caracterización de patrones 2d por interferometría diferencial en el

TRITON CEM. Día internacional de la metrología. 2015TRITON CEM. Día internacional de la metrología. 2015

CaracterizaciCaracterizacióón de patrones 2D n de patrones 2D por por interferometrinterferometrííaa diferencial en el CEM.diferencial en el CEM.

Eloy PEloy Péérez Encisorez Enciso. . TritonTriton Sistemas Sistemas Experimentales,S.LExperimentales,S.L

MMªª del Mar Pdel Mar Péérez Hernrez Hernáándezndez. . CEMCEM

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Índice

1. La luz en metrología dimensional. I. Tipos de patrones a trazos.II. Factores a tener en cuenta en la calibración de patrones

a trazos.

2. Nuevo sistema desarrollado:I. Arquitectura.II. Caracterizaciones y fuentes de error más importantes.III. Sistema de visión.IV. Ejemplos.

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La luz y la La luz y la interferometrinterferometrííaa ..

En metrología dimensional la luz es una herramienta muy útil - alineamiento- interferometría- definición de la unidad.

La longitud de onda de la luz visible es bastante pequeña (aproximadamente medio micrómetro para la luz verde), pequeños cambios en la diferencia de caminos ópticos producen cambios facilmente medibles en la intensidad del patrón de franjas que la luz es capaz de producir. Como consecuencia la interferometría óptica permite medidas muy precisas.

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Patrones a trazosPatrones a trazos

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Factores a tener en cuenta en la calibraciFactores a tener en cuenta en la calibracióón de patrones bidimensionales: n de patrones bidimensionales:

• Longitud de onda.

• Resolución del sistema de medida

• Compensación atmosférica

• Conocimiento del coeficiente de dilatación

• Contribución de la temperatura.

• Incertidumbre por distancia muerta

• Falta de linealidad de las ópticas

• Deriva térmica de las ópticas

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Factores a tener en cuenta en la calibraciFactores a tener en cuenta en la calibracióón de patrones bidimensionales: n de patrones bidimensionales:

• Error de coseno.

• Error de Abbe

• Definición óptica de los trazos

• Deriva del proceso de medida.

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Patrones bidimensionalesPatrones bidimensionales