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Curso 2019/20 INSTITUTO DE ESTUDIOS DE POSGRADO GUÍA DOCENTE DENOMINACIÓN DE LA ASIGNATURA Código: 102750 Denominación: TECNOLOGÍAS DE LÁMINA DELGADA Plan de estudios: Curso: 1 MÁSTER UNIVERSITARIO EN PLASMA, LÁSER Y TECNOLOGÍAS DE SUPERFICIE Créditos ECTS: 4.0 Horas de trabajo presencial: 40 Porcentaje de presencialidad: 40.0% Horas de trabajo no presencial: 60 Plataforma virtual: http://www3.uco.es/ DATOS DEL PROFESORADO Nombre: BALLESTEROS PASTOR, JERONIMO (Coordinador) Departamento: FÍSICA Área: FÍSICA APLICADA Ubicación del despacho: C2BO020 E-Mail: [email protected] Teléfono: 957 21 20 64 URL web: Nombre: ALBELLA MARTIN, JOSÉ Mª Departamento: FISICA APLICADA Área: FISICA APLICADA Ubicación del despacho: E-Mail: [email protected] Teléfono: URL web: Nombre: BORRÁS MARTOS, ANA ISABEL Departamento: FISICA APLICADA Área: FISICA APLICADA Ubicación del despacho: E-Mail: [email protected] Teléfono: URL web: Nombre: RODRÍGUEZ GONZÁLEZ-ELIPE, AGUSTÍN Departamento: FISICA APLICADA Área: FISICA APLICADA Ubicación del despacho: E-Mail: [email protected] Teléfono: URL web: REQUISITOS Y RECOMENDACIONES Requisitos previos establecidos en el plan de estudios Ninguno Ninguna especificada Recomendaciones COMPETENCIAS Capacidad de interpretar y comprender textos científicos y técnicos especializados en las tecnologías objeto de estudio en el master. CB10 www.uco.es facebook.com/universidadcordoba @univcordoba INFORMACIÓN SOBRE TITULACIONES DE LA UNIVERSIDAD DE CORDOBA uco.es/idep/masteres TECNOLOGÍAS DE LÁMINA DELGADA PÁG. 1 5 / Curso 2019/20

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Curso 2019/20INSTITUTO DE ESTUDIOS DE POSGRADO

GUÍA DOCENTE

DENOMINACIÓN DE LA ASIGNATURA

Código: 102750Denominación: TECNOLOGÍAS DE LÁMINA DELGADA

Plan de estudios: Curso: 1MÁSTER UNIVERSITARIO EN PLASMA, LÁSER Y TECNOLOGÍASDE SUPERFICIE

Créditos ECTS: 4.0 Horas de trabajo presencial: 40Porcentaje de presencialidad: 40.0% Horas de trabajo no presencial: 60Plataforma virtual: http://www3.uco.es/

DATOS DEL PROFESORADO

Nombre: BALLESTEROS PASTOR, JERONIMO (Coordinador)Departamento: FÍSICAÁrea: FÍSICA APLICADAUbicación del despacho: C2BO020E-Mail: [email protected] Teléfono: 957 21 20 64URL web:

Nombre: ALBELLA MARTIN, JOSÉ MªDepartamento: FISICA APLICADAÁrea: FISICA APLICADAUbicación del despacho:E-Mail: [email protected] Teléfono:URL web:

Nombre: BORRÁS MARTOS, ANA ISABELDepartamento: FISICA APLICADAÁrea: FISICA APLICADAUbicación del despacho:E-Mail: [email protected] Teléfono:URL web:

Nombre: RODRÍGUEZ GONZÁLEZ-ELIPE, AGUSTÍNDepartamento: FISICA APLICADAÁrea: FISICA APLICADAUbicación del despacho:E-Mail: [email protected] Teléfono:URL web:

REQUISITOS Y RECOMENDACIONES

Requisitos previos establecidos en el plan de estudios

Ninguno

Ninguna especificada

Recomendaciones

COMPETENCIAS

Capacidad de interpretar y comprender textos científicos y técnicos especializados en las tecnologíasobjeto de estudio en el master.

CB10

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Curso 2019/20INSTITUTO DE ESTUDIOS DE POSGRADO

GUÍA DOCENTESer capaz de desarrollar por sí mismos trabajos prácticos y teóricos sobre los temas del curso.CB7

Discriminar los principios de funcionamiento de las distintas tecnologías y ser capaz de tomardecisiones sobre equipos y procesos a implementar en la industria, así como sobre compras, alquiler,etc.

CB8

Conocer los últimos avances en las tecnologías y procesos objeto del curso.CB9

Conocer los últimos desarrollos científicos y tecnológicos donde la tecnología de superficie juega unpapel esencial en campos emergentes como la energía, el medio ambiente, electrónica, fotónica,salud, etc.

CE4

Potenciar los hábitos de búsqueda activa de empleo y la capacidad emprendedora.CE6

Fomentar en los estudiantes las siguientes capacidades y habilidades: análisis y síntesis, organizacióny planificación, comunicación oral y escrita, resolución de problemas, toma de decisiones, trabajo enequipo, razonamiento crítico, aprendizaje autónomo, creatividad, capacidad de aplicar losconocimientos teóricos en la práctica, uso de Internet como medio de comunicación y como fuente deinformación.

