN63CF B72240860
ISHX160/8C EXT555H DN160ISO-K,
DN160CF
B58051007
ISHX160/8F EXT555H DN160ISO-K,DN160CF
B58051008
WCX enfriadorpor agua
WCX250M EXT250M B73501164
WCX500 EXT70, EXT70H,EXT255H, EXT75DX,EXT255DX
B73600121
WCX555H EXT555H B58067003
7/21/2019 Bombas turbomoleculares
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ESTACIONES DE BOMBEO EXPT 1 Y 2
Accesorios combinados EXPT
Nuestra nueva familia de accesorios de bombeo EXPT brindan mayorflexibilidad con nuestros exitosos controladores de bombas turbomolecularese instrumentos TIC. Una gran selección de bombas de refuerzo yturbomoleculares está disponible en combinación con los controladores TICy accesorios que se adecuan a una amplia variedad de aplicaciones como:• Sistemas UHV• Líneas de haces• Bloqueos de carga (loadlock)• Ciencia de superficie• Física de alta energía
Características y ventajas• Totalmente montadas y listas para usar• Arranque/parada del sistema desde el panel de control• Control tanto de la bomba turbomolecular como de los indicadores*
desde el TIC integrado• Puerto serial de comunicaciones disponible con RS232 y RS485• Opciones de bombeo seco con XDD1, XDS5 y XDS10
Para América del Norte y Brasil, vea las fotografías que aparecen acontinuación. Comuníquese con nuestro Centro nacional de ventas al800-848-9800. Tome en cuenta que estos sistemas de carro sólo estándisponibles en América del Norte y Brasil. Para todos los demás territorios,consulte la información antedicha.
EXPT1 – Placa base con labomba turbomolecular EXT70Hy la bomba de diafragma XDD1con controlador TIC.
EXPT2 – Placa base con labomba turbomolecularEXT255H y la bomba scrollXDS10 con contralador TIC.
INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSEsta información se aplica a nuestras bombas turbomoleculares fabricadas en el RU. Parabombas turbomoleculares fabricadas en los EE.UU:, comuníquese con el centro nacional deventas al 1-800-848-9800.
Bomba turbomolecularM EXT70DXN EXT255DXY EXT70HZ EXT255H
Tipo de brida1 DN40NW2 DN63ISO-K
3 DN63CF4 DN100ISO-K5 DN100CF
Bomba de refuerzo1 E2M0.72 E2M1.53 RV34 RV55 RV86 RV12A XDD1B XDS5C XDS10
Montaje1 EXPT12 EXPT2
InstrumentaciónControl de bombas turbomoleculares100 W solamente 1Control de bombas turbomolecularese instrumentos 100 W 2Control de bombas turbomoleculares200 W solamente 3Control de bombas turbomolecularese instrumentos 200 W 4
Accesorios de la bomba de refuerzoNinguno 0Filtro de niebla EMF 1Trampa frontal FL20K 2Castors 31+2 41+3 52+3 61+2+3 7Castors + silenciador 8
Accesorios de la bomba turbomolecular
Ninguno 0Válvula de ventilación TAV5 1Válvula de aislamientode refuerzo LCPVEK 31+3 5
Suministro eléctrico220-240 V 50/60 Hz (Europa) 1110-120 V 50/60 Hz (EE.UU.) 2100 V 50/60 Hz (Japón) 3220-240 V 50/60 Hz (RU) 4
* Los indicadores y cables pueden solicitarse por separado.No todas las combinaciones están permitidas. Consulte con su centro regional de BOC Edwards.Las unidades se suministran con una enfriador por aire integrado.Consulte las instrucciones de operación con su centro regional de BOC Edwards para ver los gasescompatibles.
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