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4º CURSO DE TECNOLOGIA DO VÁCUO
PARA INDÚSTRIA E LABORATÓRIOS
20 - setembro - 2016
UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO - INSTITUTO DE FÍSICA
BOMBAS DE VÁCUO - 2
BOMBA TURBOMOLECULAR
IFUSP - DFN
BOMBA TURBOMOLECULAR (HORIZONTAL) - ROTOR
BOMBA MOLECULAR
(HOLWECK) - MDP
BOMBA MOLECULAR (MDP)
BOMBA TURBOMOLECULAR
+
MDP
TURBO
+
MDP
(ROTOR)
IFUSP - DFN
BOMBA IÔNICA
ÓRBITRON
IFUSP - DFN
IFUSP - DFN
IFUSP - DFN
BOMBA DE
TITÂNIO
BOMBA DE SUBLIMAÇÃO DE TITÂNIO
DURAÇÃO DOS FILAMENTOS DE TITÂNIO (SUBLIMÁVEIS):
10E03 Torr DIAS
10E06 Torr SEMANAS
10E07 Torr MESES
10E08 Torr ANOS
BOMBA IÔNICA
MAGNÉTICA
IFUSP - DFN
BOMBA IÔNICA MAGNÉTICA
PRIMEIRA BOMBA IÔNICA VARIAN
BOMBA IÔNICA RIP (ROUND ION PUMP)
BOMBA IÔNICA RIP - VISTA INFERIOR
REVESTIMENTO NEG
1 µm
ímãs
cátodos
BOMBA IÔNICA RIP + NEG
BOMBA IÔNICA RIP
+ NEG (Zr + V + Ti 1µm)
+ Paládio (150 nm)
BOMBA
CRIOGÊNICA
BOMBA CRIOGÊNICA
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