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Ciencia e Industria una relación compleja, difícil y necesaria: El caso de un físico en la industria de los Semiconductores Dr. Carlos Beitia, Ingeniero de aplicaciones, División de capas finas y superficies (FAST), KLA-Tencor Corp. 38240 Meylan, FRANCE En el contexto actual de post-industrialización y de globalización de la economía. ¿Cual es el papel de la física en la industria? ¿Qué áreas y temas de trabajo puede tener un físico en el mundo industrial? Esta ponencia trata de dar algunos elementos de repuestas a estas preguntas a partir de mi experiencia en la industria de los semiconductores. Primero que nada es indispensable discutir de una manera general la relación industria- ciencia. Esto con el propósito de recordar las relaciones complejas que ligan los dos por intermedio de la tecnología. Tal que escribía Abraham Feodorovich Yoffe, físico ruso en 1931 en el II congreso internacional de Historia de la Ciencia: “Entre la física y la industria existe una relación muy estrecha. De hecho, todas las formas de industria no son sino diversas secciones de la física o de la química aplicadas y explotadas a gran escala. Pero también es cierto que muchos de los conceptos de la física han sido descubiertos como resultado de la consideración de problemas técnicos.” [1]. Así veremos que la esta relación del trinomio ciencia, tecnología e industria puede crear y crea oportunidades de trabajo para un físico. Un ejemplo palpable de esta relación simbiótica mutualista lo representa en las últimas décadas las tecnologías de la industria de la microelectrónica y la física. Tratare de ilustrar con ejemplos las interacciones entre ellas. También veremos que el contexto económico en que ellas evolucionan es conducido por la explosión de las tecnologías de la información y de la comunicación en los últimos años [2]. En este sentido, es adecuado preguntarse ¿Qué diferencia un físico que trabaja en la industria con respecto a uno que trabaja en el área académica y/o de investigación pura? En primer lugar está la finalidad de su trabajo en el contexto económico-industrial. En la industria de semiconductores un físico es pagado para desarrollar, sostener y controlar los procesos o equipos de fabricación de dispositivos electrónicos para la venta. En segundo lugar el grado de estudio de un problema o un fenómeno dado depende directamente del grado de utilización de los resultados para realizar beneficios o mantener la competitividad de la industria en el contexto económico del momento. Las diferencias anteriores marcan dos puntos importantes en el trabajo de un físico en la industria, su área de trabajo y la extensión de sus proyectos. Áreas como la investigación y desarrollo de proceso, la caracterización y evaluación de nuevos materiales así como su integración en el proceso y finalmente el control de calidad son posibles espacios de trabajo para un físico. La programación y las fechas de los proyectos deben estar alineadas con las fechas y necesidades de la producción. Las cuales a su turno dependen del contexto económico mundial de la industria y su mercado. Al final veremos que el mundo industrial representa un ambiente de trabajo excitante y lleno de desafíos en el cual un físico puede muy bien ocupar un puesto privilegiado para ejercer su profesión. Todo es una cuestión de selección ya que al final Física es Física sea esta aplicada o pura. [1] Física y tecnología, Abraham Feodorovich Yoffe, 1931 Londres. [2] 90 nm & 65 nm CMOS Technology Workshop, Arun Chatterjee, Junio 2005 France KLA-Tencor Corporation.

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Ciencia e Industria una relación compleja, difícil y necesaria: El caso de un

físico en la industria de los Semiconductores Dr. Carlos Beitia, Ingeniero de aplicaciones, División de capas finas y superficies (FAST), KLA-Tencor

Corp. 38240 Meylan, FRANCE

En el contexto actual de post-industrialización y de globalización de la economía. ¿Cual es

el papel de la física en la industria? ¿Qué áreas y temas de trabajo puede tener un físico en el mundo industrial?

Esta ponencia trata de dar algunos elementos de repuestas a estas preguntas a partir de mi experiencia en la industria de los semiconductores.