CE7

Que los estudiantes sepan aplicar los conocimientos adquiridos y su capacidad de resolución deproblemas en entornos nuevos o poco conocidos dentro de contextos más amplios (omultidisciplinares) relacionados con su área de estudio

CG1

Que los estudiantes sean capaces de integrar conocimientos y enfrentarse a la complejidad deformular juicios a partir de una información que, siendo incompleta o limitada, incluya reflexionessobre las responsabilidades sociales y éticas vinculadas a la aplicación de sus conocimientos y juicios

CG10

Que los estudiantes sepan comunicar sus conclusiones y los conocimientos y razones últimas que lassustentan a públicos especializados y no especializados de un modo claro y sin ambigüedades

CG11

Que los estudiantes posean las habilidades de aprendizaje que les permitan continuar estudiando deun modo que habrá de ser en gran medida autodirigido o autónomo.

CG3

Conocer los principales procedimientos utilizados para la modificación superficial de materiales y elcrecimiento de capas delgadas dentro del contexto más amplio de la tecnología de superficie y sercapaz de decidir qué procedimiento es el más adecuado para un proceso dado.

CG4

Conocer los principios de la tecnología de vacío, así como sus aplicaciones al diseño y desarrollo deprocesos industriales de modificación superficial de materiales.

CG5

Aplicar los principios básicos de los distintos procedimientos de preparación de láminas delgadas,haciendo predicciones sobre cuáles son las mejores condiciones/restricciones para desarrollar talesprocesos en la industria.

CG7

OBJETIVOS

Bases fisicoquímicas de las tecnologías de lámina delgada.

CONTENIDOS

1. Contenidos teóricos1. Tecnología de vacío.2. Conceptos básicos sobre crecimiento de láminas delgadas.3. Métodos físicos de deposición de capas delgadas: evaporación y pulverización catódica.4. Métodos químicos de deposición de capas delgadas: CVD y PECVD.6. Métodos por vía húmeda: sol-gel, electroquímicos.7. Otros tipos de procesos de crecimiento de capas delgadas.8. Desarrollos basados en la modificación superficial de materiales: implantación, tratamientos superficiales,Microstructura, adhesión y estrés en capas delgadas.9. Propiedades ópticas, mecánicas y eléctricas de capas delgadas.

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GUÍA DOCENTE10. Láminas delgadas y desarrollos industriales.

Mismos que teóricos.

2. Contenidos prácticos

METODOLOGÍA

AclaracionesSerán estudiadas en cada caso particular.

Actividades presenciales

Actividad Total

Actividades de evaluación 3

Conferencia 2

Laboratorio 5

Lección magistral 20

Seminario 8

Tutorías 2

Total horas: 40

Actividades no presenciales

Actividad Total

Búsqueda de información 3

Consultas bibliográficas 3

Ejercicios 10

Estudio 32

Problemas 12

Total horas: 60

MATERIAL DE TRABAJO PARA EL ALUMNO

Casos y supuestos prácticosCuaderno de PrácticasDossier de documentaciónEjercicios y problemasPresentaciones PowerPoint

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EVALUACIÓN

Instrumentos Porcentaje

Escalas de actitudes 20%

Examen final 30%

Seminarios 20%

Trabajos y proyectos 30%

Aclaraciones:

Las adaptaciones metodológicas para los alumnos a tiempo parcial se decidirán en reuniones entre el profesoradoy los alumnos interesados a fin de personalizar los posibles casos que se presenten.

El curso académico.

Periodo de validez de las calificaciones parciales:

BIBLIOGRAFIA

- José M. Albella edt.. "Láminas delgadas y recubrimientos: Preparación, propiedades y aplicaciones".  Consejo Superior de Investigaciones Científicas, Madrid 2003.

- M. Ohring. "Materials Science of Thin Films, 2nd edition".  Academic Press, 2001. 

1. Bibliografía básica

2. Bibliografía complementaria- A.R. González-Elipe, F. Yubero, J.M. Sanz. "Low Energy Ion Assited Film Growth"  Imperial College Press 2003- A. Grill. "Cold Plasma in Materials Fabrication".  IEEE press, 1994.

- H.K. Pulke. "Coatings on Glass"  Elsevier 1984- H. Bach. "Thin Films on Glass"  Springer 2003- K.K. Schnegraf. "Handbook of Thin Film. Deposition Processes and techniques"  Noyes Publication 1988- M.M. Hawkeye, M.T. Tascuk, M.J. Brett. "Glancing Angel Deposition of Thin Films. Engineering the Nanoscale"  Wiley 2014- H. Yasuda. "Luminous Chemical Vapor Deposition&Interface Engineering"  CRC Press 2004

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GUÍA DOCENTE

Las estrategias metodológicas y el sistema de evaluación contempladas en esta Guía Docente serán adaptadas de acuerdo a lasnecesidades presentadas por estudiantes con discapacidad y necesidades educativas especiales en los casos que se requieran.

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