Primero que nada es indispensable discutir de una manera general la relación industria-ciencia. Esto con el propósito de recordar las relaciones complejas que ligan los dos por intermedio de la tecnología. Tal que escribía Abraham Feodorovich Yoffe, físico ruso en 1931 en el II congreso internacional de Historia de la Ciencia: “Entre la física y la industria existe una relación muy estrecha. De hecho, todas las formas de industria no son sino diversas secciones de la física o de la química aplicadas y explotadas a gran escala. Pero también es cierto que muchos de los conceptos de la física han sido descubiertos como resultado de la consideración de problemas técnicos.” [1]. Así veremos que la esta relación del trinomio ciencia, tecnología e industria puede crear y crea oportunidades de trabajo para un físico.

Un ejemplo palpable de esta relación simbiótica mutualista lo representa en las últimas décadas las tecnologías de la industria de la microelectrónica y la física. Tratare de ilustrar con ejemplos las interacciones entre ellas. También veremos que el contexto económico en que ellas evolucionan es conducido por la explosión de las tecnologías de la información y de la comunicación en los últimos años [2].

En este sentido, es adecuado preguntarse ¿Qué diferencia un físico que trabaja en la industria con respecto a uno que trabaja en el área académica y/o de investigación pura?

En primer lugar está la finalidad de su trabajo en el contexto económico-industrial. En la industria de semiconductores un físico es pagado para desarrollar, sostener y controlar los procesos o equipos de fabricación de dispositivos electrónicos para la venta.

En segundo lugar el grado de estudio de un problema o un fenómeno dado depende directamente del grado de utilización de los resultados para realizar beneficios o mantener la competitividad de la industria en el contexto económico del momento.

Las diferencias anteriores marcan dos puntos importantes en el trabajo de un físico en la industria, su área de trabajo y la extensión de sus proyectos.

Áreas como la investigación y desarrollo de proceso, la caracterización y evaluación de nuevos materiales así como su integración en el proceso y finalmente el control de calidad son posibles espacios de trabajo para un físico.

La programación y las fechas de los proyectos deben estar alineadas con las fechas y necesidades de la producción. Las cuales a su turno dependen del contexto económico mundial de la industria y su mercado.

Al final veremos que el mundo industrial representa un ambiente de trabajo excitante y lleno de desafíos en el cual un físico puede muy bien ocupar un puesto privilegiado para ejercer su profesión. Todo es una cuestión de selección ya que al final Física es Física sea esta aplicada o pura. [1] Física y tecnología, Abraham Feodorovich Yoffe, 1931 Londres. [2] 90 nm & 65 nm CMOS Technology Workshop, Arun Chatterjee, Junio 2005 France KLA-Tencor Corporation.

II Congreso Nacional de Física 30 de julio al 3 de agosto de 2007

Universidad de Panamá

La FLa Fíísica para el desarrollo cientsica para el desarrollo cientíífico y tecnolfico y tecnolóógico de la gico de la Sociedad panameSociedad panameññaa

Física e IndustriaCarlos Beitia

AgendaCiencia – Tecnología – Industria – en la historia y en el contexto económico

La Industria un lugar de trabajo para un físico ?

La Industria del Semiconductor: Economía

Tecnología plana de Circuitos Integrados (CI) de transistores micro y nano CMOS (Complementary Metal Oxyde Semiconductor)

Metrología en la industria del semiconductor, hoy en día y tendencias futuras

Metrología un sector en el que un físico puede contribuir !!

Ciencia – Tecnología – Industria -Economía

Industria – tecnología - ciencia

� Toda tecnología esta basada sobre un conocimiento � El conocimiento proviene de la ciencia aplicada� La economía exige innovación en el contexto mundial de competencia

en la productividad

ciencia(Física) Industria

Tecnología

Economía

Innovación

Evolución histórica del PIB mundial

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5 000 000

10 000 000

15 000 000

20 000 000

25 000 000

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0 150 300 450 600 750 900 1050 1200 1350 1500 1650 1800 1950

Año

PIB

(Int

erna

cion

al D

olla

rs)

1ra Revolución industrial

Economía – Industria – Ciencia y Tecnología

Época Romana Invasiones BárbarasEsplendor OrientalY Árabe

Edad Media

Renacim

iento

A. Maddison, The Contours of the World Economy 1-2030 AD, Oxford University Press, 2007.

Evolución histórica del PIB mundial

0

5 000 000

10 000 000

15 000 000

20 000 000

25 000 000

30 000 000

35 000 000

40 000 000

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1700 1720 1740 1760 1780 1800 1820 1840 1860 1880 1900 1920 1940 1960 1980 2000

Año

PIB

(Int

erna

cion

al D

olla

rs)

1ra Revolución industrial:Termodinámica(maquina de vapor - impacto en el transporte, la industria minera y textil)

2da Revolución industrial:Electricidad y magnetismo((Alumbrado eléctrico , motor eléctrico y distribución de energía por CA)

3ra Revolución industria La Era Digital:Física del Estado Solidó-QuánticaTele-comunicación, AeroespacialNano-tecnologías

Importante Salto Tecnológico:Física del Estado Solidó – Física Nuclear(Nace la microelectrónica con el circuito integrado)Primeras centrales nucleares

Economía – Industria – Física y Tecnología

Emergencia de una economía basada en el conocimiento !! “Know why” y “know how”

La Industria un lugar de trabajo para un Físico ?

Economía – Industria – Física y Tecnología

Industrias invierten mas en I&D

Existe un real mercado de trabajo !

OECD Factbook 2007: Economic, Environmental and Social Statistics –ISBN 92-64-02946-X - © OECD 2007Third European Report en Science and Technology indicators 2003

Gastos en I&D en porcentaje del PIB en diferentes paises del Mundo

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0,5

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2

2,5

3

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1981

1983

1985

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1991

1993

1995

1997

1999

2001

2003

Año

% P

IB

AustriaFranceGermanyIrelandJapanUnited StatesChina

Economía – ciencia y tecnología� Vivimos en una transición de una economía industrial

basada en el trabajo manual, en la posesión de materia primas e inversiones concretas a una economía industrial basada en la creación, difusión y explotación del conocimiento

� La competitividad de una industria pasa por la innovación tecnológica de sus medios de producción así como de sus productos

� La Industria NECESITA invertir en Investigación en desarrollo

� Mercado de trabajo para los Físicos !!

La industria : Un puesto para un físico ?

� Estructura de una industria Moderna y cantidad de oportunidades de empleo de un físico en dicha estructura

Industria o Corporación X

Dirección y Administración

Ventas y Mercadeo

Producción y soporte cliente

Desarrollo de Productos

Investigación

1

2

3

La Industria: Diferencia en el ambiente de trabajode un físico

� Completamente Orientado Cliente

� Interés de Proyectos medido en beneficios económicos (a corto o mediano plazo) directamente para la industria o para sus clientes

� Planificación de proyectos al igual que su ejecución esta influenciada de una manera importante por el contexto económico competitivo

La Industria Del SemiconductorEconomía

La Industria del Semiconductor� Una idea de la escala e integración

90nm&65nm CMOS Technology Workshop, Arun Chatterjee, KLA-Tencor Corp.

La Industria del Semiconductor: Actuales factores motores� La tendencia en la era digital en la industria y por consecuente

de su tecnología será:

Alta densidad de Transistores/ Si Área:-- Bajo Costo/Transistor-- Integración de mas funciones

Integración de mas funciones a bajoCosto Convergencia en los equiposelectrónicos finales

La Industria del Semiconductor� Producción en masa de dispositivos semiconductores

� ActoresFabricantes de Substratos Fabricantes de CIFabricantes de foto-mascaraFabricantes de equipos de proceso y controlCentros de Investigaciones

� Clientes Industria AutomovilísticaIndustria AeroespacialIndustria de equipos y accesorios DigitalIndustria de Instrumentación y “Test”…

� Altamente tecnología orientadaInnovación tecnológica es CRUCIAL para mantener su COMPETIVIDAD !!

� Tecnología “Drivers”Bajo costo/transistor (Miniaturización « Ultra large Scalated Integration »)Convergencia de Productos (integración de funciones)Mercados emergentes (Países en vía de desarrollo y Consumidores de alta tecnología)

Industria de Semiconductores: Actores importantes

Fabricantes CI…

Fabricantes de Wafers…

Fabricantes de Foto-mascaras …

Fabricantes de Equipos deProceso y Control …

Industria del Semiconductor

Todos logos de las compañías aquí presentes son marcas registradas como tal pertenece a dichas compañías. Son utilizadas aquí como ilustración educativas sin ningún propósito de lucro.

El Ciclo de vida de un nodo tecnológico :Todos los sectores de la industria están altamente influenciados por este ciclo

La Tecnología plana de fabricación de CI

La Industria del Semiconductor: El transistor de estado sólido el ladrillo de base

Como funciona un transistor de estado sólido

Si dopé P

N N

Puerta

Oxido de puerta

Fuente Drenador

Vg

Canal de conducción

Vdd

OFF

ON

Tecnología plana de Circuitos integrados CMOS ejemplo fabricación de un transistor

Microchip Fabrication, a practical guide to Semiconductor processingPeter Van Zant 4th Edition, McGraw-Hill 2000

Oxidación

Foto-litografía

Deposición

Foto-litografía

Difusión e implantación iónica

Metalización

Foto-litografíaGrabado

Grabado

Oxidación

Introducción a conceptos básicos a la tecnología plana de Circuitos integrados

-Juego de mascaraFotográfica con los diferentes nivelesdel CI

Substrato Silicio cristalino o SOI (Siliconon Insulator)(otros para aplicaciones particulares)

-200 y 300 mmMas Corrientes

Oxidación

Foto-litografía

Grabado

Difusión e implantación iónica

Deposición

Metalización

Pruebas Finales

Empaquetado-Corte y empaquetado de CI en Cerámica o plástico

-Problemas tecnológicos

-1) Medición Caracte-rización de nuevos materiales

-2) Control y clasificación de defectos

3) Integración en los procesos stds

4) Contaminación

5) Litografía UV avanzada

6) Simulación

...

Metrología en la industria del semiconductor

KLA-Tencor: Líder mundial en el control y mejora de procesos en la industria del semiconductor

� Sectores de desarrollo y competitividadAnálisis y mejoramiento de rendimientoMedida, Clasificación y análisis de DefectosMetrologia y control de procesos de capas finas e interfacesDesarrollo de software en simulación y análisis de proceso

� La metrologia es un gran desafió en el futuro de la industria del semiconductor en los próximos años, porque:

Interacción sonda-objeto debido a las dimensiones del objeto de medidaNuevas propiedades necesitan ser medidas en el contexto de I&D opeor aun en el contexto mas restringido de producción

Tendencias y necesidades de la industria del semiconductor

� No se puede controlar lo que no se puede: Detectar, medir, analizar, clasificar y correlacionar.� Una gran apertura de expectativas de desarrollo en el que un físico puede jugar un papel importante

!!

Eléctricas

Elementales

Estructurales

Físicas

Capacitancia, Resistividad, Foto-Voltaje de SuperficieCorrientes y voltaje TúnelDensidad de estados de interfacesEspesor Equivalente Eléctrico

Análisis esteqiométrico, % Elemental, perfil de composición(En línea y en tiempo real – In Situ)

Forma y talla de dispositivosDetección y clasificación automática de defectos

Talla y distribución de porosEspesor FísicoStress global y local (micro y nano)

SPV, Corona Charge Oxide Semiconductor, EELSResistometro a 4 puntas

XPS, SIMMS, HRSIMMS

XRF, Auger

Escaterometria

AFM, STM, NSOM

TEM, SEM

Ellipsometria

FTIR, XRR

Raman

CaracterísticasMagnitudes

Físicas Tecnología

Desarrollo, mejoramiento y control de proceso: Que tipo de metrologia

� Metrologia necesaria depende de la finalidad y de la etapa del proceso concernida

� Investigación:Caracterización de nuevos materiales y nuevas propiedades (inicio del ciclo de vida del producto)

� Desarrollo de proceso:Completo desarrollo y calificación de un proceso antes de entrar en la fase de puede requerir caracterización de materiales (Puesta en producción del producto)

� ProducciónPuramente control y monitoreo de la producción(Maduración del producto máxima capacidad productiva)

Conclusiones

� La economía global actual basada en el conocimiento impone a las industrias una real inversión en I&D para innovar

� Las innovaciones tecnológicas son necesarias para mantener la competitividad en el mercado

� En este contexto los físicos pueden contribuir al desarrollo industrial y encontrar posibilidades del trabajo en el mundo industrial

� La metrologia en la Industria del semiconductor llena de retos yproblemas de motivación para un físico ! Excitante !

� El ambiente de trabajo es mas arriesgado en la seguridad del empleo pero vale la pena !